JP2023141063A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着シートの供給方向先端部が、はみ出し領域貼付手段で被着体に貼付される前に被着体から外れてしまうことを極力防止するシート貼付装置及びシート貼付方法を提供する。【解決手段】シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳにおける供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側及び他端ＡＳ２側のうち少なくとも一方が、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧する押圧手段２０と、移動手段３０と、はみ出し領域貼付手段４０と、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおけるはみ出し領域ＡＳＨのみを、別の面ＷＫ１、ＷＫ２方向に折り曲げて貼付しておく先端部貼付手段５０と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２２－３０８７７号公報

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）では、サイドローラ４３（押圧手段）によってウェハＷ（被着体）の外周側面（外縁端面）に貼付される保護テープ２７（接着シート）の供給方向先端部の接着領域が少ないので、当該接着シートの供給方向先端部が第１のローラ４６（はみ出し領域貼付手段）に到達する前に、被着体から外れてしまうという不都合を発生する。

本発明の目的は、接着シートの供給方向先端部が、はみ出し領域貼付手段で被着体に貼付される前に被着体から外れてしまうことを極力防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、はみ出し領域貼付手段による貼付に先駆けて、接着シートの供給方向先端部におけるはみ出し領域のみを、別の面方向に折り曲げて貼付しておくので、当該供給方向先端部の被着体への接着領域が多くなる。従って、接着シートの供給方向先端部が、はみ出し領域貼付手段で被着体に貼付される前に被着体から外れてしまうことを極力防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中下方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｄ）は、図１（Ｅ）のＡＡ矢視図、図１（Ｆ）は、図１（Ｅ）のＢＢ矢視図、図１（Ｇ）は、図１（Ｅ）のＣＣ矢視図。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳにおける供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側の両方が、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、当該接着シートＡＳを外縁端面ＷＫＥに押圧する押圧工程を実施する押圧手段２０と、押圧手段２０と被着体ＷＫとを相対移動させ、外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付する移動工程を実施する移動手段３０と、はみ出し領域ＡＳＨを外縁端面ＷＫＥに隣接する別の面としての一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付するはみ出し領域貼付工程を実施するはみ出し領域貼付手段４０と、押圧手段２０とはみ出し領域貼付手段４０との間に位置し、当該はみ出し領域貼付手段４０による貼付に先駆けて、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおけるはみ出し領域ＡＳＨのみを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付しておく先端部貼付工程を実施する先端部貼付手段５０と、接着シートＡＳの折り曲げの切っ掛けとなる折り曲げ切っ掛けＡＳＣ（図１（Ｃ）参照）を当該接着シートＡＳに形成する折り曲げ切っ掛け形成工程を実施する折り曲げ切っ掛け形成手段６０と、供給手段１０と押圧手段２０との間に位置する接着シートＡＳに対し、供給方向ＳＤに沿う方向の張力を付与することで、はみ出し領域ＡＳＨを一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げる張力付与工程を実施する張力付与手段７０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段８０とを備えている。
なお、本実施形態の接着シートは、弾性変形が可能に設けられるとともに、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＲを中心とする円形形状のものが採用されている。

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。

押圧手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧ローラ２１を備えている。

移動手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、そのスライダ３１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ３２と、その出力軸３２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面３３Ａを有する支持テーブル３３とを備えている。支持テーブル３３は、回動モータ３２によってテーブル中心３３Ｒを中心に回転する構成となっている。

はみ出し領域貼付手段４０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３を備えている。本実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３は、図１（Ｆ）～（Ｈ）に示すように、それぞれ上下一対配置され、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＲがローラ配置中心４０Ｒに位置した際、当該被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥに貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。また、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３は、例えば、Ｚ軸に対してそれぞれ３０度、６０度、９０度ローラ配置中心４０Ｒ方向に傾斜した図示しない回転軸を中心に回転するようになっている。

先端部貼付手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、その出力軸５１Ａに支持された第１ブラケット５２と、第１ブラケット５２に揺動自在に支持され、挟み込みローラ５４をそれぞれ１体ずつ回転可能に支持する２体の第２ブラケット５３と、挟み込みローラ５４を相互に接近させる方向に付勢する付勢手段としてのコイルスプリング５５とを備えている。

