TW202339050A - 片貼附裝置以及片貼附方法 - Google Patents

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Abstract

本發明課題為提供一種能極力地防止接著片的供給方向前端部在被突出區域貼附單元貼附至被接著體之前就從被接著體脫落之片貼附裝置以及片貼附方法。解決手段為具備：供給單元10，係沿著預定的供給方向SD而供給接著片AS；按壓單元20，係以使得由供給單元10所供給的接著片AS中沿著供給方向SD的一端AS1側以及另一端AS2側中的至少其中之一形成從被接著體WK的外緣端面WKE突出之突出區域ASH的方式，將該接著片AS按壓至外緣端面WKE；移動單元30，係使按壓單元20與被接著體WK相對移動，以將接著片AS貼附至外緣端面WKE；以及突出區域貼附單元40，係將突出區域ASH彎折並貼附至與外緣端面WKE相鄰之其他表面WK1、WK2的方向；並進一步具備：前端部貼附單元50，係位於按壓單元20與突出區域貼附單元40之間，並且於該突出區域貼附單元40所進行的貼附之前先將接著片AS的僅供給方向前端部ASF中的突出區域ASH彎折並貼附至其他表面WK1、WK2的方向。

Description

片貼附裝置以及片貼附方法
本發明係關於一種片貼附裝置以及片貼附方法。
已知一種將接著片貼附至被接著體之片貼附裝置(例如參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2022-30877號公報。
[發明所欲解決之課題]
於專利文獻1所記載之帶貼附系統(片貼附裝置)中，由於被側輥(43)(按壓單元)貼附至晶圓(W)(被接著體)的外周側面(外緣端面)之保護帶(27)(接著片)的供給方向前端部的接著區域很少， 因此於該接著片的供給方向前端部到達第一輥(46)(突出區域貼附單元)之前發生從被接著體脫落之不理想情況。
本發明的目的在於提供一種片貼附裝置以及片貼附方法，此兩者係能極力地防止接著片的供給方向前端部被突出區域貼附單元貼附至被接著體之前就從被接著體脫落。 [用以解決課題之手段]
本發明係採用申請專利範圍所記載之構成。 [發明功效]
根據本發明，由於在突出區域貼附單元所進行的貼附之前先將接著片的僅供給方向前端部中的突出區域彎折並貼附至其他表面方向，因此使得該供給方向前端部中接著至被接著體之接著區域變多。是以，能極力地防止接著片的供給方向前端部在被突出區域貼附單元貼附至被接著體之前就從被接著體脫落。
以下，基於圖式對本發明一實施形態進行說明。 另外，本實施形態中的X軸、Y軸、Z軸係處於分別正交之關係，將X軸以及Y軸設為預定平面內的軸，將Z軸設為與該預定平面正交的軸。進一步地，在本實施形態中以從與Y軸平行的圖1中的下方來觀察之情況作為基準，當未指定圖而表示方向時，「上」係指Z軸的箭頭方向而「下」為該Z軸的箭頭方向的反方向，「左」為X軸的箭頭方向而「右」為該X軸的箭頭方向的反方向，「前」為與Y軸平行的圖1中的正前方方向而「後」為該正前方方向的反方向。另外，圖1中的(D)為圖1中的(E)的箭頭AA的箭頭視圖，圖1中的(F)為圖1中的(E)的箭頭BB的箭頭視圖，圖1中的(G)為圖1中的(E)的箭頭CC的箭頭視圖。
本發明的片貼附裝置EA係具備：供給單元10，係實施：供給工序，係沿著預定的供給方向SD而供給接著片AS；按壓單元20，係實施：按壓工序，係將供給單元10所供給的接著片AS按壓至被接著體WK的外緣端面WKE，使得該接著片AS中沿著供給方向SD的一端AS1側以及另一端AS2側兩者形成從外緣端面WKE突出之突出區域ASH；移動單元30，係實施：移動工序，係使按壓單元20與被接著體WK相對移動，以將接著片AS貼附至外緣端面WKE；突出區域貼附單元40，係實施：突出區域貼附工序，係將突出區域ASH彎折並貼附至作為與外緣端面WKE相鄰之其他表面之一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向；前端部貼附單元50，係位於按壓單元20與突出區域貼附單元40之間，並實施：前端部貼附工序，係於該突出區域貼附單元40所進行的貼附之前先將接著片AS的僅供給方向前端部ASF中的突出區域ASH彎折並貼附至