JP2020194834A - 支持装置および支持方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体の長手方向中央部が接着シートに引っ張られて当該被着体がフレーム部材の内縁方向に湾曲することを防止することができる支持装置および支持方法を提供すること。【解決手段】支持装置ＥＡは、接着シートＡＳを介して互いに一体化されるフレーム部材ＲＦおよび多角形状の被着体ＷＫを支持する装置であって、フレーム部材ＲＦを支持するフレーム支持手段１０と、フレーム支持手段１０の内側に位置し、被着体ＷＫを支持する被着体支持手段２０と、フレーム支持手段１０と被着体支持手段２０との間に位置し、被着体ＷＫの長手方向に延設された接着シート仮着部３３を有する接着シート支持手段３０とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、支持装置および支持方法に関する。

従来、フレーム部材および被着体に接着シートを貼付する際に、当該フレーム部材および被着体を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−１１０８１９号公報

特許文献１に記載されたテーブル７０（支持装置）は、リングフレーム２０（フレーム部材）およびその内側に配置された基板１１（被着体）を支持するが、フレーム部材や被着体の形状によっては、フレーム部材および被着体に粘着剤Ｓ１（接着シート）が貼付されると、被着体の長手方向中央部が接着シートに引っ張られて当該被着体がフレーム部材の内縁方向に湾曲するおそれがある。

本発明の目的は、被着体の長手方向中央部が接着シートに引っ張られて当該被着体がフレーム部材の内縁方向に湾曲することを防止することができる支持装置および支持方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、被着体の長手方向に延設された接着シート仮着部で、フレーム部材と被着体との間に位置する接着シート領域を仮着させて支持するため、被着体が接着シートに引っ張られて当該接着シートの面内方向に湾曲することを防止することができる。
また、被着体と接着シート仮着部との間隔を調整可能にすれば、当該間隔を最適化することができるので、被着体が接着シートの面内方向に湾曲することをより確実に防止することができる。

（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、支持装置ＥＡは、接着シートＡＳを介して互いに一体化されるフレーム部材としてのリングフレームＲＦおよび多角形状の被着体としての矩形状の基板ＷＫを支持する装置であって、リングフレームＲＦを支持するフレーム支持手段１０と、フレーム支持手段１０の内側に位置し、基板ＷＫを支持する被着体支持手段２０と、フレーム支持手段１０と被着体支持手段２０との間に位置し、基板ＷＫの長手方向に延設された接着シート仮着部３３を有する接着シート支持手段３０と、被着体支持手段２０に支持された基板ＷＫと接着シート仮着部３３との間隔を調整する調整手段４０とを備え、リングフレームＲＦおよび基板ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する貼付手段５０と、支持装置ＥＡと貼付手段５０とを相対移動させる移動手段６０とでシート貼付装置ＥＡ１が構成されている。

フレーム支持手段１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能なフレーム支持面１１Ａを有する外側テーブル１１を備えている。

被着体支持手段２０は、外側テーブル１１に形成された凹部１１Ｂ内に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な被着体支持面２１Ａを有する内側テーブル２１を備えている。

接着シート支持手段３０は、平面視すなわち上方から見た外形が、リングフレームＲＦの内縁に沿う円弧部３１と、基板ＷＫの長手方向に平行とされ、円弧部３１の端部を結ぶ直線部３２とを有する形状とされた板状の部材で構成され、その上面が接着シート仮着部３３となっている。

調整手段４０は、接着シート支持手段３０を支持するスライダ４１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ４１を備えている。

貼付手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２と、剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５３と、基板ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５４と、駆動機器としての図示しない回動モータの出力軸に支持され、ピンチローラ５５Ａとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ５５Ａとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５６とを備えている。

移動手段６０は、支持装置ＥＡを支持するスライダ６１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ６１を備えている。

以上の支持装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、調整手段４０がリニアモータ４１を駆動し、接着シート支持手段３０を前後方向に移動させて、基板ＷＫと接着シート仮着部３３との間隔を所定の値に調整する。次いで、貼付手段５０が図示しない回動モータを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定長さ剥離されると、図示しない回動モータの駆動を停止する。

その後、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように、リングフレームＲＦ、基板ＷＫをフレーム支持面１１Ａ、被着体支持面２１Ａ上の所定の位置に載置すると、フレーム支持手段１０および被着体支持手段２０が図示しないそれぞれの減圧手段を駆動し、フレーム支持面１１Ａ、被着体支持面２１ＡでのリングフレームＲＦ、基板ＷＫの吸着保持を開始する。次に、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持装置ＥＡを左方に移動させ、当該支持装置ＥＡが所定の位置に到達すると、貼付手段５０が図示しない回動モータを駆動し、支持装置ＥＡの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離板５３の剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ５４によってリングフレームＲＦおよび基板ＷＫに押圧されて貼付され、接着シートＡＳを介してリングフレームＲＦと基板ＷＫとが一体化された一体物ＷＫ１が形成される。この際、接着シートＡＳは、リングフレームＲＦと基板ＷＫとの間に位置する接着シート領域が押圧ローラ５４によって接着シート仮着部３３に押圧されて仮着され、当該接着シート仮着部３３で支持される。これにより、接着シート領域が押圧ローラ５４によって凹部１１Ｂ方向に変形した状態で接着シートＡＳがリングフレームＲＦに貼付されることが防止され、接着シート領域が変形する前の形状に戻ろうとする力によって基板ＷＫがリングフレームＲＦの内縁方向に引っ張られることが抑制される。そして、次の接着シートＡＳが剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定長さ剥離されると、貼付手段５０が図示しない回動モータの駆動を停止する。

