JP6315751B2 - シート供給装置および供給方法 - Google Patents

Description

本発明は、シート供給装置および供給方法に関する。

従来、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。
このシート貼付装置は、鋭角な剥離縁を有するピールプレートで剥離直前の接着シートを保持手段の吸着面で吸着保持させ、ピールプレートを保持手段の下方から退避位置に移動させると同時に剥離シートを巻き取ることで、ピールプレートで剥離シートから剥離される接着シートを吸着面で吸着保持して当該接着シートを被着体に貼付している。

特開２０１０−１９５４０９号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、剥離シートを巻き取るときに、ピールプレート（剥離板）の剥離縁で急激に折り返された剥離シートが剥離縁に擦れてしまい、剥離シートが切断してしまうという不都合がある。

本発明の目的は、剥離シートを切断させることなく当該剥離シートから接着シートを剥離することができるシート供給装置および供給方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート供給装置は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、当該剥離手段で折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第１付勢手段と、前記剥離手段で折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第２付勢手段とを備え、前記第１付勢手段と前記第２付勢手段とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する、という構成を採用している。

この際、本発明のシート供給装置では、剥離される前記接着シートを前記剥離シートの折り返しによって前記第１付勢手段に押しつけながら繰り出す、ことが好ましい。

一方、本発明のシート供給方法は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程とを備えたシート供給方法であって、前記剥離工程において、折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第１付勢工程と、折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第２付勢工程とを備え、前記第１付勢工程と第２付勢工程とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離する、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、折り返された剥離シートが剥離板の剥離縁で擦れることがないため、剥離シートを切断させることなく当該剥離シートから接着シートを剥離することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 本発明の変形例に係るシート貼付装置の側面図。 （Ａ）、（Ｂ）は、本発明の変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート貼付装置１は、剥離シートＲＬの一方の面ＲＬ１に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、繰り出される原反ＲＳにおける剥離シートＲＬの他方の面ＲＬ２同士が対向する方向に当該原反ＲＳを折り返すことで、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段３と、接着シートＡＳを保持する保持手段４と、保持手段４で保持した接着シートＡＳを被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦに押圧して貼付する押圧手段であって駆動機器としての直動モータ５とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを支持する支持面６１を有する支持手段６の上方に設けられている。なお、繰出手段２と剥離手段３とでシート供給装置が構成されている。

繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動される駆動ローラ２３との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５Ａによって駆動される駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とを備え、その全体が図示しないフレームに支持されている。

剥離手段３は、当該剥離手段３で折り返される前の原反ＲＳにおける接着シートＡＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって当該原反ＲＳを付勢する第１付勢手段７と、剥離手段３で折り返された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬの一方の面ＲＬ１側から当該剥離シートＲＬの他方の面ＲＬ２側に向かって当該剥離シートＲＬを付勢する付勢ローラ８１を有する第２付勢手段８と、剥離シートＲＬの折り返し縁を検知可能な光学センサや撮像手段等の剥離縁検知手段３１とを備えている。第１付勢手段７は、駆動機器としての回動モータ７１Ａによって駆動されるプーリ７１と、当該プーリ７１と従動プーリ７２とに掛け渡された丸ベルトや平ベルト等のベルト７３とを備えている。

保持手段４は、直動モータ５の出力軸５１に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続された保持面４２を有する保持プレート４１を備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが図１中二点鎖線で示すように、プーリ７１および付勢ローラ８１よりも左方で原反ＲＳが折り返されるように当該原反ＲＳをセットする。次いで、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、繰出手段２が回動モータ２５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、プーリ７１および付勢ローラ８１よりも左方に位置する原反ＲＳを巻き取る。そして、剥離シートＲＬの折り返し縁が図１中実線で示す折り返し位置に到達したことが剥離縁検知手段３１によって検知されると、繰出手段２が回動モータ２３Ａを駆動するとともに、第１付勢手段７が回動モータ７１Ａを駆動し、剥離シートＲＬの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反ＲＳを繰出方向ＤＡに繰り出す。そして、接着シートＡＳが第１付勢手段７の下方における所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２および第１付勢手段７が回動モータ２３Ａ、２５Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ７１Ａの駆動を停止し、シート貼付装置１がスタンバイ状態となる。

