JP3225184U - 支持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる支持装置を提供すること。
【解決手段】支持装置ＥＡは、押圧部材２２Ｆで接着シート基材ＡＢを押圧する際に当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持するシート支持面１１Ｃを有する支持機構１０を備え、シート支持面１１Ｃは、当該シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に設けられた粗面部１１Ｄと、粗面部１１Ｄの外側に凹部１１Ｅとを備えている。
【選択図】図１

Description

本考案は、支持装置に関する。

従来、押圧部材で接着シート基材を押圧する際に当該接着シート基材を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−６３９０８号公報

特許文献１に記載された基板支持テーブル６（支持装置）は、その上面（シート支持面）における粘着テープＴ（接着シート基材）を支持する領域のみならず、シート支持面における接着シート基材を支持しない領域にも粗面処理が施され、シート支持面全体が粗面部となっているため、貼付けローラ２１（押圧部材）で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷するという不都合がある。

本考案の目的は、押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる支持装置を提供することにある。

本考案は、請求項に記載した構成を採用した。

本考案によれば、粗面部がシート支持面における接着シート基材の支持領域に設けられ、粗面部の外側に凹部が設けられているため、押圧部材で接着シート基材を押圧する際、押圧部材が粗面部に押圧されて損傷することを防止することができる。

本考案の一実施形態に係る支持装置を備えたシート貼付装置の説明図。 シート貼付装置の動作説明図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、支持装置ＥＡは、押圧部材としての押圧ローラ２２Ｆで接着シート基材ＡＢを押圧する際に当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持するシート支持面１１Ｃを有する支持機構１０を備え、被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付する貼付機構２０とでシート貼付装置ＥＡ１が構成されている。

支持機構１０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機構によって吸着保持が可能な被着体支持面１１Ａを底面とする凹部１１Ｂと、シート支持面１１Ｃとを有するテーブル１１を備えている。
シート支持面１１Ｃは、当該シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に設けられた粗面部１１Ｄと、粗面部１１Ｄの外側に設けられた凹部１１Ｅと、凹部１１Ｅよりも外側に設けられた押圧部材支持部１１Ｆとを備えている。なお、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域とは、シート支持面１１Ｃで接着シート基材ＡＢを支持した際に、当該接着シート基材ＡＢによって覆われる範囲のシート支持面１１Ｃの領域のことである。
粗面部１１Ｄは、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域の範囲内の大きさとされ、エッチング加工、メッキ加工、ブラスト加工、レーザ加工等を行う粗面形成機構によって、ザラザラした粗い面となる粗面処理が施されている。
凹部１１Ｅは、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域の前方および後方に設けられ、当該支持領域に沿ってそれぞれ左右方向に延設されている。
押圧部材支持部１１Ｆは、シート支持面１１Ｃにおける前後各々の外縁部で構成され、粗面部１１Ｄと略同じ高さに配置されている。

貼付機構２０は、接着シート基材ＡＢを繰り出す繰出機構２１と、繰り出された接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧機構２２と、被着体ＷＫに貼付された接着シート基材ＡＢを貫通する閉ループ状の切込を設け、当該切込の内側に接着シートＡＳ（図２参照）を形成し、切込の外側に不要シートＵＳを形成する切断機構２３とを備えている。
繰出機構２１は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１Ａと、原反ＲＳを案内するガイドローラ２１Ｂ、２１Ｃと、ガイドローラ２１Ｂとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材２１Ｄを出力軸２１Ｅで支持する駆動機器としての直動モータ２１Ｆと、ガイドローラ２１Ｃを支持し、接着シート基材ＡＢの張力を測定可能な張力検出機構としてのロードセル２１Ｇと、剥離縁２１Ｈで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シート基材ＡＢを剥離する剥離部材としての剥離板２１Ｊと、図示しない出力軸で駆動ローラ２１Ｋを支持する駆動機器としての回動モータ２１Ｌと、駆動ローラ２１Ｋとで剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２１Ｍと、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ２１Ｍとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２１Ｎと、駆動機器としてのリニアモータ２１Ｐのスライダ２１Ｑ（図２参照）に支持された駆動機器としてのリニアモータ２１Ｒと、リニアモータ２１Ｒの図示しないスライダに支持され、当該繰出機構２１を構成する前述の構成部材のうち支持ローラ２１Ａおよび回収ローラ２１Ｎ以外の各部材を支持するフレーム２１Ｓと、駆動機器としてのリニアモータ２１Ｔのスライダ２１Ｕに支持されたフレーム２１Ｖと、フレーム２１Ｖに支持された駆動機器としての回動モータ２１Ｗの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２１Ｘとで不要シートＵＳを挟み込む駆動ローラ２１Ｙと、フレーム２１Ｖに支持された図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、駆動ローラ２１Ｙとの間に存在する不要シートＵＳに常に所定の張力を付与し、当該不要シートＵＳを回収する回収ローラ２１Ｚとを備えている。
押圧機構２２は、リニアモータ２１Ｔのスライダ２２Ａにブラケット２２Ｂを介して支持された駆動機器としての直動モータ２２Ｃと、直動モータ２２Ｃの出力軸２２Ｄにブラケット２２Ｅを介して回転可能に支持された押圧ローラ２２Ｆとを備えている。
切断機構２３は、駆動機器としての多関節ロボット２３Ａと、多関節ロボット２３Ａの作業アーム２３Ｂに支持された切断刃２３Ｃとを備えている。
多関節ロボット２３Ａは、その作業範囲内において切断刃２３Ｃを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

