JP6226660B2

JP6226660B2 - シート供給装置および供給方法

Info

Publication number: JP6226660B2
Application number: JP2013192130A
Authority: JP
Inventors: 高野　健; 健高野
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-09-17
Filing date: 2013-09-17
Publication date: 2017-11-08
Anticipated expiration: 2033-09-17
Also published as: JP2015058936A

Description

本発明は、接着シートを供給するシート供給装置および供給方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に貼付される接着シートを供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート供給装置は、モータによって回転駆動される一方の繰出ローラと、当該一方の繰出ローラとの間にフィルム供給テープ（原反）を挟み込む他方の繰出ローラとでフィルム供給テープに張力を付与しながら当該フィルム供給テープを繰り出し、ガイド部材（剥離手段）でベーステープ（剥離シート）を折り返して当該ベーステープから粘着フィルム（接着シート）を剥離することで当該粘着フィルムを供給するように構成されている。

特開２００６−４４１５２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート供給装置では、一対の繰出ローラにより原反を挟み込むため、接着シートの供給動作が停止すると、接着シートにおける繰出ローラの挟持部分に押圧痕が生じてしまうという不都合がある。このような不都合を回避するために、原反を挟み込む構成を除外すると、原反に張力を付与することができなくなり、剥離手段で剥離シートから接着シートが剥離されず、接着シートを供給することができなくなるという不都合が生じる。

本発明の目的は、接着シートに押圧痕が生じることを防止でき、接着シートを確実に供給することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。

本発明のシート供給装置は、剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記接着シートは、前記原反における繰出方向に直交する幅方向の大きさよりも小さく形成され、前記繰出手段は、前記原反の幅方向両端における前記接着シート以外の領域を挟み込む挟込手段を備え、前記挟込手段で前記原反が挟み込まれた状態で当該原反を繰出可能に設けられ、前記挟込手段は、前記原反の幅方向両端に配置されたローラと、前記ローラの前記幅方向の位置を変更可能な位置変更手段とを備えていることを特徴とする。
本発明のシート供給装置において、前記挟込手段は、前記ローラの前記原反の厚み方向の位置を変更可能な駆動機器を備えていることが好ましい。

本発明のシート供給方法は、剥離シートに接着シートが仮着された原反の幅方向両端に配置されたローラの前記幅方向の位置を変更する工程と、前記ローラにより前記接着シート以外の領域が挟み込まれた状態で当該原反を繰り出す工程と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程とを実施することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、原反における接着シート以外の領域を挟み込むため、接着シートに押圧痕が生じることを防止することができ、接着シートを確実に供給することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。シート供給装置の部分平面図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１および図２において、シート貼付装置１は、接着シートＡＳを供給するシート供給装置１Ａと、接着シートＡＳを保持する保持手段５と、シート供給装置１Ａと保持手段５とを相対移動させる移動手段６と、真空ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で被着体としてのウエハＷＦを支持する支持面７１Ａを有する支持手段７と、ウエハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段であって駆動機器としての直動モータ８とを備えている。

シート供給装置１Ａは、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板４とを備えている。なお、接着シートＡＳは、原反ＲＳの繰出方向（左右方向）に直交する幅方向（前後方向）（以下、単に「幅方向」という）の大きさよりも小さい直径を有する円形形状に形成され、剥離シートＲＬの幅方向の中央部に所定間隔で仮着されている。

繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２０と、原反ＲＳの幅方向両端における接着シートＡＳ以外の領域を挟み込む挟込手段２Ａと、原反ＲＳを案内するガイドローラ２６と、駆動機器としての回動モータ２７Ａによって駆動される駆動ローラ２７との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２８と、図示しない駆動機器によって駆動され、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２９とを備えている。
挟込手段２Ａは、原反ＲＳの幅方向両端にわたって延設され、駆動機器としての回動モータ２１Ａによって駆動される駆動ローラ２１と、駆動機器としての直動モータ２２の出力軸２２Ａに支持された位置変更手段であって駆動機器としてのリニアモータ２３と、リニアモータ２３のスライダ２３Ａ、２３Ｂにブラケット２４Ａ、２４Ｂを介して支持され、駆動ローラ２１との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２５Ａ、２５Ｂとを備えている。

保持手段５は、直動モータ８の出力軸８Ａに支持され、接着シートＡＳを保持する保持面５１Ａを有する保持プレート５１と、保持プレート５１に設けられ、保持面５１Ａに接着シートＡＳを保持させる静電チャック５２とを備えている。

移動手段６は、直動モータ８を支持するスライダ６１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ６１を備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、複数のピンチローラ２５Ａ、２５Ｂが駆動ローラ２１から離れた状態で、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットする。そして、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して、接着シートＡＳの幅方向の大きさと、運転開始の信号とを入力すると、挟込手段２Ａがリニアモータ２３を駆動し、入力した接着シートＡＳの幅方向の大きさに基づいてピンチローラ２５Ａ、２５Ｂを前後方向に移動させる。その後、挟込手段２Ａが直動モータ２２を駆動し、ピンチローラ２５Ａ、２５Ｂを右方向に移動させ、図２に示すように、駆動ローラ２１とで原反ＲＳの幅方向両端における接着シートＡＳ以外の領域すなわち、剥離シートＲＬを挟み込む。次いで、繰出手段２および挟込手段２Ａが回動モータ２１Ａ、２７Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、剥離板４の上部に位置する接着シートＡＳが所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、繰出手段２および挟込手段２Ａが回動モータ２１Ａ、２７Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。このとき、駆動ローラ２１とピンチローラ２５Ａ、２５Ｂとで原反ＲＳを挟み込んだ状態で一旦停止するが、駆動ローラ２１と複数のピンチローラ２５Ａ、２５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込んでいるので、接着シートＡＳに押圧痕が生じることを防止することができる。