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向；彎折起點形成單元60，係實施：彎折起點形成工序，係於接著片AS形成彎折起點ASC(參照圖1中的(C))，以作為該接著片AS的彎折的起點；張力賦予單元70，係實施：張力賦予工序，係藉由對位於供給單元10與按壓單元20之間之接著片AS賦予沿著供給方向SD之方向的張力，將突出區域ASH彎折至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向；以及能量賦予單元80，係實施：能量賦予工序，係對接著片AS賦予作為預定的能量之熱。 另外，本實施形態的接著片係採用設為能夠彈性變形並且藉由作為預定的能量之熱而變形的接著片。 此外，本實施形態的被接著體WK係採用以被接著體中心WKR為中心之圓形形狀的被接著體WK。
供給單元10係具備：支撐構件11，係直接或間接地支撐構成該供給單元10之各構件；支撐輥12，係支撐由接著片AS暫時地附著至帶狀的剝離片RL而成的原料片(raw sheet)RS；導輥(guide roller)13，係引導原料片RS；作為剝離單元之剝離板14，係用剝離緣14A將剝離片RL折返，並從該剝離片RL將接著片AS剝離；驅動輥15，係由作為驅動裝置之轉動馬達15A的未圖示的輸出軸所支撐，並與壓輥(pinch roller)15B一起夾入剝離片RL；以及作為回收單元之回收輥16，係由未圖示的驅動裝置的輸出軸所支撐，並於片貼附裝置EA進行自動運轉的期間對存在於回收輥16與壓輥15B之間的剝離片RL常態地賦予預定的張力，以回收該剝離片RL。
按壓單元20係具備：按壓輥21，係由未圖示的托架以能夠旋轉的方式而支撐。
移動單元30係具備：作為驅動裝置之線性馬達31；作為驅動裝置之轉動馬達32，係由線性馬達31的滑件31A所支撐；以及支撐台33，係由轉動馬達32的輸出軸32A所支撐，並具有能夠藉由如減壓泵、真空抽氣器 (vacuum ejector)等未圖示的減壓單元(保持單元)而進行吸附保持之保持面33A。支撐台33係呈以下構成：藉由轉動馬達32而以台中心33R為中心而旋轉。
突出區域貼附單元40係具備由未圖示的托架以能夠旋轉的方式而支撐之第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43。於本實施形態中，第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43係如圖1中的(F)至(H)所示般，分別配置為上下一對，並且配置於當被接著體WK的被接著體中心WKR位於輥配置中心40R時能夠將被貼附至該被接著體WK的外緣端面WKE之接著片AS的突出區域ASH彎折至一側的表面WK1的方向以及另一側的表面WK2的方向之位置。此外，第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43係呈例如分別以相對於Z軸而往輥配置中心40R的方向傾斜30度、60度、90度之未圖示的旋轉軸為中心而旋轉。
前端部貼附單元50係具備：作為驅動裝置之直動馬達51；第一托架52，係由直動馬達51的輸出軸51A所支撐；兩個第二托架53；係由第一托架52以能夠擺動的方式而支撐，並分別地對一個夾入輥54以能夠旋轉的方式進行支撐；以及作為施力單元之線圈彈簧55，係往使夾入輥54彼此接近之方向施力。
彎折起點形成單元60係具備：彎折起點形成輥61，係由剝離板14以能夠旋轉的方式而支撐；作為驅動裝置之直動馬達62，係能夠控制扭力；以及按壓輥63，係由直動馬達62的輸出軸62A以能夠旋轉的方式而支撐，並將原料片RS按壓至彎折起點形成輥61。 彎折起點形成輥61的外緣係形成為具前端漸細形狀之圓板狀，並藉由按壓輥63按壓原料片RS而於接著片AS的接著面側形成凹溝狀的壓痕，並將該壓痕作為彎折起點ASC。
張力賦予單元70係具備：作為驅動裝置之轉動馬達71，係能夠控制扭力；以及驅動輥72，係由轉動馬達71的未圖示的輸出軸所支撐，並與壓輥73一起夾入原料片RS。
能量賦予單元80係具備：熱風送風機81，係噴射由如線圈加熱器、熱管的加熱側等未圖示的加熱裝置進行加熱之熱氣。
