JP6473356B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、溝が形成された一方の面に保護テープ(第1接着シート)が貼付された半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という場合がある)(基材)の他方の面を研削することで、当該基材をチップ(被着体)に個片化した後、当該他方の面にダイシングテープ(第2接着シート)を貼付する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。また、このような貼り付けにおいて、皺や弛みなく貼付するために接着シートに張力を付与して被着体に貼付することが一般的に行われている。
特開2006−108254号公報
しかしながら、張力が付与された状態で被着体に貼付された接着シートには、この張力の反対方向に収縮しようとする力、いわゆる復元力が生じるため、当該復元力により溝の間隔が狭くなる。特に、特許文献1に記載されたような従来の方法のように第2接着シートに付与する張力の方向を第1接着シートの張力方向と同じにすると、第2接着シートが第1接着シートの収縮方向と同じ方向に収縮するので溝の間隔がさらに狭くなる。そのため、被着体をピックアップする際に被着体同士が接触してしまい、被着体が破損することや、検査する際に被着体が認識できない等、後の工程において支障を来すという不都合を生じる。
本発明の目的は、溝の間隔が一定方向にのみ狭くなることを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に1枚の第1接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に1枚の第2接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記第2接着シートを供給する供給手段と、前記複数の被着体に前記第2接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段と一体物とを相対移動させる移動手段を備え、前記被着体は、第1方向に沿って形成された第1溝と、当該第1溝に交差する第2方向に沿って形成された第2溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第1方向に沿って前記第1接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第1溝および第2溝に達するまで研削されることで形成され、前記移動手段は、前記第2方向に沿って前記第2接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段を備えている、という構成を採用している。
一方、本発明のシート貼付方法は、複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に1枚の第1接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に1枚の第2接着シートを貼付するシート貼付方法であって、前記第2接着シートを供給する工程と、前記複数の被着体に前記第2接着シートを押圧して貼付する工程と、前記被着体に前記第2接着シートを押圧する押圧手段と一体物とを相対移動させる工程を備え、前記被着体は、第1方向に沿って形成された第1溝と、当該第1溝に交差する第2方向に沿って形成された第2溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第1方向に沿って前記第1接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第1溝および第2溝に達するまで研削されることで形成され、前記押圧手段と一体物とを相対移動させる工程において、前記第2方向に沿って前記第2接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更する工程を備えている、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、被着体の他方の面に、第1方向に交差する第2方向に沿って第2接着シートを貼付するため、第1方向に第2接着シートの復元力が付与されることを防止でき、溝の間隔が一定方向にのみ狭くなることを防止することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図1中手前方向であるY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、複数の被着体としてのチップCPにおけるそれぞれの一方の面CP1に1枚の第1接着シートが貼付された一体物としての第1一体物WK1に対し、複数のチップCPにおけるそれぞれの他方の面CP2に1枚の第2接着シートAS2を貼付するシート貼付装置であって、第2接着シートAS2を供給する供給手段20と、複数のチップCPに第2接着シートAS2を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ30と、第1一体物WK1およびリングフレームRFを支持する支持手段40と、第1方向を検知する光学センサやカメラ等の検知手段50と、押圧ローラ30と第1一体物WK1とを相対移動させる移動手段60とを備えている。なお、チップCPは、第1方向に沿って形成された第1溝SP1と、当該第1溝SP1に直交する第2方向に沿って形成された第2溝SP2とが基材としてのウエハの一方の面に形成されるとともに、第1方向に沿って第1接着シートAS1が貼付された状態で、ウエハの他方の面側から第1溝SP1および第2溝SP2に達するまで研削されることで形成される。また、第1一体物WK1の外形は、第1接着シートAS1の復元力によって第1方向に収縮しており、第1一体物WK1の第1接着シートAS1貼付前の外形(以下、単に「シート貼付前形状」という場合がある)に対する第1接着シートAS1貼付後の外形(以下、単に「シート貼付後形状」という場合がある)の収縮量は、第1方向が最も大きくなる。このため、例えば、第1一体物WK1のシート貼付前形状が円形の場合、シート貼付後形状は、図1の符号AAの図に示すように、短軸AX1が第1方向と平行、長軸AX2が第2方向と平行な楕円形になる。
