JP6315751B2 - シート供給装置および供給方法 - Google Patents

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本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。
従来、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が利用されている(例えば、特許文献1参照)。
このシート貼付装置は、鋭角な剥離縁を有するピールプレートで剥離直前の接着シートを保持手段の吸着面で吸着保持させ、ピールプレートを保持手段の下方から退避位置に移動させると同時に剥離シートを巻き取ることで、ピールプレートで剥離シートから剥離される接着シートを吸着面で吸着保持して当該接着シートを被着体に貼付している。
特開2010−195409号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の装置では、剥離シートを巻き取るときに、ピールプレート(剥離板)の剥離縁で急激に折り返された剥離シートが剥離縁に擦れてしまい、剥離シートが切断してしまうという不都合がある。
本発明の目的は、剥離シートを切断させることなく当該剥離シートから接着シートを剥離することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート供給装置は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、当該剥離手段で折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢手段と、前記剥離手段で折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢手段とを備え、前記第1付勢手段と前記第2付勢手段とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する、という構成を採用している。
この際、本発明のシート供給装置では、剥離される前記接着シートを前記剥離シートの折り返しによって前記第1付勢手段に押しつけながら繰り出す、ことが好ましい。
一方、本発明のシート供給方法は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程とを備えたシート供給方法であって、前記剥離工程において、折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢工程と、折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢工程とを備え、前記第1付勢工程と第2付勢工程とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、折り返された剥離シートが剥離板の剥離縁で擦れることがないため、剥離シートを切断させることなく当該剥離シートから接着シートを剥離することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。 (A)、(B)は、本発明の変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。
図1において、シート貼付装置1は、剥離シートRLの一方の面RL1に接着シートASが仮着された原反RSを繰り出す繰出手段2と、繰り出される原反RSにおける剥離シートRLの他方の面RL2同士が対向する方向に当該原反RSを折り返すことで、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段3と、接着シートASを保持する保持手段4と、保持手段4で保持した接着シートASを被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という場合がある)WFに押圧して貼付する押圧手段であって駆動機器としての直動モータ5とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハWFを支持する支持面61を有する支持手段6の上方に設けられている。なお、繰出手段2と剥離手段3とでシート供給装置が構成されている。
繰出手段2は、原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、駆動機器としての回動モータ23Aによって駆動される駆動ローラ23との間に原反RSを挟み込むピンチローラ24と、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動される駆動ローラ25との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ26と、図示しない駆動機器によって剥離シートRLを回収する回収ローラ27とを備え、その全体が図示しないフレームに支持されている。
剥離手段3は、当該剥離手段3で折り返される前の原反RSにおける接着シートAS側から剥離シートRL側に向かって当該原反RSを付勢する第1付勢手段7と、剥離手段3で折り返された原反RSにおける剥離シートRLの一方の面RL1側から当該剥離シートRLの他方の面RL2側に向かって当該剥離シートRLを付勢する付勢ローラ81を有する第2付勢手段8と、剥離シートRLの折り返し縁を検知可能な光学センサや撮像手段等の剥離縁検知手段31とを備えている。第1付勢手段7は、駆動機器としての回動モータ71Aによって駆動されるプーリ71と、当該プーリ71と従動プーリ72とに掛け渡された丸ベルトや平ベルト等のベルト73とを備えている。
保持手段4は、直動モータ5の出力軸51に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続された保持面42を有する保持プレート41を備えている。
以上のシート貼付装置1において、ウエハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが図1中二点鎖線で示すように、プーリ71および付勢ローラ81よりも左方で原反RSが折り返されるように当該原反RSをセットする。次いで、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段2が回動モータ25Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、プーリ71および付勢ローラ81よりも左方に位置する原反RSを巻き取る。そして、剥離シートRLの折り返し縁が図1中実線で示す折り返し位置に到達したことが剥離縁検知手段31によって検知されると、繰出手段2が回動モータ23Aを駆動するとともに、第1付勢手段7が回動モータ71Aを駆動し、剥離シートRLの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反RSを繰出方向DAに繰り出す。そして、接着シートASが第1付勢手段7の下方における所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段2および第1付勢手段7が回動モータ23A、25A、図示しない駆動機器および回動モータ71Aの駆動を停止し、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。
次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段6の支持面61上にウエハWFを載置すると、支持手段6が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハWFを支持する。その後、保持手段4が図示しない減圧手段を駆動するとともに、繰出手段2および第1付勢手段7が回動モータ23A、25A、図示しない駆動機器および回動モータ71Aの駆動を駆動し、剥離シートRLの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反RSを繰出方向DAに繰り出す。これにより、折り返される前の原反RSにおける接着シートAS側から剥離シートRL側に向かって当該原反RSが付勢されるとともに、折り返された原反RSにおける剥離シートRLの一方の面RL1側から当該剥離シートRLの他方の面RL2側に向かって当該剥離シートRLが付勢された状態で、当該剥離シートRLから接着シートASが剥離され、剥離された接着シートASが保持プレート41の保持面42で保持される。このとき、剥離される接着シートASは、剥離シートRLの折り返しの反発力によってベルト73に押しつけられながら保持プレート41方向へ繰り出される。なお、先頭の接着シートASが剥離シートRLから剥離され、次の接着シートASが所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段2が回動モータ23A、25Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。そして、押圧手段が直動モータ5を駆動し、保持プレート41を下降させ、接着シートASをウエハWFに押圧して貼付する。その後、保持手段4が図示しない減圧手段の駆動を停止し、接着シートASの保持を解除した後、押圧手段が直動モータ5を駆動し、保持プレート41を図1中実線で示す位置に復帰させる。そして、支持手段6が図示しない減圧手段の駆動を停止し、ウエハWFの保持を解除した後、接着シートASが貼付されたウエハWFは、人手または図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、折り返された剥離シートRLが剥離板32の剥離縁32Aで擦れることがないため、剥離シートRLを切断させることなく当該剥離シートRLから接着シートASを剥離することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
