JP6315751B2 - シート供給装置および供給方法 - Google Patents
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Description
このシート貼付装置は、鋭角な剥離縁を有するピールプレートで剥離直前の接着シートを保持手段の吸着面で吸着保持させ、ピールプレートを保持手段の下方から退避位置に移動させると同時に剥離シートを巻き取ることで、ピールプレートで剥離シートから剥離される接着シートを吸着面で吸着保持して当該接着シートを被着体に貼付している。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
先ず、オペレータが図1中二点鎖線で示すように、プーリ71および付勢ローラ81よりも左方で原反RSが折り返されるように当該原反RSをセットする。次いで、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段2が回動モータ25Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、プーリ71および付勢ローラ81よりも左方に位置する原反RSを巻き取る。そして、剥離シートRLの折り返し縁が図1中実線で示す折り返し位置に到達したことが剥離縁検知手段31によって検知されると、繰出手段2が回動モータ23Aを駆動するとともに、第1付勢手段7が回動モータ71Aを駆動し、剥離シートRLの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反RSを繰出方向DAに繰り出す。そして、接着シートASが第1付勢手段7の下方における所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段2および第1付勢手段7が回動モータ23A、25A、図示しない駆動機器および回動モータ71Aの駆動を停止し、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。
剥離手段3Aは、剥離シートRLを折り返す鋭角な剥離縁32Aと、下面に設けられた凹部32Bとを有する剥離板32を更に備えている。
第1付勢手段7Aは、保持手段4で構成されている。
第2付勢手段8Aは、付勢ローラ81を支持するブラケット82と、ブラケット82を支持する出力軸83Aを有する駆動機器としての直動モータ83を更に備えている。
リニアモータ9は、直動モータ5を支持するスライダ91を備えている。
また、押圧手段は、剥離シートRLから剥離された接着シートASをブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の押圧部材でウエハWFに押圧して貼付するようにしてもよい。
さらに、保持手段4は、静電チャックや粘着剤等によって接着シートASを保持する構成であってもよい。
また、第1付勢手段7は、接着シートASに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第2付勢手段8に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよい。
さらに、第2付勢手段8は、剥離シートRLに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第1付勢手段7に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよいし、付勢ローラ81を回動させる駆動機器を設けてもよいし、第1付勢手段7と同様の構成としてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2…繰出手段
3、3A…剥離手段
4…保持手段
5…直動モータ(押圧手段)
7、7A…第1付勢手段
8、8A…第2付勢手段
9…リニアモータ(移動手段)
AS…接着シート
RL…剥離シート
RL1…一方の面
RL2…他方の面
RS…原反
WF…ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、当該剥離手段で折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢手段と、前記剥離手段で折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢手段とを備え、前記第1付勢手段と前記第2付勢手段とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給装置。 - 剥離される前記接着シートを前記剥離シートの折り返しによって前記第1付勢手段に押しつけながら繰り出すことを特徴とする請求項1に記載のシート供給装置。
- 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程とを備えたシート供給方法であって、
前記剥離工程において、折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢工程と、折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢工程とを備え、前記第1付勢工程と第2付勢工程とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給方法。
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JP2013185521A JP6315751B2 (ja) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | シート供給装置および供給方法 |
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