折り曲げ切っ掛け形成手段６０は、剥離板１４に回転可能に支持された折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１と、トルク制御が可能な駆動機器としての直動モータ６２と、その出力軸６２Ａに回転可能に支持され原反ＲＳを折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１に押し付ける押付けローラ６３とを備えている。
折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１は、外縁が先細り形状の円盤形状とされ、押付けローラ６３によって原反ＲＳが押し付けられることで、接着シートＡＳの接着面側に凹溝状の押し跡を形成し、当該押し跡を折り曲げ切っ掛けＡＳＣとするようになっている。

張力付与手段７０は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ７１と、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ７３とで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ７２とを備えている。

エネルギー付与手段８０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱気を吹き付ける熱風送風機８１を備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、折り曲げ切っ掛け形成手段６０が直動モータ６２を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１と押付けローラ６３とで原反ＲＳを所定の押圧力で挟み込む。この際、原反ＲＳにおける先頭の接着シートＡＳは、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１と押付けローラ６３とで挟み込まれていない。次いで、供給手段１０および張力付与手段７０が回動モータ１５Ａ、７１を駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、７１の駆動を停止する。なお、接着シートＡＳは、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１と押付けローラ６３との間を通過すると、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１によって、接着面側に供給方向ＳＤに沿う凹溝状の折り曲げ切っ掛けＡＳＣが形成されていく。

その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＲがテーブル中心３３Ｒと重なるように、被着体ＷＫを支持面３３Ａ上に載置すると、移動手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面３３Ａでの吸着保持を開始する。また、供給手段１０および張力付与手段７０が回動モータ１５Ａ、７１を駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦを押圧ローラ２１の前方所定位置に位置させる。この際、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦは、図示しないエアノズルやイオナイザ等の付勢手段による付勢によって押圧ローラ２１の前方に接触した状態とされる。

次に、移動手段３０がリニアモータ３１を駆動し、被着体ＷＫを左方へ移動させて図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、テーブル中心３３Ｒ（被着体中心ＷＫＲ）がローラ配置中心４０Ｒと一致すると、リニアモータ３１の駆動を停止する。この際、接着シートＡＳは、図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、折り曲げ切っ掛けＡＳＣが外縁端面ＷＫＥに対向した状態で、供給方向先端部ＡＳＦが押圧ローラ２１と外縁端面ＷＫＥとで挟み込まれた状態となる。なお、折り曲げ切っ掛けＡＳＣが外縁端面ＷＫＥに対向した状態とされることで、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がり易くなり、接着シートＡＳの折り曲げをスムーズに行うことができるようになる。

そして、供給手段１０、移動手段３０および張力付与手段７０が回動モータモータ１５Ａ、３２、７１を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって押圧されて外縁端面ＷＫＥに貼付され、当該接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが挟み込みローラ５４の前方所定位置に到達すると、供給手段１０、移動手段３０および張力付与手段７０が回動モータモータ１５Ａ、３２、７１の駆動を停止する。なお、外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付する際、張力付与手段７０が回動モータ７１を駆動し、駆動ローラ７２を介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、接着シートＡＳに対して供給方向ＳＤに沿う方向の張力を付与する。これにより、弾性変形が可能な接着シートＡＳは、内在する弾性復元力により、図１（Ｃ）に示すように、一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側に折れ曲がった姿勢となる。この際、接着シートＡＳに折り曲げ切っ掛けＡＳＣが形成されていることで、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がり易くなり、接着シートＡＳの折り曲げをスムーズに行うことができる。

次いで、先端部貼付手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１（Ｄ）中二点鎖線および図１（Ｅ）に示すように、挟み込みローラ５４を前進させて当該挟み込みローラ５４で接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦを被着体ＷＫに貼付した後、当該挟み込みローラ５４を初期位置に復帰させる。その後、供給手段１０、移動手段３０、張力付与手段７０およびエネルギー付与手段８０が回動モータモータ１５Ａ、３２、７１および熱風送風機８１を駆動し、上面視で被着体ＷＫを反時計回転方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、図１（Ｅ）中二点鎖線および図１（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）に示すように、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３によって、はみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、最終的に、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１側に貼付されるとともに、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが他方の面ＷＫ２側に貼付される。この際も、接着シートＡＳに折り曲げ切っ掛けＡＳＣが形成されていることで、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がり易くなり、接着シートＡＳの折り曲げをスムーズに行うことができる。なお、接着シートＡＳは、熱風送風機８１によって吹き付けられる熱気によって両はみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫ方向に折れ曲がるように変形し、当該はみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫに貼付され易くなる。