說明上述的片貼附裝置EA的動作。 首先，如圖1中的(A)所示般，由片貼附裝置EA的使用者(以下簡稱為「使用者」)將原料片RS設置至已將各構件配置於如圖1中的(A)的實線所示之初始位置之片貼附裝置EA之後，經由操作面板、個人計算機等未圖示的操作單元來輸入開始自動運轉的訊號。如此一來，彎折起點形成單元60係驅動直動馬達62，使得如圖1中的(A)中的二點鏈線所示般由彎折起點形成輥61與按壓輥63以預定的按壓力夾入原料片RS。此時，原料片RS中的前方的接著片AS並未被彎折起點形成輥61與按壓輥63夾入。接著，當供給單元10以及張力賦予單元70驅動轉動馬達15A、71而將原料片RS拉出使得如圖1中的(A)中的二點鏈線所示般前方的接著片AS的供給方向前端部ASF被剝離板14的剝離緣14A剝離出預定的長度時，停止驅動轉動馬達15A、71。另外，當接著片AS通過彎折起點形成輥61與按壓輥63之間時，藉由彎折起點形成輥61而於接著面側形成沿著供給方向SD的凹溝狀的彎折起點ASC。
之後，當使用者或如多關節機器人、帶式輸送器等未圖示的搬送單元將被接著體WK載放至支撐面33A上使得如圖1中的(A)所示般被接著體中心WKR與台中心33R重疊時，移動單元30係驅動未圖示的減壓單元並開始由該支撐面33A所進行的吸附保持。此外，供給單元10以及張力賦予單元70係驅動轉動馬達15A、71並拉出原料片RS而使得如圖1中的(B)所示般使接著片AS的供給方向前端部ASF位於按壓輥21的前方預定位置。此時，藉由未圖示的空氣噴嘴、電離器(ionizer)等施力單元所進行的施力，將接著片AS的供給方向前端部ASF形成為與按壓輥21的前方接觸之狀態。
接著，當移動單元30係驅動線性馬達31而使被接著體WK往左方移動使得如圖1中的(B)、(C)所示般台中心33R(被接著體中心WKR)與輥配置中心40R一致時，停止驅動線性馬達31。此時，如圖1中的(B)、(C)所示般，於彎折起點ASC與外緣端面WKE對向之狀態下，接著片AS的供給方向前端部ASF係呈被按壓輥21與外緣端面WKE夾入之狀態。另外，藉由將彎折起點ASC形成為與外緣端面WKE對向之狀態，使得突出區域ASH易於彎折至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向並能順利地對接著片AS進行彎折。
然後，供給單元10、移動單元30以及張力賦予單元70係驅動轉動馬達15A、32、71，一邊使被接著體WK於由上往下的俯視下沿逆時針方向RD旋轉，一邊供給接著片AS。藉此，當接著片AS係被按壓輥21按壓而貼附至外緣端面WKE且該接著片AS的供給方向前端部ASF到達夾入輥54的前方預定位置時，供給單元10、移動單元30以及張力賦予單元70係停止驅動轉動馬達15A、32、71。另外，當將接著片AS貼附至外緣端面WKE時，張力賦予單元70係驅動轉動馬達71，並經由驅動輥72來檢測由接著片AS所施加的扭力，並在使該扭力常態地為預定的值之情況下供給接著片AS，藉此對接著片AS賦予沿著供給方向SD之方向的張力。藉此，能夠彈性變形的接著片AS係由於原有的彈性復原力而如圖1中的(C)所示般呈一端AS1側以及另一端AS2側的突出區域ASH彎折至一側的表面WK1側以及另一側的表面WK2側之姿勢。此時，藉由於接著片AS形成彎折起點ASC，使得突出區域ASH易於彎折至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向並能順利地對接著片AS進行彎折。
接著，前端部貼附單元50係驅動直動馬達51，使得如圖1中的(D)中的二點鏈線以及圖1中的(E)所示般使夾入輥54前進並用該夾入輥54將接著片AS的供給方向前端部ASF貼附至被接著體WK之後，使該夾入輥54返回至初始位置。之後，供給單元10、移動單元30、張力賦予單元70以及能量賦予單元80係將轉動馬達15A、32、71以及熱風送風機81驅動，並一邊使被接著體WK於俯視下沿逆時針方向RD旋轉，一邊供給接著片AS。藉此，如圖1中的(E)中的二點鏈線以及圖1中的(F)、(G)、(H)所示般，接著片AS的突出區域ASH係被第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43階段性地彎折，最終將一端AS1側的突出區域ASH貼附至一側的表面WK1側，並將另一端AS2側的突出區域ASH貼附至另一側的表面WK2側。由於此時亦在接著片AS形成有彎折起點ASC，因此突出區域ASH易於彎折至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向並能順利地對接著片AS進行彎折。另外，由於熱風送風機81所噴射的熱氣而使得接著片AS的兩個突出區域ASH易於變形而彎折至被接著體WK的方向，且該突出區域ASH易於貼附至被接著體WK。