次に、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持面７１Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段７が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを支持する。その後、押圧手段が直動モータ８を駆動し、図１中右側の二点鎖線で示すように、保持プレート５１を下降させ、接着シートＡＳに保持面５１Ａを当接させる。この状態で、保持手段５が静電チャック５２を駆動し、保持面５１Ａで接着シートＡＳを保持する。

次に、繰出手段２、挟込手段２Ａ、および移動手段６が回動モータ２１Ａ、２７Ａ、図示しない駆動機器、およびリニアモータ６１を同期させて駆動し、接着シートＡＳを保持した保持プレート５１を左方向に移動させながら原反ＲＳを繰り出すことにより、保持面５１Ａで接着シートＡＳを保持したまま、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する。その後、直動モータ８が図１中左側の二点鎖線で示す位置に移動すると、押圧手段が直動モータ８を駆動し、図１中左側の二点鎖線で示すように、保持プレート５１を下降させ、当該保持プレート５１で接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する。

次に、保持手段５が静電チャック５２の駆動を停止した後、移動手段６および押圧手段がリニアモータ６１および直動モータ８を駆動し、保持プレート５１を図１中実線で示す位置に復帰させる。その後、人手または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような本実施形態によれば、原反ＲＳにおける接着シートＡＳ以外の領域を挟み込むため、接着シートＡＳに押圧痕が生じることを防止することができ、接着シートＡＳを確実に供給することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、原反ＲＳは、閉ループ状の切り込みの内側に接着シートＡＳが形成された帯状の原接着シートが帯状の剥離シートＲＬに仮着されたものであってもよく、この場合、原接着シートにおける閉ループ状の切り込みの外側に位置する不要シートと剥離シートＲＬとを接着シート以外の領域の領域として駆動ローラ２１とピンチローラ２５Ａ、２５Ｂとで挟み込むこととなる。
さらに、ガイドローラ２６は、原反ＲＳの幅方向両端における接着シートＡＳ以外の領域に当接して原反ＲＳを案内するものであってもよい。

また、保持手段５は、真空ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段や粘着剤等によって接着シートＡＳを保持する構成であってもよい。
さらに、保持手段５は、剥離板４の左側に配置され、シート供給装置１Ａから供給された接着シートＡＳを当該剥離板４の左側で保持する構成であってもよく、この場合、移動手段６を省略することができる。

また、移動手段６は、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する動作に合わせて剥離手段を右方向に移動させてもよく、この場合、剥離手段のみを移動させてよいし、保持手段５と剥離手段との両方を移動させてもよい。
また、押圧手段と保持手段５とが剥離板４の左側に配置され、シート供給装置１Ａから供給された接着シートＡＳを当該剥離板４の左側で保持する構成であってもよく、この場合、移動手段６はなくてもよい。

また、押圧手段は、保持プレート５１で保持した接着シートＡＳを圧縮エアで吹き飛ばして被着体に貼付する所謂エアジェットタイプのものとしてもよい。
さらに、押圧手段は、剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳを保持プレート５１で保持することなく、押圧ローラ、ブレード材、あるいはゴム、樹脂、スポンジ等の押圧部材でウエハＷＦに押圧して貼付する構成であってもよい。この場合、保持手段５および移動手段６を省略することができる。

また、接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳの形状は、三角形、四角形やそれ以上の多角形状であってもよいし、楕円形状であってもよい。また、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。さらに、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、原反の幅方向両端における接着シート以外の領域を挟み込む挟込手段を備え、挟込手段で原反が挟み込まれた状態で当該原反を繰出可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１Ａシート供給装置
２繰出手段
２Ａ挟込手段
４剥離手段
ＡＳ接着シート
ＲＬ剥離シート
ＲＳ原反
ＷＦウエハ（被着体）

Claims

剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記接着シートは、前記原反における繰出方向に直交する幅方向の大きさよりも小さく形成され、
前記繰出手段は、前記原反の幅方向両端における前記接着シート以外の領域を挟み込む挟込手段を備え、前記挟込手段で前記原反が挟み込まれた状態で当該原反を繰出可能に設けられ、
前記挟込手段は、前記原反の幅方向両端に配置されたローラと、前記ローラの前記幅方向の位置を変更可能な位置変更手段とを備えていることを特徴とするシート供給装置。
剥離シートに接着シートが仮着された原反の幅方向両端に配置されたローラの前記幅方向の位置を変更する工程と、
前記ローラにより前記接着シート以外の領域が挟み込まれた状態で当該原反を繰り出す工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程とを実施することを特徴とするシート供給方法。
前記挟込手段は、前記ローラの前記原反の厚み方向の位置を変更可能な駆動機器を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。