次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段６の支持面６１上にウエハＷＦを載置すると、支持手段６が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを支持する。その後、保持手段４が図示しない減圧手段を駆動するとともに、繰出手段２および第１付勢手段７が回動モータ２３Ａ、２５Ａ、図示しない駆動機器および回動モータ７１Ａの駆動を駆動し、剥離シートＲＬの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反ＲＳを繰出方向ＤＡに繰り出す。これにより、折り返される前の原反ＲＳにおける接着シートＡＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって当該原反ＲＳが付勢されるとともに、折り返された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬの一方の面ＲＬ１側から当該剥離シートＲＬの他方の面ＲＬ２側に向かって当該剥離シートＲＬが付勢された状態で、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離され、剥離された接着シートＡＳが保持プレート４１の保持面４２で保持される。このとき、剥離される接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの折り返しの反発力によってベルト７３に押しつけられながら保持プレート４１方向へ繰り出される。なお、先頭の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、次の接着シートＡＳが所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。そして、押圧手段が直動モータ５を駆動し、保持プレート４１を下降させ、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する。その後、保持手段４が図示しない減圧手段の駆動を停止し、接着シートＡＳの保持を解除した後、押圧手段が直動モータ５を駆動し、保持プレート４１を図１中実線で示す位置に復帰させる。そして、支持手段６が図示しない減圧手段の駆動を停止し、ウエハＷＦの保持を解除した後、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦは、人手または図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、折り返された剥離シートＲＬが剥離板３２の剥離縁３２Ａで擦れることがないため、剥離シートＲＬを切断させることなく当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、シート貼付装置は、図２に示すシート貼付装置１Ａであってもよく、当該シート貼付装置１Ａは、シート貼付装置１に対し、剥離手段３、第１付勢手段７、第２付勢手段８に変えて剥離手段３Ａ、第１付勢手段７Ａ、第２付勢手段８Ａを設けた点と、剥離手段３Ａと第１付勢手段７Ａとを相対移動させる移動手段としてのリニアモータ９を設けた点とが相違する。
剥離手段３Ａは、剥離シートＲＬを折り返す鋭角な剥離縁３２Ａと、下面に設けられた凹部３２Ｂとを有する剥離板３２を更に備えている。
第１付勢手段７Ａは、保持手段４で構成されている。
第２付勢手段８Ａは、付勢ローラ８１を支持するブラケット８２と、ブラケット８２を支持する出力軸８３Ａを有する駆動機器としての直動モータ８３を更に備えている。
リニアモータ９は、直動モータ５を支持するスライダ９１を備えている。

以上のシート貼付装置１Ａにおいて、まず、オペレータが図２中実線で示すように、原反ＲＳをセットする。次いで、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、押圧手段が直動モータ５を駆動し、保持プレート４１を下降させ、保持面４２を接着シートＡＳの上面から僅かに離れた位置、例えば、０．０１ｍｍ〜１０ｍｍ程度の位置で停止させる。その後、繰出手段２が回動モータ２５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、図３（Ａ）に示すように、剥離シートＲＬを反繰出方向ＤＢに繰り出すことで、剥離縁３２Ａよりも左方で剥離シートＲＬを弛ませる。なお、オペレータが剥離縁３２Ａよりも左方で剥離シートＲＬを弛ませた状態となるように原反ＲＳをセットしてもよい。次いで、第２付勢手段８Ａが直動モータ８３を駆動し、付勢ローラ８１を上昇させると、図３（Ｂ）中二点鎖線で示すように、弛ませた剥離シートＲＬが持ち上げられる。その後、繰出手段２が回動モータ２５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、剥離縁３２Ａよりも左方に位置する原反ＲＳを巻き取る。そして、剥離シートＲＬの折り返し縁が図３（Ｂ）中実線で示す折り返し位置に到達したことが剥離縁検知手段３１によって検知されると、繰出手段２が回動モータ２３Ａを駆動し、剥離シートＲＬの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反ＲＳを繰出方向ＤＡに繰り出す。そして、接着シートＡＳが保持面４２の下方における所定位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａおよび図示しない駆動機器の駆動を停止する。そして、押圧手段が直動モータ５を駆動し、保持プレート４１を下降させ、保持面４２を接着シートＡＳの上面に当接させた後、保持手段４が図示しない減圧手段を駆動し、接着シートＡＳを吸着保持するとシート貼付装置１Ａがスタンバイ状態となる。