接著，當接續於前方的接著片AS之下個接著片AS的供給方向前端部ASF被剝離板14的剝離緣14A剝離出預定的長度時，供給單元10以及張力賦予單元70係停止驅動轉動馬達15A、71並停止拉出原料片RS。然後，當前方的接著片AS的供給方向後端部ASR中的兩個突出區域ASH被第三按壓輥43貼附至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2而形成一體物UP時，移動單元30以及能量賦予單元80係停止驅動轉動馬達32以及熱風送風機81。另外，被貼附至被接著體WK之接著片AS的供給方向前端部ASF以及供給方向後端部ASR可彼此互相重疊，亦可彼此分離，亦可以對接的方式接觸。
接著，移動單元30係驅動線性馬達31，使支撐台33返回初始位置，之後停止驅動未圖示的減壓單元，以解除由支撐面33A所進行的吸附保持。之後，使用者或未圖示的搬送單元係將一體物UP搬送至下個工序，之後重複與上述相同的動作。
根據如上所述的實施形態，由於在由突出區域貼附單元40所進行的貼附之前先將接著片AS的僅供給方向前端部ASF中的突出區域ASH彎折並貼附至一側的表面WK1以及另一側的表面WK2的方向，因此該供給方向前端部ASF中接著至被接著體WK的接著區域變多。是以，能極力地防止接著片AS的供給方向前端部ASF在被突出區域貼附單元40貼附至被接著體WK之前就從被接著體WK脫落。
本發明中的單元以及工序在能發揮針對這些單元以及工序所說明的動作、功能或工序的前提下就沒有任何限制，尤其是完全不限為前述實施形態中所示的僅一實施形態的構成物、工序。例如，供給單元只要是能夠沿著預定的供給方向而供給接著片之供給單元即可，可為任何的供給單元，只要是對照申請時的技術常識在該技術範圍內則沒有任何限制(其他單元以及工序也相同)。
關於供給單元10，供給單元10可從原料片RS剝離出接著片AS而供給接著片AS，且該原料片RS係藉由於暫時附著至帶狀的剝離片RL之帶狀的接著片基材形成閉環狀或整個短邊寬度方向的切口並以該切口所劃分出的預定的區域作為該接著片AS而成；供給單元10亦可從原料片RS剝離出接著片AS而供給接著片AS，且該原料片RS係採用由帶狀的接著片基材暫時附著至帶狀的剝離片RL而成的帶狀接著片原料片，並於拉出該帶狀接合片原料片的過程中用作為切斷單元之切斷刀於接著片基材形成閉環狀或整個短邊寬度方向的切口，並以該切口所劃分出的預定的區域作為接著片AS；供給單元10亦可從帶狀的接著片AS暫時附著至帶狀的剝離片RL而成的原料片RS剝離出該帶狀的接著片AS而供給該接著片AS；供給單元10亦可從並非捲繞而是例如扇折(fanfold)而成之原料片RS剝離出接著片AS而供給該接著片AS；供給單元10亦可採用並非進行捲繞而是進行例如扇折而回收、以切碎機等切碎而回收、不刻意地累積而回收剝離片RL之回收單元；供給單元10亦可不採用回收單元；供給單元10亦可將未暫時附著至剝離片RL之接著片AS拉出而供給該接著片AS；供給單元10亦可具備將已貼附至被接著體WK之接著片AS切斷為預定的長度之切斷單元。
關於按壓單元20，按壓單元20亦可依使得由供給單元10所供給的接著片AS中的僅沿著供給方向SD之一端AS1側形成從被接著體WK的外緣端面WKE突出之突出區域ASH的方式來將該接著片AS按壓至外緣端面WKE；按壓單元20亦可依使得由供給單元10所供給的該接著片AS中的僅沿著供給方向SD之另一端AS2側形成從被接著體WK的外緣端側WKE突出之突出區域ASH的方式來將該接著片AS按壓至外緣端面WKE。
關於移動單元30，移動單元30可在未使被接著體WK移動的情況下或是移動著被接著體WK的情況下而使按壓單元20移動，以將接著片AS貼附至外緣端面WKE；移動單元30亦可不具備線性馬達31；移動單元30亦可採用無法用保持面33A進行吸附保持之支撐台33；移動單元30亦可具備與支撐台33一起夾入被接著體WK之上壓單元。