以上の支持装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作機構を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、図１（Ａ）中実線で示すように、被着体ＷＫを被着体支持面１１Ａ上の所定の位置に載置すると、支持機構１０が図示しない減圧機構を駆動し、被着体支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。

その後、貼付機構２０が直動モータ２２Ｃを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ２２Ｆを下降させて接着シート基材ＡＢをシート支持面１１Ｃに所定の押圧力で押さえ付ける。次に、貼付機構２０が回動モータ２１Ｌを駆動し、剥離シートＲＬおよび接着シート基材ＡＢを巻き取り、支持機構１０上に位置する接着シート基材ＡＢの張力が所定値となったことがロードセル２１Ｇによって検知されると、回動モータ２１Ｌの駆動を停止する。そして、貼付機構２０が直動モータ２１Ｆを駆動し、押付部材２１Ｄとガイドローラ２１Ｂとで原反ＲＳを挟み込み、接着シート基材ＡＢの繰り出しを抑制する。次いで、貼付機構２０がリニアモータ２１Ｐ、２１Ｒ、２１Ｔを駆動し、図２に示すように、押圧ローラ２２Ｆを右方に移動させつつ、ロードセル２１Ｇで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム２１Ｓを左右方向および上下方向へ移動させ、押圧ローラ２２Ｆで接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫおよびシート支持面１１Ｃに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ２２Ｆは、シート支持面１１Ｃ上を押圧しながら転動するが、粗面部１１Ｄがシート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に設けられ、粗面部１１Ｄの外側に凹部１１Ｅが設けられているため、押圧ローラ２２Ｆが粗面部１１Ｄに押圧されない。

被着体ＷＫへの接着シート基材ＡＢの貼付が完了すると、貼付機構２０が多関節ロボット２３Ａを駆動し、図２中二点鎖線で示すように、切断刃２３Ｃを接着シート基材ＡＢに突き刺し、当該切断刃２３Ｃを被着体ＷＫの外周に沿って移動させる。これにより、被着体ＷＫ上に接着シートＡＳが貼付された状態で残り、当該接着シートＡＳの外周に不要シートＵＳが形成される。その後、貼付機構２０がリニアモータ２１Ｔおよび回動モータ２１Ｗを駆動し、図２中二点鎖線で示すように、フレーム２１Ｖを右方に移動させながら回収ローラ２１Ｚで不要シートＵＳを回収する。次に、貼付機構２０が図示しない減圧機構の駆動を停止し、被着体支持面１１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送機構が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、貼付機構２０が直動モータ２１Ｆ、２２Ｃを駆動し、押付部材２１Ｄとガイドローラ２１Ｂとによる原反ＲＳの挟み込みを解除するとともに、押圧ローラ２２Ｆを上昇させる。次いで、貼付機構２０が回動モータ２１Ｗの駆動を停止させた状態で、各機構がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させて接着シート基材ＡＢを支持機構１０上に繰り出し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、粗面部１１Ｄがシート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に設けられ、粗面部１１Ｄの外側に凹部１１Ｅが設けられているため、押圧ローラ２２Ｆで接着シート基材ＡＢを押圧する際、押圧ローラ２２Ｆが粗面部１１Ｄに押圧されて損傷することを防止することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。