次に、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０および張力付与手段７０が回動モータ１５Ａ、７１の駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。そして、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲにおける両はみ出し領域ＡＳＨが、第３押圧ローラ４３によって一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されて一体物ＵＰが形成されると、移動手段３０およびエネルギー付与手段８０が回動モータ３２および熱風送風機８１の駆動を停止する。なお、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの先端部ＡＳＦと後端部ＡＳＲは、相互に重なり合っていてもよいし、離間していてもよいし、突き合わせられるように接触していてもよい。

次いで、移動手段３０がリニアモータ３１を駆動し、支持テーブル３３を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３３Ａでの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、はみ出し領域貼付手段４０による貼付に先駆けて、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおけるはみ出し領域ＡＳＨのみを、一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付しておくので、当該供給方向先端部ＡＳＦの被着体ＷＫへの接着領域が多くなる。従って、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが、はみ出し領域貼付手段４０で被着体ＷＫに貼付される前に被着体ＷＫから外れてしまうことを極力防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを所定の供給方向に沿って供給可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよい。

押圧手段２０は、供給手段１０で供給された接着シートＡＳにおける供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側のみが被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、当該接着シートＡＳ外縁端面ＷＫＥに押圧してもよいし、供給手段１０で供給された接着シートＡＳにおける供給方向ＳＤに沿う他端ＡＳ２側のみが被着体ＷＫの外縁端面ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、当該接着シートＡＳ外縁端面ＷＫＥに押圧してもよい。

移動手段３０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ押圧手段２０を移動させ、外縁端面ＷＫＥに接着シートＡＳを貼付してもよいし、リニアモータ３１がなくてもよいし、保持面３３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル３３が採用されてもよいし、被着体ＷＫを支持テーブル３３とで挟み込む上押え手段を備えていてもよい。

はみ出し領域貼付手段４０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３を移動させ、はみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨのみを一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付したり、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨのみを他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付したりしてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３が上下一対でなく、一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３のＺ軸に対する傾斜角度が、例えば、それぞれ１５度、４５度、９１度等どのような傾斜角度でもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ４１、４２、４３によって、３段階にしてはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付したが、４段階以上にしたり、２段階にしたり、１段階にしたりして、はみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、ローラに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け等で、はみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、移動手段３０によって被着体ＷＫと相対移動されることなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって被着体ＷＫと相対移動し、はみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付する構成でもよい。

先端部貼付手段５０は、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおける一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨのみを一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおける他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨのみを他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付したりしてもよいし、挟み込みローラ５４が上下一対でなく、一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、ローラに代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け等で、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦにおけるはみ出し領域ＡＳＨを別の面方向に折り曲げて貼付してもよいし、挟み込みローラ５４等の材質が、ゴムや樹脂等の弾性変形が可能なもので構成されていたり、金属や硝子等の弾性変形が不能なもので構成されていたりしてもよいし、チャックシリンダやチャックモータ等の出力軸等で接着シートＳＳの供給方向先端部ＡＳＦにおけるはみ出し領域ＡＳＨのみを、別の面方向に折り曲げて貼付する構成でもよい。

折り曲げ切っ掛け形成手段６０は、供給方向ＳＤに交差する方向に沿って折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１を複数設け、図１（Ｆ）～（Ｈ）中二点鎖線で示すように、折り曲げ切っ掛けＡＳＣを複数（２つ以上）形成してもよいし、複数設けた折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１が相互に離間接近するように構成し、折り曲げ切っ掛けＡＳＣの間隔を拡げたり縮めたりしてもよいし、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１が接着シートＡＳに対して離間接近する構成としてもよいし、押付けローラ６３が接着シートＡＳに対して離間接近しなくてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１と押付けローラ６３とで原反ＲＳを挟み込む所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、トルク制御ができない直動モータ６２が採用されてもよいし、折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１に代えてまたは併用して剥離板１４上に形成した凸状の突起物を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用したりして、接着シートＡＳに押し跡を形成し、当該押し跡を折り曲げ切っ掛けＡＳＣとしてもよいし、押付けローラ６３に代えてまたは併用して板状部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用したりして、接着シートＡＳを折り曲げ切っ掛け形成ローラ６１に押し付けて折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成してもよいし、剥離シートＲＬがない状態で接着シートＡＳに折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成してもよいし、接着シートＡＳにおける接着面側（剥離シートＲＬが貼付されていた面側）に折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成したり、接着シートＡＳにおける非接着面側（剥離シートＲＬが貼付されていた面の反対面側）に折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成したり、接着シートＡＳにおける接着面側および非接着面側の両方に折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成したりしてもよいし、接着シートＡＳを研削したり接着シートＡＳに切込を形成したりして凹溝状の折り曲げ切っ掛けＡＳＣを形成してもよいし、凹溝状の折り曲げ切っ掛けに限らず、例えば、接着シートＡＳに紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等のエネルギーを付与し、当該エネルギーが照射された部分の剛性を他の部分の剛性よりも低くすることで、この剛性の低い部分を折り曲げ切っ掛けとしてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