リングフレームＲＦおよび基板ＷＫへの接着シートＡＳの貼付が完了し、支持装置ＥＡが所定の位置に到達すると、移動手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止した後、フレーム支持手段１０および被着体支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、フレーム支持面１１Ａ、被着体支持面２１ＡでのリングフレームＲＦ、基板ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＷＫ１を次工程に搬送すると、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持装置ＥＡを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、基板ＷＫの長手方向に延設された接着シート仮着部３３で、リングフレームＲＦと基板ＷＫとの間に位置する接着シート領域を仮着させて支持するため、基板ＷＫの長手方向中央部が接着シートＡＳに引っ張られて当該基板ＷＫがリングフレームＲＦの内縁方向に湾曲することを防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、支持装置ＥＡは、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、リングフレームＲＦと基板ＷＫの長手方向の端部との間に位置する接着シート支持手段３０Ａをさらに備えていてもよく、接着シート支持手段３０Ａは、調整手段４０で支持されてもよいし、されなくてもよい。

フレーム支持手段１０および被着体支持手段２０は、外側テーブル１１と内側テーブル２１とが一体的に形成されてもよい。

接着シート支持手段３０、３０Ａは、外側テーブル１１に直接支持されてもよい。
接着シート支持手段３０は、接着シート支持手段３０Ａと一体的に形成されてもよいし、基板ＷＫの長手方向に延設された単数または複数の直線状とされてもよいし、基板ＷＫの長手方向に平行な直線部３２を一辺とする三角形や四角形とされてもよいし、単数または複数の扇形状とされてもよいし、リニアモータ４１のスライダ４１Ａや外側テーブル１１に着脱自在に支持され、フレーム部材や被着体の大きさ、形状等に応じて交換可能とされてもよい。

調整手段４０は、リニアモータ４１を支持するスライダを有する駆動機器としてのリニアモータを備え、接着シート支持手段３０を基板ＷＫの長手方向と交わる方向に移動可能に構成してもよいし、リニアモータ４１に代えてまたは併用して、接着シート支持手段３０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な駆動機器としての所謂ＸＹテーブルで支持してもよい。

貼付手段５０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材（帯状の基材シートと帯状の接着剤層）に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断刃等の切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように図示しない回動モータのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、リングフレームＲＦの開口部を完全に覆うように接着シートＡＳを貼付してもよいし、リングフレームＲＦの開口部の一部を覆わないように接着シートＡＳを貼付してもよい。

移動手段６０は、基板ＷＫがＹ軸方向、またはＸ軸およびＹ軸に交差する方向に延びた状態で載置されるように、支持装置ＥＡを９０°回転させて支持してもよいし、支持装置ＥＡを移動させずにまたは移動させつつ、貼付手段５０を移動させてもよいし、リニアモータ６１に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で支持装置ＥＡと貼付手段５０とを相対移動させてもよい。

被着体は、三角形や五角形以上の多角形状であってもよいし、フレーム部材は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の環状の形状であってもよい。

接着シートＡＳの材質、種別、形状等や、被着体およびフレーム部材の材質、種別等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、フレーム支持手段は、フレーム部材を支持するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断したりしてもよい。

ＥＡ…支持装置
１０…フレーム支持手段
２０…被着体支持手段
３０…接着シート支持手段
３３…接着シート仮着部
４０…調整手段
ＡＳ…接着シート
ＲＦ…リングフレーム（フレーム部材）
ＷＫ…基板（被着体）

Claims (3)

1. 接着シートを介して互いに一体化されるフレーム部材および多角形状の被着体を支持する支持装置であって、
   前記フレーム部材を支持するフレーム支持手段と、
   前記フレーム支持手段の内側に位置し、前記被着体を支持する被着体支持手段と、
   前記フレーム支持手段と前記被着体支持手段との間に位置し、前記被着体の長手方向に延設された接着シート仮着部を有する接着シート支持手段とを備えていることを特徴とする支持装置。
2. 前記被着体支持手段に支持された被着体と前記接着シート仮着部との間隔を調整する調整手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
3. 接着シートを介して互いに一体化されるフレーム部材および多角形状の被着体を支持する支持方法であって、
   前記フレーム部材をフレーム支持手段で支持するフレーム支持工程と、
   前記フレーム支持手段の内側に位置する被着体支持手段で前記被着体を支持する被着体支持工程と、
   前記フレーム支持手段と前記被着体支持手段との間に位置し、前記被着体の長手方向に延設された接着シート仮着部で、前記接着シートを仮着させて支持する接着シート支持工程とを実施することを特徴とする支持方法。

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