關於突出區域貼附單元40，突出區域貼附單元40可在未使被接著體WK移動的情況下或是移動著被接著體WK的情況下使第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43移動，以將突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向；突出區域貼附單元40亦可僅將一端AS1側的突出區域ASH彎折並貼附至一側的表面WK1的方向，或是僅將另一端AS2側的突出區域ASH彎折並貼附至另一側的表面WK2的方向；突出區域貼附單元40中的第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43亦可並非上下一對，而是僅設於一側的表面WK1側或是僅設於另一側的表面WK2側；突出區域貼附單元40中第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43相對於Z軸的傾斜角度亦可例如分別為15度、45度、91度等任何的傾斜角度；突出區域貼附單元40於上述實施形態中係藉由第一按壓輥41、第二按壓輥42以及第三按壓輥43以三階段將突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向，惟亦可以四階段以上或是以兩階段或是以一階段而將突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向；突出區域貼附單元40亦可取代輥或是與輥併用地以導板、回行帶、噴射空氣等將突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向；突出區域貼附單元40亦可為並未藉由移動單元30而相對於被接著體WK移動，而是藉由其他裝置或未圖示的驅動裝置等而相對於被接著體WK移動以將突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向之構成。
前端部貼附單元50亦可將接著片AS的供給方向前端部ASF中的僅一端AS1側的突出區域ASH彎折並貼附至一側的表面WK1的方向，或是將接著片AS的供給方向前端部ASF中的僅另一端AS2側的突出區域ASH彎折並貼附至另一側的表面WK2的方向；前端部貼附單元50中夾入輥54亦可並非上下一對，而是僅設於一側的表面WK1側或是僅設於另一側的表面WK2側；前端部貼附單元50亦可取代輥或是與輥併用地以導板、回行帶、噴射空氣等而將接著片AS的供給方向前端部ASF中的突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向；前端部貼附單元50中夾入輥54等的材質係可由如橡膠、樹脂等能夠彈性變形的材料所構成，亦可由如金屬、玻璃等無法彈性變形的材料所構成；前端部貼附單元50亦可為用夾具缸(chuck cylinder)或夾具馬達(chuck motor)等的輸出軸等來將接著片AS的僅供給方向前端部ASF中的突出區域ASH彎折並貼附至其他表面的方向之構成。
關於彎折起點形成單元60，彎折起點形成單元60亦可沿著與供給方向SD交叉的方向而設置複數個彎折起點形成輥61，並如圖1中的(F)至(H)中的二點鏈線所示般形成複數個(兩個以上)彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可為設有複數個彎折起點形成輥61構成為彼此間拉遠、拉近，以加寬或縮窄彎折起點ASC之間的間隔；彎折起點形成單元60亦可為彎折起點形成輥61相對於接著片AS拉遠、拉近之構成；彎折起點形成單元60亦可為按壓輥63未相對於接著片AS拉遠、拉近；使用者能考慮接著片AS的特性、特質、性質、材質、組成、構成、形狀、尺寸以及重量、氛圍的條件、其他因素等各種條件，而任意地決定彎折起點形成輥61與按壓輥63夾入原料片RS之預定的張力；彎折起點形成單元60亦可採用無法控制扭力之直動馬達62；彎折起點形成單元60亦可取代彎折起點形成輥61或是與彎折起點形成輥61併用地採用形成於剝離板14