例えば、シート貼付装置は、図2に示すシート貼付装置1Aであってもよく、当該シート貼付装置1Aは、シート貼付装置1に対し、剥離手段3、第1付勢手段7、第2付勢手段8に変えて剥離手段3A、第1付勢手段7A、第2付勢手段8Aを設けた点と、剥離手段3Aと第1付勢手段7Aとを相対移動させる移動手段としてのリニアモータ9を設けた点とが相違する。
剥離手段3Aは、剥離シートRLを折り返す鋭角な剥離縁32Aと、下面に設けられた凹部32Bとを有する剥離板32を更に備えている。
第1付勢手段7Aは、保持手段4で構成されている。
第2付勢手段8Aは、付勢ローラ81を支持するブラケット82と、ブラケット82を支持する出力軸83Aを有する駆動機器としての直動モータ83を更に備えている。
リニアモータ9は、直動モータ5を支持するスライダ91を備えている。
以上のシート貼付装置1Aにおいて、まず、オペレータが図2中実線で示すように、原反RSをセットする。次いで、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、押圧手段が直動モータ5を駆動し、保持プレート41を下降させ、保持面42を接着シートASの上面から僅かに離れた位置、例えば、0.01mm〜10mm程度の位置で停止させる。その後、繰出手段2が回動モータ25Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、図3(A)に示すように、剥離シートRLを反繰出方向DBに繰り出すことで、剥離縁32Aよりも左方で剥離シートRLを弛ませる。なお、オペレータが剥離縁32Aよりも左方で剥離シートRLを弛ませた状態となるように原反RSをセットしてもよい。次いで、第2付勢手段8Aが直動モータ83を駆動し、付勢ローラ81を上昇させると、図3(B)中二点鎖線で示すように、弛ませた剥離シートRLが持ち上げられる。その後、繰出手段2が回動モータ25Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、剥離縁32Aよりも左方に位置する原反RSを巻き取る。そして、剥離シートRLの折り返し縁が図3(B)中実線で示す折り返し位置に到達したことが剥離縁検知手段31によって検知されると、繰出手段2が回動モータ23Aを駆動し、剥離シートRLの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反RSを繰出方向DAに繰り出す。そして、接着シートASが保持面42の下方における所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段2が回動モータ23A、25Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。そして、押圧手段が直動モータ5を駆動し、保持プレート41を下降させ、保持面42を接着シートASの上面に当接させた後、保持手段4が図示しない減圧手段を駆動し、接着シートASを吸着保持するとシート貼付装置1Aがスタンバイ状態となる。
次いで、上述した実施形態と同様にして支持手段6がウエハWFを支持すると、繰出手段2が回動モータ23A、25Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、剥離シートRLの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反RSを繰出方向DAに繰り出すとともに、この原反RSの繰出速度に合わせて移動手段がリニアモータ9を駆動し、保持プレート41を左方向に移動させる。これにより、折り返される前の原反RSにおける接着シートAS側から剥離シートRL側に向かって当該原反RSが付勢されるとともに、折り返された原反RSにおける剥離シートRLの一方の面RL1側から当該剥離シートRLの他方の面RL2側に向かって当該剥離シートRLが付勢された状態で、当該剥離シートRLから接着シートASが剥離される。このとき、剥離される接着シートASは、剥離シートRLの折り返しの反発力によって保持プレート41に押しつけられながら剥離される。次いで、保持プレート41が支持手段6の直上に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、移動手段がリニアモータ9の駆動を停止する。その後、押圧手段が直動モータ5を駆動し、保持プレート41を下降させ、接着シートASをウエハWFに押圧して貼付した後、以降上述した実施形態と同様の動作が行われて接着シートASが貼付されたウエハWFが次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
また、押圧手段は、保持プレート41をウエハWFから所定間隔離れた位置で停止させ、保持面42から空気やガスなどの気体を吹き出し、接着シートASをウエハWFに押圧する構成であってもよい。
また、押圧手段は、剥離シートRLから剥離された接着シートASをブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の押圧部材でウエハWFに押圧して貼付するようにしてもよい。
さらに、保持手段4は、静電チャックや粘着剤等によって接着シートASを保持する構成であってもよい。
また、第1付勢手段7は、接着シートASに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第2付勢手段8に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよい。
さらに、第2付勢手段8は、剥離シートRLに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第1付勢手段7に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよいし、付勢ローラ81を回動させる駆動機器を設けてもよいし、第1付勢手段7と同様の構成としてもよい。
また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
1、1A…シート貼付装置
2…繰出手段
3、3A…剥離手段
4…保持手段
5…直動モータ(押圧手段)
7、7A…第1付勢手段
8、8A…第2付勢手段
9…リニアモータ(移動手段)
AS…接着シート
RL…剥離シート
RL1…一方の面
RL2…他方の面
RS…原反
WF…ウエハ(被着体)

Claims (3)

  1. 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
    繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
    前記剥離手段は、当該剥離手段で折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢手段と、前記剥離手段で折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢手段とを備え、前記第1付勢手段と前記第2付勢手段とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給装置。
  2. 剥離される前記接着シートを前記剥離シートの折り返しによって前記第1付勢手段に押しつけながら繰り出すことを特徴とする請求項1に記載のシート供給装置。
  3. 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
    繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程とを備えたシート供給方法であって、
    前記剥離工程において、折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第1付勢工程と、折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第2付勢工程とを備え、前記第1付勢工程と第2付勢工程とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給方法。
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