張力付与手段７０は、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、トルク制御ができない回動モータ７１が採用されてもよいし、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して供給手段１０と押圧手段２０との間に位置する接着シートＡＳに対して供給方向ＳＤに沿う方向の張力を付与する構成としてもよいし、供給手段１０の外部に位置し、接着シートＡＳに対して供給方向ＳＤに沿う方向の張力を付与する構成としてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

エネルギー付与手段８０は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つの被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つの被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置し、接着シートＡＳで被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。

接着シートは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を所定のエネルギーとして変形するものでもよいし、弾性変形しないものが採用されたり、所定のエネルギーによって変形しないものが採用されたりしてもよい。
所定のエネルギーによって変形する接着シートＡＳとしては、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…供給手段
２０…押圧手段
３０…移動手段
４０…はみ出し領域貼付手段
５０…先端部貼付手段
６０…折り曲げ切っ掛け形成手段
７０…張力付与手段
８０…エネルギー付与手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＣ…折り曲げ切っ掛け
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面（別の面）
ＷＫ２…他方の面（別の面）
ＷＫＥ…外縁端面

Claims (5)

1. 接着シートを所定の供給方向に沿って供給する供給手段と、
   前記供給手段で供給された前記接着シートにおける前記供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方が、被着体の外縁端面からはみ出したはみ出し領域を形成するように、当該接着シートを前記外縁端面に押圧する押圧手段と、
   前記押圧手段と前記被着体とを相対移動させ、前記外縁端面に前記接着シートを貼付する移動手段と、
   前記はみ出し領域を前記外縁端面に隣接する別の面方向に折り曲げて貼付するはみ出し領域貼付手段とを備え、
   前記押圧手段と前記はみ出し領域貼付手段との間に位置し、当該はみ出し領域貼付手段による貼付に先駆けて、前記接着シートの供給方向先端部における前記はみ出し領域のみを、前記別の面方向に折り曲げて貼付しておく先端部貼付手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記接着シートの折り曲げの切っ掛けとなる折り曲げ切っ掛けを当該接着シートに形成する折り曲げ切っ掛け形成手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記接着シートは、弾性変形が可能に設けられ、
   前記供給手段と前記押圧手段との間に位置する前記接着シートに対し、前記供給方向に沿う方向の張力を付与することで、前記はみ出し領域を前記別の面方向に折り曲げる張力付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
4. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形するものとされ、
   前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のシート貼付装置。
5. 接着シートを所定の供給方向に沿って供給する供給工程と、
   前記供給工程で供給された前記接着シートにおける前記供給方向に沿う一端側および他端側のうち少なくとも一方が、被着体の外縁端面からはみ出したはみ出し領域を形成するように、当該接着シートを前記外縁端面に押圧手段で押圧する押圧工程と、
   前記押圧手段と前記被着体とを相対移動させ、前記外縁端面に前記接着シートを貼付する移動工程と、
   前記はみ出し領域を前記外縁端面に隣接する別の面方向に折り曲げて貼付するはみ出し領域貼付工程とを実施し、
   前記押圧工程と前記はみ出し領域貼付工程との間で、当該はみ出し領域貼付工程による貼付に先駆けて、前記接着シートの供給方向先端部における前記はみ出し領域のみを、前記別の面方向に折り曲げて貼付しておく先端部貼付工程をさらに行うことを特徴とするシート貼付方法。