供給手段20は、第2接着シートAS2に帯状の剥離シートRLが仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内する複数のガイドローラ22と、剥離シートRLを折り返して当該剥離シートRLから第2接着シートAS2を剥離する剥離手段としての剥離板23と、駆動機器としての回動モータ24Aによって駆動する駆動ローラ24との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備えている。
支持手段40は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームRFを吸着保持可能な外側支持面41Aおよび当該外側支持面41Aから凹んだ凹部41Bを有する外側テーブル41と、凹部41B内に設けられた移動手段60を構成する駆動機器としての回動モータ62の出力軸62Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって第1一体物WK1を吸着保持可能な内側支持面42Aを有する内側テーブル42とを備えている。
移動手段60は、支持手段40をスライダ61Aで支持する駆動機器としてのリニアモータ61と、第2方向に沿って第2接着シートAS2をチップCPに貼付するように押圧ローラ30に対する第1一体物WK1の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段であり駆動機器としての回動モータ62とを備えている。
以上のシート貼付装置10の動作を説明する。
先ず、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段20が回動モータ24Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを所定量繰り出して停止する。次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、リングフレームRFおよび第1一体物WK1がそれぞれ外側テーブル41上および内側テーブル42上の所定の位置に搬送される。(本実施形態では、図1の符号AAの図に示すように、第2溝SP2が前後方向に延びるような状態とする。)すると、支持手段40が図示しない減圧手段を駆動し、外側支持面41Aおよび内側支持面42Aでの吸着保持を開始する。
その後、検知手段50が内側テーブル42で保持された第1一体物WK1の外形を基に、第1方向が左右方向であることを検知し、検知した第1方向に直交する方向(前後方向)を第2方向として算出する。次いで、移動手段60が回動モータ62を駆動し、第2方向に沿って第2接着シートAS2をチップCPに貼付可能となるように第1一体物WK1を90度回転させる。
その後、移動手段60がリニアモータ61を駆動し、スライダ61Aを左方向に移動させ、リングフレームRFが所定位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、供給手段20が回動モータ24Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、スライダ61Aの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、剥離板23で剥離された第2接着シートAS2が押圧ローラ30でリングフレームRFおよび第1一体物WK1の他方の面CP2に貼付され、第2一体物WK2が形成される。
第2一体物WK2が形成され、スライダ61Aが図1中二点鎖線で示す位置に達すると、供給手段20および移動手段60が回動モータ24A、図示しない駆動機器およびリニアモータ61の駆動を停止し、支持手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない搬送手段が第2一体物WK2を次工程に搬送した後、移動手段60がリニアモータ61を駆動し、スライダ61Aを図1中実線で示す位置に移動させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、第1一体物WK1の他方の面CP2に、第1方向に直交する第2方向に沿って第2接着シートAS2を貼付するため、第1方向に第2接着シートAS2の復元力が付与されることを防止でき、溝の間隔が一定方向のみに狭くなることを防止することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用することができる。
供給手段20および押圧手段は、剥離シートRLに仮着されていない第2接着シートAS2を供給して、リングフレームRFと第1一体物WK1とに貼付する構成でもよい。
第2接着シートAS2は、帯状のものであってもよく、シート貼付装置10は、当該帯状の第2接着シートAS2を第1一体物WK1に貼付した後に所望形状に切断する切断手段を備えていてもよい。
第2溝SP2は、第1溝SP1に直交する方向に沿って設けられたものに限らず、形成されるチップCPの形状が平行四辺形となるように、第1溝SP1に対して30°や45°傾斜する方向に沿って設けられたものであってもよく、その角度は限定されない。貼付方向変更手段は、その角度に合わせて押圧手段に対する第1一体物WKの相対移動方向を変更してもよい。