例えば、支持機構１０は、押圧部材支持部１１Ｆを設けずに凹部１１Ｅからテーブル１１の側面まで切り欠いて、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域よりも外側の領域全体を凹部としてもよいし、被着体ＷＫを支持せず接着シート基材ＡＢのみを支持するものであってもよく、この場合、押圧部材は、シート支持面１１Ｃのみに接着シート基材ＡＢを押圧してもよいし、被着体支持面１１Ａや凹部１１Ｂは、テーブル１１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
テーブル１１は、内部に被着体ＷＫを配置可能な開口または貫通孔を備えていてもよく、この場合、被着体ＷＫを支持する被着体支持装置を支持装置ＥＡとは別体に設け、当該被着体支持装置を開口または貫通孔内に配置してもよい。
シート支持面１１Ｃは、被着体支持面１１Ａと略同じ高さとされてもよいし、全面にフッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等の非粘着処理が施されていてもよいし、施されていなくてもよい。
粗面部１１Ｄは、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に設けられていればよく、当該支持領域と同じ大きさであってもよいし、当該支持領域よりも小さくてもよい。
凹部１１Ｅは、粗面部１１Ｄの外側に設けられていればよく、直線状、曲線状、波線状、円弧状、環状等、どのような形状であってもよいし、シート支持面１１Ｃで枚葉の接着シート基材を支持する場合、シート支持面１１Ｃにおける接着シート基材ＡＢの支持領域に沿った環状に設けてもよい。
押圧部材支持部１１Ｆは、グラインダ、砥石、やすり、サンドペーパ、研磨剤等の研磨部材や、フッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング等によって平滑化処理を施したり、粗面部１１Ｄのような粗面処理を施さなかったりすることで、粗面部１１Ｄよりも平滑にしてもよい。

貼付機構２０は、枚葉の接着シート基材を被着体ＷＫに貼付する構成でもよく、例えば、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材ＡＢに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が枚葉の接着シート基材とされた原反を採用し、枚葉の接着シート基材を剥離シートＲＬから剥離して被着体ＷＫに貼付してもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート基材ＡＢを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本考案の支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出機構２１は、張力検出機構として、圧力センサやレギュレータ等、接着シート基材ＡＢの張力を検出可能なものであれば、どのようなものを採用してもよいし、支持ローラ２１Ａやガイドローラ２１Ｂ、２１Ｃ等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で、原反ＲＳを支持したり案内したり、剥離シートＲＬや不要シートＵＳを回収したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬや不要シートＵＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬや不要シートＵＳを回収してもよいし、剥離シートＲＬや不要シートＵＳを回収しなくてもよいし、単一の駆動機器でフレーム２１Ｓを移動させてもよい。
切断機構２３は、被着体ＷＫ上に貼付された状態で残す接着シートＡＳの形状として、被着体ＷＫの外周形状と同形状に切断することなく、異なる形状に切断したり、被着体ＷＫよりも大きく切断したり、被着体ＷＫよりも小さく切断したりしてもよい。

接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ＡＢは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱機構を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ＡＢは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体ＷＫに貼付することができる。

本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持機構は、接着シート基材を支持するシート支持面を有し、シート支持面が、当該シート支持面における接着シート基材の支持領域に設けられた粗面部と、粗面部の外側に設けられた凹部とを備えるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の機構および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用してもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離機構や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断したりしてもよい。

ＥＡ…支持装置
１０…支持機構
１１Ｃ…シート支持面
１１Ｄ…粗面部
１１Ｅ…凹部
２２Ｆ…押圧ローラ（押圧部材）
ＡＢ…接着シート基材

Claims (1)

1. 押圧部材で接着シート基材を押圧する際に当該接着シート基材を支持する支持装置であって、
   前記接着シート基材を支持するシート支持面を有する支持機構を備え、
   前記シート支持面は、当該シート支持面における前記接着シート基材の支持領域に設けられた粗面部と、前記粗面部の外側に設けられた凹部とを備えていることを特徴とする支持装置。

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