JP3235872U - シート貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】気体吹付エネルギーが無駄に消費されることを防止することができるシート貼付装置を提供する。
【解決手段】シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを繰り出す繰出機構１０と、繰出機構１０から繰り出された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧ローラ２０と、繰出機構１０で繰り出された接着シートＡＳに気体ＡＲを吹き付け、当該接着シートＡＳを押圧ローラ２０に向かって付勢する付勢機構３０とを備え、付勢機構３０に対し、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１および繰出方向後端部ＡＳ２に気体ＡＲを吹き付ける端部吹付期間を設けるとともに、繰出方向先端部ＡＳ１と繰出方向後端部ＡＳ２との間である繰出方向中央部ＡＳ３に気体ＡＲを吹き付けない吹付休止期間を設ける制御機構４０をさらに備えている。
【選択図】図１

Description

本考案は、シート貼付装置に関する。

繰出機構から繰り出された接着シートに気体を吹き付け、当該接着シートを押圧機構方向に付勢するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２０－４７６９９号公報

特許文献１に記載されたテープ貼着装置１（シート貼付装置）は、エアノズル３９（付勢機構）でダイシングテープＴ２（接着シート）の繰出方向先端部から繰出方向後端部まで連続して気体を吹き付けるため、気体を吹き付けるエネルギーや圧縮エアを生成するエネルギー等の気体吹付エネルギーが無駄に消費されるという不都合がある。

本考案の目的は、気体吹付エネルギーが無駄に消費されることを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。

本考案によれば、付勢機構に対し、接着シートの繰出方向先端部および繰出方向後端部に気体を吹き付ける端部吹付期間を設けるとともに、それらの間である繰出方向中央部に気体を吹き付けない吹付休止期間を設ける制御機構を備えているので、気体吹付エネルギーが無駄に消費されることを防止することができる。

本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。

以下、本考案の一実施形態を図１に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを繰り出す繰出機構１０と、繰出機構１０から繰り出された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧機構としての押圧ローラ２０と、繰出機構１０から繰り出された接着シートＡＳに気体ＡＲを吹き付け、当該接着シートＡＳを押圧ローラ２０方向に付勢する付勢機構３０と、付勢機構３０に対し、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１および繰出方向後端部ＡＳ２に気体ＡＲを吹き付ける端部吹付期間を設けるとともに、繰出方向先端部ＡＳ１と繰出方向後端部ＡＳ２との間である繰出方向中央部ＡＳ３に気体ＡＲを吹き付けない吹付休止期間を設ける制御機構４０とを備え、被着体ＷＫを支持する支持機構５０の近傍に配置されている。

繰出機構１０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離機構としての剥離板１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収機構としての回収ローラ１５とを備えている。

付勢機構３０は、大気やガス等の気体ＡＲを供給する加圧ポンプやタービン等の気体吹付機構３１と、配管３２Ａを介して気体吹付機構３１から供給された気体ＡＲを噴出するノズル３２とを備えている。

制御機構４０は、シート貼付装置ＥＡの全体的または部分的な動作を制御するコンピュータやシーケンサ等から構成され、付勢機構３０の動作を制御することで、当該付勢機構３０に端部吹付期間および吹付休止期間を設けるようになっている。なお、本実施形態の制御機構４０は、繰出方向中央部ＡＳ３全域に気体ＡＲを吹き付けないことで、繰出方向中央部ＡＳ３において、１回の吹付休止期間を設けるようになっている。

支持機構５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、リニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機器（保持機構）によって吸着保持が可能な支持面５２Ａを有するテーブル５２とを備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作機構を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出機構１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、図１（Ａ）に示すように、被着体ＷＫを支持面５２Ａ上の所定の位置に載置すると、支持機構５０が図示しない減圧機器を駆動し、支持面５２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、支持機構５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を左方に移動させ、当該テーブル５２が所定の位置に到達すると、制御機構４０が付勢機構３０を介して気体吹付機構３１を駆動し、図１（Ｂ）中実線で示すように、ノズル３２から噴出した気体ＡＲを接着シートＡＳに吹き付け、当該接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１を押圧ローラ２０方向に付勢した後、繰出機構１０が回動モータ１４Ａを駆動し、テーブル５２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１は、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、気体ＡＲによって押圧ローラ２０方向に付勢されつつ、当該押圧ローラ２０によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が被着体ＷＫに貼付されると、制御機構４０が付勢機構３０を介して気体吹付機構３１の駆動を停止し、図１（Ｃ）に示すように、接着シートＡＳに対する気体ＡＲの吹き付けを休止し、繰出方向中央部ＡＳ３全域に気体ＡＲを吹き付けない。