上之凸狀的突起物，或是採用噴射大氣或空氣等氣體之構件，以於接著片AS形成壓痕而將該壓痕設為彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可取代按壓輥63或是與按壓輥63併用而採用板狀構件，或是採用藉由噴射大氣或空氣等氣體之構件，以將接著片AS按壓至彎折起點形成輥61而形成彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可於沒有剝離片RL之狀態下於接著片AS形成彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可於接著片AS中的接著面側(原本貼附有剝離片RL之表面側)形成彎折起點ASC，或是於接著片AS中的非接著面側(原本貼附有剝離片RL之表面的反面側)形成彎折起點ASC，或是於接著片AS中的接著面側以及非接著面側兩者形成彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可磨削接著片AS，或是於接著片AS形成切口，以形成凹溝狀的彎折起點ASC；彎折起點形成單元60亦可不限於凹溝狀的彎折起點，例如亦可對接著片AS賦予如紫外線、紅外線、可視光、聲波、X射線或伽瑪射線等之電磁波，或是熱水、熱風等之熱等能量，以使被照射該能量的部分的剛性低於其他部分的剛性，藉此以該剛性低的部分作為彎折起點；彎折起點形成單元60可設置於本發明的片貼附裝置EA，亦可並未設置於本發明的片貼附裝置EA。
關於張力賦予單元70，使用者能考慮接著片AS的特性、特質、性質、材質、組成、構成、形狀、尺寸以及重量、氛圍的條件、其他因素等各種條件，而任意地決定賦予至接著片AS的預定的張力；張力賦予單元70亦可採用無法控制扭力之轉動馬達71；張力賦予單元70亦可為將原料片RS或接著片AS以能夠滑動的方式把持，並調整此把持力以對位於供給單元10與按壓單元20之間之接著片AS賦予沿著供給方向SD的方向的張力之構成；張力賦予單元70亦可為位於供給單元10的外部並對接著片AS賦予沿著供給方向SD的方向的張力之構成；張力賦予單元70可設置於本發明的片貼附裝置EA，亦可並未設置於本發明的片貼附裝置EA。
關於能量賦予單元80，能量賦予單元80可賦予如紫外線、紅外線、可視光、聲波、X射線或伽瑪射線等之電磁波，或是熱水、熱風等之熱等，以作為預定的能量，能考慮接著片AS的特性、特質、性質、材質、組成以及構成而任意地決定；能量賦予單元80可設置於本發明的片貼附裝置EA，亦可並未設置於本發明的片貼附裝置EA。
關於片貼附裝置EA，片貼附裝置EA可對一個被接著體WK貼附一片接著片AS，亦可對一個被接著體WK貼附複數個接著片AS；片貼附裝置EA亦可於一側的表面WK1側以及另一側的表面WK2側中的至少其中之一配置如金屬、玻璃、樹脂、其他接著片等之支撐構件，並用接著片AS使被接著體WK與支撐構件一體化。
關於接著片，接著片可為以如紫外線、紅外線、可視光、聲波、X射線或伽瑪射線等之電磁波，或是熱水、熱風等之熱等以作為預定的能量而變形之接著片；亦可採用不彈性變形的接著片，或是採用不藉由預定的能量而變形的接著片。 作為藉由預定的能量而變形的接著片AS，可為伴隨收縮而變形、或是伴隨膨脹而變形、或是並未伴隨收縮且亦未伴隨膨脹而變形之接著片AS。 關於被接著體WK，被接著體WK亦可於一側的表面WK1側以及另一側的表面WK2側中的至少其中之一形成有環狀或非環狀的凸部；被接著體WK亦可於一側的表面WK1側以及另一側的表面WK2側中的至少其中之一附接有如金屬、玻璃、樹脂、其他接著片等之支撐構件。
本發明中的接著片AS、支撐構件以及被接著體WK的材質、種類、形狀等並無特別限制。例如，接著片AS、支撐構件以及被接著體WK可為圓形、橢圓形、三角形或四邊形等多邊形、亦可為其他形狀；接著片AS亦可為感壓接著性、感熱接著性等接著形態，當採用感熱接著性的接著片AS時，只要用適當方式進行接著即可，如設置加熱該接著片AS之適當的線圈加熱器或熱管的加熱側等加熱單元。此外，如此的接著片AS可為例如僅具有接著劑層之單層的片；由基材與接著劑層積層而成的兩層的片；於基材與接著劑層之間積層有一個或複數個中間層而成的三層或三層以上的片；於基材的上表面積層有一個或複數個覆蓋層之三層或三層以上的片；基材、中間層或是覆蓋層係設置為能夠剝離之片；僅由接著劑層構成之單層的雙面接著片；於一個或複數個中間層的兩個最外表面積層有接著劑層之雙面接著片等，可為任何的片。