JP7446071B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段10および弛み除去手段30が回動モータ14A、31Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部AS1が剥離板13の剥離縁13Aで剥離され、当該繰出方向先端部AS1が押圧ローラ20の最下部に位置すると、回動モータ14A、31Aの駆動を停止する。
弛み除去手段30は、原反RSを巻き戻して接着シートASを反繰出方向D2に移動させる構成に代えてまたは併用して、接着シートASの未貼付部AS2の下方から空気やガス等の気体を吹き付け、弛みASSを除去する気体吹付手段を採用してもよいし、繰出手段10と、押圧ローラ20および被着体WKとを相対的に離間させて弛みASSを除去する構成を採用してもよく、この場合、例えば、繰出手段10を移動させる駆動機器を設け、図1(C)に示すように、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、繰出手段10を反繰出方向D2やその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよいし、押圧ローラ20および被着体WKを移動させる駆動機器を設け、図1(D)に示すように、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、押圧ローラ20および被着体WKを繰出方向D1やその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよいし、繰出手段10を移動させる駆動機器と、押圧ローラ20および被着体WKを移動させる駆動機器との両方を設け、被着体WKに接着シートASの繰出方向先端部AS1を貼付した状態で、繰出手段10や、押圧ローラ20および被着体WKを繰出方向D1、反繰出方向D2またはその他の方向に移動させて弛みASSを除去してもよい。
被着体WKは、例えば、リングフレームおよび半導体ウエハといった複数のもので構成されていてもよく、このようなリングフレームは、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしてもよい。
10…繰出手段
20…押圧ローラ(押圧手段)
30…弛み除去手段
AS…接着シート
AS1…繰出方向先端部
AS2…未貼付部
ASS…弛み
D1…繰出方向
D2…反繰出方向
WK…被着体
Claims (3)
- 接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に前記接着シートの繰出方向先端部を前記押圧手段で貼付した状態で、当該接着シートの未貼付部に生じた弛みを除去する弛み除去手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記弛み除去手段は、前記繰出手段が前記接着シートを繰り出す繰出方向の反対方向である反繰出方向に、当該接着シートを移動させて前記弛みを除去することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 接着シートを繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から順次被着体に押圧して貼付する押圧工程と、
前記被着体に前記接着シートの繰出方向先端部を前記押圧工程で貼付した状態で、当該接着シートの未貼付部に生じた弛みを除去する弛み除去工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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