そして、繰出方向中央部ＡＳ３が被着体ＷＫに貼付されると、制御機構４０が付勢機構３０を介して気体吹付機構３１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、ノズル３２から噴出した気体ＡＲを接着シートＡＳに吹き付け、当該接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ２を押圧ローラ２０方向に付勢する。次いで、接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ２が被着体ＷＫに貼付されると、制御機構４０が付勢機構３０を介して気体吹付機構３１の駆動を停止し、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、繰出機構１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。その後、テーブル５２が押圧ローラ２０の下方を抜け出ると、支持機構５０がリニアモータ５１の駆動を停止した後、図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面５２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、支持機構５０がリニアモータ５１を駆動し、テーブル５２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、付勢機構３０に対し、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１および繰出方向後端部ＡＳ２に気体ＡＲを吹き付ける端部吹付期間を設けるとともに、それらの間である繰出方向中央部ＡＳ３に気体ＡＲを吹き付けない吹付休止期間を設ける制御機構４０を備えているので、気体吹付エネルギー（本実施形態の場合、気体吹付機構３１を駆動するエネルギー）が無駄に消費されることを防止することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。

例えば、繰出機構１０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断刃等の切断機構で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳ、剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収機構を採用してもよいし、回収機構を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出してもよい。

付勢機構３０は、気体吹付機構３１とノズル３２との間に電磁弁やバルブ等の弁機構を設け、制御機構４０が付勢機構３０を介してこの弁機構を駆動し、端部吹付期間と吹付休止期間とを設けるようにしてもよいし、ノズル３２を設けることなく、配管３２Ａから直接気体ＡＲを噴出してもよいし、配管３２Ａを設けることなく、気体吹付機構３１に直接ノズル３２を連結してもよいし、接着シートＡＳに吹き付ける気体ＡＲを、冷風、熱風、大気、単体ガス、混合ガス等としてもよい。

制御機構４０は、繰出方向中央部ＡＳ３において、接着シートＡＳに気体を吹き付ける中央部吹付期間を１回または複数回設けることで、複数回の吹付休止期間を設けてもよいし、接着シートＡＳにおいて気体ＡＲを吹き付ける繰出方向先端部ＡＳ１となる領域や繰出方向後端部ＡＳ２となる領域を任意に設定することができるし、端部吹付期間、吹付休止期間および中央部吹付期間の長さや回数を任意に設定することができる。

支持機構５０は、リニアモータ５１に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の駆動機器で被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させてもよいし、本考案のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、繰出機構１０、押圧ローラ２０および付勢機構３０を移動させ、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよい。
被着体は、フレーム部材としてのリングフレームであってもよいし、フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された半導体ウエハ等のフレーム支持対象物といった複合物であってもよく、被着体がフレーム部材およびフレーム支持対象物である場合、シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１および繰出方向後端部ＡＳ２をフレーム部材のみに貼付し、繰出方向中央部ＡＳ３をフレーム部材とフレーム支持対象物とに跨って貼付してもよいし、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１および繰出方向後端部ＡＳ２をフレーム部材とフレーム支持対象物とに跨って貼付し、繰出方向中央部ＡＳ３をフレーム支持対象物のみに貼付してもよい。
フレーム部材は、リングフレーム以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。

接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、被着体ＷＫおよびフレーム部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出機構は、接着シートを繰出可能なものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の機構および工程も同じ）。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用してもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離機構や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…繰出機構
２０…押圧ローラ（押圧機構）
３０…付勢機構
４０…制御機構
ＡＲ…気体
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…繰出方向先端部
ＡＳ２…繰出方向後端部
ＡＳ３…繰出方向中央部
ＷＫ…被着体

Claims (2)

1. 接着シートを繰り出す繰出機構と、
   前記繰出機構から繰り出された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧機構と、
   前記繰出機構から繰り出された前記接着シートに気体を吹き付け、当該接着シートを前記押圧機構方向に付勢する付勢機構とを備え、
   前記付勢機構に対し、前記接着シートの繰出方向先端部および繰出方向後端部に前記気体を吹き付ける端部吹付期間を設けるとともに、前記繰出方向先端部と前記繰出方向後端部との間である繰出方向中央部に前記気体を吹き付けない吹付休止期間を設ける制御機構をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記制御機構は、前記繰出方向中央部において、１回または複数回の前記吹付休止期間を設けることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
   

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