進一步地，作為被接著體WK，例如亦可為食品、樹脂容器、如矽半導體晶圓或化合物半導體晶圓等之半導體晶圓、如電路基板、光碟等之資訊記錄基板、如玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂等之單獨物質，亦可為由兩個以上的這些物質所形成之複合物，能將任意形態之構件或物品等作為對象。另外，接著片AS以及其他的接著片可替換為功能性、用途性的讀法，例如可為資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護片、切斷帶、晶粒接著膜(die attach film)、固晶帶(die bond tape)、記錄層形成樹脂片等任意的片、膜、帶等。
前述實施形態中的驅動裝置中能單獨採用：如轉動馬達、直動馬達、線性馬達、單軸機器人、具備二軸或三軸以上的關節之所謂的多關節機器人等之電動裝置；如氣缸(air cylinder)、油壓缸、無桿缸(rod-less cylinder)以及旋轉缸(rotary cylinder)等之致動器(actuator)等；也能採用將這些電動裝置、致動器等直接或間接組合而成的驅動裝置；可採用能夠或無法對這些電動裝置以及致動器等輸出部進行扭力控制、速度控制等之驅動裝置。
於前述實施形態中，當採用輥等旋轉構件時，可具備使該旋轉構件旋轉驅動之驅動裝置；亦可由橡膠或樹脂等能夠變形的構件來構成旋轉構件的表面或是構成旋轉構件本身；也可由不變形的構件來構成旋轉構件的表面或是構成旋轉構件本身；也可取代輥而採用旋轉或不旋轉的軸件(shaft)或葉片(blade)等其他構件；當採用按壓輥或按壓頭等按壓單元、按壓構件之類的對被按壓物進行按壓之構件時，也可取代上述例示構件或與上述例示構件併用地採用輥、圓棒、葉片材、刷子狀構件，另外也可採用藉由噴射大氣或空氣等之氣體進行按壓之構件；亦可由橡膠、樹脂、海綿等能夠變形之構件來構成進行按壓之構件；亦可由金屬、玻璃等不變形的構件來構成進行按壓之構件；當採用如剝離板或剝離輥等剝離單元或剝離構件之類的對被剝離物進行剝離之構件時，也可取代上述例示構件或與上述例示構件併用地採用板狀構件、圓棒、輥等之構件；進行剝離的構件也可由橡膠、樹脂等能夠變形的構件所構成，亦可由不變形的構件所構成；當採用支撐(保持)單元或支撐(保持)構件等用於對被支撐構件(被保持構件)進行支撐(保持)之構件時，亦可採用於機械夾具(mechanical chuck)或夾具缸等把持單元、庫侖力(Coulomb force)、接著劑(接著片、接著帶)、黏著劑(黏著片、黏著帶)、磁力、伯努利(Bernoulli)吸附、抽吸吸附、驅動裝置等將被支撐構件予以支撐(保持)之構成；當採用切斷單元或切斷構件等將被切斷構件切斷或在被切斷構件形成切口或切斷線之構件時，也可取代上述例示構件或與上述例示構件併用地採用於切刀刃、雷射刀(laser cutter)、離子束(ion bean)、熱力(thermal power)、熱、水壓、電熱線、氣體或液體等之噴射等進行切斷之構件、或使以適當的驅動裝置組合而成之裝置進行切斷之構件移動來進行切斷；當採用施力單元時，可用彈簧、橡膠、樹脂或驅動裝置等來構成施力單元。
10:供給單元 11:支撐構件 12:支撐輥 13:導輥 14:剝離板 14A:剝離緣 15:驅動輥 15A:轉動馬達 15B:壓輥 16:回收輥 20:按壓單元 21:按壓輥 30:移動單元 31:線性馬達 31A:滑件 32:轉動馬達 32A:輸出軸 33:支撐台 33R:台中心 40:突出區域貼附單元 40R:輥配置中心 41:第一按壓輥 42:第二按壓輥 43:第三按壓輥 50:前端部貼附單元 51:直動馬達 51A:輸出軸 52:第一托架 53:第二托架 54:夾入輥 55:線圈彈簧 60:彎折起點形成單元 61:彎折起點形成輥 62:直動馬達 62A:輸出軸 63:按壓輥 70:張力賦予單元 71:轉動馬達 72:驅動輥 73:壓輥 80:能量賦予單元 81:熱風送風機 AA:箭頭 AS:接著片 AS1:一端 AS2:另一端 ASC:彎折起點 ASF:供給方向前端部 ASH:突出區域 ASR:供給方向後端部 BB:箭頭 CC:箭頭 EA:片貼附裝置 RD:逆時針方向 RL:剝離片 RS:原料片 SD:供給方向 UP:一體物 WK:被接著體 WK1:一側的表面(其他表面) WK2:另一側的表面(其他表面) WKE:外緣端面 WKR:被接著體中心
