JP2017055067A - 支持装置および支持方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の支持装置において、前記規制手段は、前記接着シートに当接可能な当接部材と、前記接着シートに対してその面方向に相対移動可能に設けられ、前記当接部材を回行する回行手段とを備えていることが好ましい。
また、規制手段に回行手段を設ければ、接着シートに対して当接部材を相対移動させる際に、接着シートが当接部材によって擦れることを防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者または多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、ウエハWFを支持面32A上の所定位置に載置すると、被着体支持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、支持面32AでウエハWFを吸着保持する。そして、図示しない搬送手段が接着シートASを上側にしてリングフレームRFを支持面21A上の所定位置に載置すると、シート支持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、支持面21AでリングフレームRFを吸着保持する。次いで、規制手段60が直動モータ62を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、当接部材63を接着シートASの上方である所定の位置にまで下降させる。
シート支持手段20は、接着シートASがリングフレームRFに貼付されていない場合、接着シートASを支持面21Aで直接支持してもよく、この場合、接着シートAS、シート支持手段20および密閉空間形成手段40で密閉空間SPが形成される。
シート支持手段20は、帯状の接着シート基材をリングフレームRFに貼付した後、当該接着シート基材を切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段で所定形状に切断してもよい。
シート支持手段20は、被着体支持手段30と一体に形成してもよい。
被着体支持手段30は、押圧ローラ74でウエハWFに接着シートASを貼付する前の段階において、当該ウエハWFに接着シートASが当接しない状態とすればどんな状態としてもよく、例えば、ウエハWFの上面がリングフレームRFの上面よりも高くなる状態としてもよいし、低くなる状態としてもよい。
内側テーブル32は、凹部32Cがなく、当該内側テーブル32の下面32Bにコイルばね42が支持されていてもよい。
密閉空間形成手段40は、直動モータ31とは別の駆動機器で下ケース41を移動させてもよく、この場合、付勢手段を省略してもよい。
付勢手段は、ゴムや樹脂等の弾性部材や駆動機器等で構成してもよい。
シール手段は、樹脂パッキンや金属パッキン等の他の部材で構成してもよいし、なくてもよい。
下ケース41は、凹部41Aがなく、当該下ケース41の上面にコイルばね42が支持されていてもよい。
密閉空間形成手段は、上面がシート支持手段20の下面に当接可能な内側テーブルを採用したり、上記の下ケース41を一体化した内側テーブルを採用したりすることで、それら内側テーブルの外縁部を上記の密閉空間形成手段40の代わりとすることができる。この場合、接着シートAS、シート支持手段20および被着体支持手段30で密閉空間SPが形成される。
密閉空間形成手段は、ウエハWFの外側で上方に立ち上がって接着シートASを支持する立設部を有する内側テーブルを採用することで、当該内側テーブルの立設部を上記のシート支持手段20および密閉空間形成手段40の代わりとすることができる。この場合、被着体支持手段が接着シートASをも支持するので、当該接着シートASおよび被着体支持手段(シート支持手段を含む)で密閉空間SPが形成される。
流体供給手段50が供給する流体は、大気、単体ガスおよび混合ガス等の気体であってもよいし、水やオイル等の液体、ジェル状体等であってもよい。
押圧ローラ74が移動して接着シートASがウエハWFに貼付されると、密閉空間SPの体積が減少し、密閉空間SP内の圧力が上昇するため、当該接着シートASに余計な張力が付与されてウエハWFに貼付されるので、流体供給手段50は、圧力検知手段80の検知結果を基にして図示しない減圧手段を駆動し、密閉空間SP内の圧力が所定値よりも大きくならいように調整するようにしてもよい。これにより、接着シートASにおける貼付方向後端部(左端部)に皺が寄せられることを防止することができる。
規制手段60は、当接部材63や回行手段65の位置を固定しておき、シート支持手段20、被着体支持手段30および密閉空間形成手段40を移動させて接着シートASをウエハWFに貼付してもよいし、両方を移動させて接着シートASをウエハWFに貼付してもよい。
規制手段60は、エア噴き付けにより接着シートASがウエハWFから所定の距離よりも離間することを規制してもよい。
温度調節手段64は、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段であってもよいし、加熱手段と冷却手段との両方を備えてもよい。
温度調節手段64は、接着シートASに紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等を照射してもよく、接着シートASの特性、組成、構成等に応じて適宜選択することができる。
温度調節手段64は、流体供給手段50が供給する流体を加熱したり冷却したりしてもよいし、なくてもよい。
他の装置で接着シートASをウエハWFに押圧して貼付する場合、本発明において押圧手段70は、なくてもよい。
被着体の形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
接着シートASは、リングフレームRFに貼付されていなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。環状でないフレーム部材の場合、その隙間を閉塞可能な閉塞部を支持面21Aに設ければよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 シート支持手段
30 被着体支持手段
40 密閉空間形成手段
50 流体供給手段
60 規制手段
63 当接部材
64 温度調節手段
65 回行手段
AS 接着シート
SP 密閉空間
WF ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 接着シートの外縁部を支持するシート支持手段と、
被着体を支持する被着体支持手段と、
少なくとも前記接着シートおよび前記シート支持手段を含む部材で前記被着体支持手段に支持された被着体を囲む密閉空間を形成可能な密閉空間形成手段と、
前記密閉空間に流体を供給する流体供給手段と、
前記供給された流体により前記接着シートが前記被着体から所定の距離よりも離間することを規制する規制手段とを備えていることを特徴とする支持装置。 - 前記規制手段は、前記接着シートに当接可能な当接部材と、前記当接部材を介して前記接着シートを加熱または冷却する温度調節手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載の支持装置。
- 前記規制手段は、前記接着シートに当接可能な当接部材と、前記接着シートに対してその面方向に相対移動可能に設けられ、前記当接部材を回行する回行手段とを備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の支持装置。
- 接着シートの外縁部をシート支持手段で支持する工程と、
被着体を被着体支持手段で支持する工程と、
少なくとも前記接着シートおよび前記シート支持手段を含む部材で前記被着体支持手段に支持された被着体を囲む密閉空間を形成する工程と、
前記密閉空間に流体を供給する工程と、
前記供給された流体により前記接着シートが前記被着体から所定の距離よりも離間することを規制する工程とを備えていることを特徴とする支持方法。
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