次いで、上述した実施形態と同様にして支持手段６がウエハＷＦを支持すると、繰出手段２が回動モータ２３Ａ、２５Ａおよび図示しない駆動機器を駆動し、剥離シートＲＬの折り返し縁が折り返し位置からずれないように原反ＲＳを繰出方向ＤＡに繰り出すとともに、この原反ＲＳの繰出速度に合わせて移動手段がリニアモータ９を駆動し、保持プレート４１を左方向に移動させる。これにより、折り返される前の原反ＲＳにおける接着シートＡＳ側から剥離シートＲＬ側に向かって当該原反ＲＳが付勢されるとともに、折り返された原反ＲＳにおける剥離シートＲＬの一方の面ＲＬ１側から当該剥離シートＲＬの他方の面ＲＬ２側に向かって当該剥離シートＲＬが付勢された状態で、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離される。このとき、剥離される接着シートＡＳは、剥離シートＲＬの折り返しの反発力によって保持プレート４１に押しつけられながら剥離される。次いで、保持プレート４１が支持手段６の直上に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、移動手段がリニアモータ９の駆動を停止する。その後、押圧手段が直動モータ５を駆動し、保持プレート４１を下降させ、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付した後、以降上述した実施形態と同様の動作が行われて接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦが次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。

また、押圧手段は、保持プレート４１をウエハＷＦから所定間隔離れた位置で停止させ、保持面４２から空気やガスなどの気体を吹き出し、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧する構成であってもよい。
また、押圧手段は、剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳをブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の押圧部材でウエハＷＦに押圧して貼付するようにしてもよい。
さらに、保持手段４は、静電チャックや粘着剤等によって接着シートＡＳを保持する構成であってもよい。
また、第１付勢手段７は、接着シートＡＳに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第２付勢手段８に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよい。
さらに、第２付勢手段８は、剥離シートＲＬに当接可能なガイド板で構成してもよいし、第１付勢手段７に対して離間接近可能に移動させる駆動機器を設けてもよいし、付勢ローラ８１を回動させる駆動機器を設けてもよいし、第１付勢手段７と同様の構成としてもよい。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１、１Ａ…シート貼付装置
２…繰出手段
３、３Ａ…剥離手段
４…保持手段
５…直動モータ（押圧手段）
７、７Ａ…第１付勢手段
８、８Ａ…第２付勢手段
９…リニアモータ（移動手段）
ＡＳ…接着シート
ＲＬ…剥離シート
ＲＬ１…一方の面
ＲＬ２…他方の面
ＲＳ…原反
ＷＦ…ウエハ（被着体）

Claims (3)

1. 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
   繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
   前記剥離手段は、当該剥離手段で折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第１付勢手段と、前記剥離手段で折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第２付勢手段とを備え、前記第１付勢手段と前記第２付勢手段とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給装置。
2. 剥離される前記接着シートを前記剥離シートの折り返しによって前記第１付勢手段に押しつけながら繰り出すことを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。
3. 剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
   繰り出される前記原反における剥離シートの他方の面同士が対向する方向に当該原反を折り返すことで、当該剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離工程とを備えたシート供給方法であって、
   前記剥離工程において、折り返される前の原反における接着シート側から剥離シート側に向かって当該原反を付勢する第１付勢工程と、折り返された原反における剥離シートの一方の面側から当該剥離シートの他方の面側に向かって当該剥離シートを付勢する第２付勢工程とを備え、前記第１付勢工程と第２付勢工程とで前記剥離シートの他方の面が他の部材に接触しない折り返し縁を形成して前記剥離シートから前記接着シートを剥離することを特徴とするシート供給方法。

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