[圖1]係本發明的一實施形態的片貼附裝置的說明圖以及該片貼附裝置的動作說明圖。
10:供給單元
11:支撐構件
12:支撐輥
13:導輥
14:剝離板
14A:剝離緣
15:驅動輥
15A:轉動馬達
15B:壓輥
16:回收輥
20:按壓單元
21:按壓輥
30:移動單元
31:線性馬達
31A:滑件
32:轉動馬達
32A:輸出軸
33:支撐台
33R:台中心
40:突出區域貼附單元
40R:輥配置中心
41:第一按壓輥
42:第二按壓輥
43:第三按壓輥
50:前端部貼附單元
51:直動馬達
51A:輸出軸
52:第一托架
53:第二托架
54:夾入輥
55:線圈彈簧
60:彎折起點形成單元
61:彎折起點形成輥
62:直動馬達
62A:輸出軸
63:按壓輥
70:張力賦予單元
71:轉動馬達
72:驅動輥
73:壓輥
80:能量賦予單元
81:熱風送風機
AA:箭頭
AS:接著片
AS1:一端
AS2:另一端
ASC:彎折起點
ASF:供給方向前端部
ASH:突出區域
ASR:供給方向後端部
BB:箭頭
CC:箭頭
EA:片貼附裝置
RD:逆時針方向
RL:剝離片
RS:原料片
SD:供給方向
UP:一體物
WK:被接著體
WK1:一側的表面(其他表面)
WK2:另一側的表面(其他表面)
WKE:外緣端面
WKR:被接著體中心

Claims (6)

  1. 一種片貼附裝置，係具備： 供給單元，係沿著預定的供給方向而供給接著片； 按壓單元，係以使得由前述供給單元所供給的前述接著片中沿著前述供給方向的一端側以及另一端側中的至少其中之一形成從被接著體的外緣端面突出之突出區域的方式，將前述接著片按壓至前述外緣端面； 移動單元，係使前述按壓單元與前述被接著體相對移動，以將前述接著片貼附至前述外緣端面；以及 突出區域貼附單元，係將前述突出區域彎折並貼附至與前述外緣端面相鄰之其他表面的方向； 前述片貼附裝置並進一步具備： 前端部貼附單元，係位於前述按壓單元與前述突出區域貼附單元之間，並且於前述突出區域貼附單元所進行的貼附之前先將前述接著片的僅供給方向前端部中的前述突出區域彎折並貼附至前述其他表面的方向。
  2. 如請求項1所記載之片貼附裝置，其中具備：彎折起點形成單元，係於前述接著片形成彎折起點，以作為前述接著片的彎折的起點。
  3. 如請求項1或2所記載之片貼附裝置，其中前述接著片係形成為藉由預定的能量而變形； 前述片貼附裝置並具備：能量賦予單元，係對前述接著片賦予前述預定的能量。
  4. 如請求項1或2所記載之片貼附裝置，其中前述接著片係設為能夠彈性變形； 前述片貼附裝置並具備：張力賦予單元，係藉由對位於前述供給單元與前述按壓單元之間之前述接著片賦予沿著前述供給方向之方向的張力，將前述突出區域彎折至前述其他表面的方向。
  5. 如請求項4所記載之片貼附裝置，其中前述接著片係形成為藉由預定的能量而變形； 前述片貼附裝置並具備：能量賦予單元，係對前述接著片賦予前述預定的能量。
  6. 一種片貼附方法，係實施： 供給工序，係沿著預定的供給方向而供給接著片； 按壓工序，係以使得由前述供給工序中所供給的前述接著片中沿著前述供給方向的一端側以及另一端側中的至少其中之一形成從被接著體的外緣端面突出之突出區域的方式，將前述接著片按壓至前述外緣端面； 移動工序，係使前述按壓單元與前述被接著體相對移動，以將前述接著片貼附至前述外緣端面；以及 突出區域貼附工序，係將前述突出區域彎折並貼附至與前述外緣端面相鄰之其他表面的方向； 前述片貼附方法並進一步進行： 前端部貼附工序，係於前述按壓工序與前述突出區域貼附工序之間，於前述突出區域貼附工序所進行的貼附之前先將前述接著片的僅供給方向前端部中的前述突出區域彎折並貼附至前述其他表面的方向。
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