外側テーブル41および内側テーブル42の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等でリングフレームRFや第1一体物WK1を保持する構成でもよい。
外側テーブル41および内側テーブル42の少なくとも一方は、リングフレームRFの上面と第1一体物WK1の他方の面CP2とが同一面上に位置するように、高さ調整手段によってリングフレームRFや第1一体物WK1の高さを調整可能に構成されてもよい。
外側テーブル41は、なくてもよく、この場合、第1一体物WK1のみに第2接着シートAS2が貼付される。
検知手段50は、チップCPの間隔を検知して第1方向を検知してもよい。
検知手段50は、ウエハのノッチやオリエンテーションフラット(以下「オリフラ」という)を基準とした第1接着シートAS1の貼付方向情報を取得し、当該情報とノッチやオリフラの検知結果とを基に、第1方向を検知してもよい。
検知手段50は、第1一体物WK1に付されたIDやバーコードに記憶された情報を読み取り、この読み取り結果を基に、第1方向を検知してもよい。
検知手段50および回動モータ62は、なくてもよく、この場合、第1一体物WK1の外形やノッチやオリフラの位置から第1方向を認識した作業者が第2接着シートの供給方向と第2方向とが平行になるよう第1一体物WK1を回転させてもよい。
貼付方向変更手段は、供給手段20や押圧ローラ30側に設けてもよく、内側テーブル42を停止させておき、供給手段20や押圧ローラ30を回転させてもよいし、供給手段20、押圧ローラ30および内側テーブル42の全てを回転させてもよく、これらの場合、外側テーブル41は、ともに回転してもよいし、回転しなくてもよい。
リングフレームRFおよび第1一体物WK1に第2接着シートAS2を貼付する際、支持手段40を停止させておき、供給手段20および押圧ローラ30を移動させてもよいし、供給手段20、押圧ローラ30および支持手段40の全てを移動させてもよい。
また、本発明における第1、第2接着シートAS1、AS2および基材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第1、第2接着シートAS1、AS2が採用された場合は、第1、第2接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第1、第2接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、基材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の基材に貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第2接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10…シート貼付装置
20…供給手段
30…押圧ローラ(押圧手段)
50…検知手段
60…移動手段
62…回動モータ(貼付方向変更手段)
AS1、AS2…第1、第2接着シート
CP…チップ(被着体)
CP1…一方の面
CP2…他方の面
SP1…第1溝
SP2…第2溝

Claims (2)

  1. 複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に1枚の第1接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に1枚の第2接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
    前記第2接着シートを供給する供給手段と、
    前記複数の被着体に前記第2接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
    前記押圧手段と一体物とを相対移動させる移動手段を備え、
    前記被着体は、第1方向に沿って形成された第1溝と、当該第1溝に交差する第2方向に沿って形成された第2溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第1方向に沿って前記第1接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第1溝および第2溝に達するまで研削されることで形成され、
    前記移動手段は、前記第2方向に沿って前記第2接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更可能な貼付方向変更手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 複数の被着体におけるそれぞれの一方の面に1枚の第1接着シートが貼付された一体物に対し、前記複数の被着体におけるそれぞれの他方の面に1枚の第2接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
    前記第2接着シートを供給する工程と、
    前記複数の被着体に前記第2接着シートを押圧して貼付する工程と、
    前記被着体に前記第2接着シートを押圧する押圧手段と一体物とを相対移動させる工程を備え、
    前記被着体は、第1方向に沿って形成された第1溝と、当該第1溝に交差する第2方向に沿って形成された第2溝とが基材の一方の面に形成されるとともに、前記第1方向に沿って前記第1接着シートが貼付された状態で、当該基材の他方の面側から前記第1溝および第2溝に達するまで研削されることで形成され、
    前記押圧手段と一体物とを相対移動させる工程において、前記第2方向に沿って前記第2接着シートを前記被着体に貼付するように、前記押圧手段に対する前記一体物の相対移動方向を変更する工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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