JP2017163093A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートASを供給する供給手段20と、供給手段20との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体WFに、当該供給手段20で供給される接着シートASを貼付する貼付手段40と、被着体WFに貼付された接着シートASおよび当該被着体WKの少なくとも一方の状態を検査する検査手段50と、被着体WFに貼付された接着シートASを保持して剥離する剥離手段60とを備え、剥離手段60は、検査手段50の検査結果を基にして、当該剥離手段60のシート剥離方向へ相対移動される被着体WFに貼付された接着シートASを保持し、当該接着シートASを被着体WKから剥離する。【選択図】図1

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、被着体に貼付した接着シートの貼付不良を検出すると、当該貼付不良と判断された接着シートを被着体から剥離する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2012−81650号公報
しかしながら、特許文献1に記載された従来の装置では、基板(被着体)に両面粘着テープ(接着シート)を貼付するための貼付けテーブル(搬送手段)と、当該被着体から接着シートを剥離するための剥離テーブル(搬送手段)とが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段と、前記被着体に貼付された接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記検査手段の検査結果を基にして、当該剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
この際、本発明のシート貼付装置では、前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段を備え、当該搬送手段は、前記供給手段と被着体とを前記シート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることが好ましい。
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを供給手段で供給する供給工程と、前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程と、前記被着体に貼付された接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、前記剥離工程は、前記検査工程の検査結果を基にして、前記剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、被着体に接着シートを貼付するための搬送手段を被着体から接着シートを剥離するための搬送手段としても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
この際、搬送手段を備えれば、より効果的に装置の大型化を防止することができる。
また、剥離角度調整手段を備えれば、接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じた好適な剥離角度での剥離が行え、さらには、被着体が接着シートの剥離方向へ移動することで当該接着シートが剥離できなくなったり、被着体が破損したりすることを防止することができる。なお、貼付手段が剥離角度調整手段としても機能する構成とすれば、1つの部材で2つの機能を発揮させることができ、装置のさらなる大型化を防止することができる。
さらに、接着力低下手段を備えれば、接着シートを被着体から簡単に剥離することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 (A)〜(B)は、シート貼付装置の動作説明図。 変形例を示す部分側面図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、接着シートASを供給する供給手段20と、供給手段20と被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という場合がある)WFとを相対移動させる搬送手段30と、供給手段20との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動されるウエハWFに、当該供給手段20で供給される接着シートASを貼付する貼付手段としての押圧ローラ40と、ウエハWFに貼付された接着シートASおよび当該ウエハWFの少なくとも一方の状態を検査する検査手段であって撮像手段としてのカメラ50と、ウエハWFに貼付された接着シートASを保持して剥離する剥離手段60と、ウエハWFから接着シートASを剥離する前段で、当該接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段70とを備えている。なお、本実施形態の場合、接着シートASは、紫外線によってその接着力が低下するものが採用されている。
供給手段20は、帯状の剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離シートRLを折り返して当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離部材としての剥離板23と、駆動機器としての回動モータ24Aによって駆動され、ピンチローラ25とで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ24と、剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備えている。
搬送手段30は、駆動機器としてのリニアモータ31のスライダ31Aに支持されたベーステーブル32と、ベーステーブル32に支持された駆動機器としての直動モータ33と、直動モータ33の出力軸33Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面34Aを有する支持テーブル34とを備え、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられている。
剥離手段60は、剥離用テープPTを支持する支持ローラ61と、剥離用テープPTを案内するガイドローラ62と、駆動機器としての直動モータ63の出力軸63Aに支持されたブラケット64に回転自在に支持された剥離ローラ65と、駆動機器としての回動モータ66Aによって駆動され、ピンチローラ67とで剥離用テープPTを挟み込む駆動ローラ66と、駆動機器としての回動モータ68Aによって駆動され、剥離用テープPTを回収する回収ローラ68とを備え、カメラ50の検査結果を基にして、当該剥離手段60のシート剥離方向へ相対移動されるウエハWFに貼付された接着シートASを保持し、当該接着シートASをウエハWFから剥離するように構成されている。
接着力低下手段70は、前後方向の長さがウエハWFまたは接着シートASの前後方向の最大長さよりも長く設定された紫外線照射装置71を備えている。
以上のシート貼付装置10において、ウエハWFに接着シートASを貼付する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図のようにセットし、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、供給手段20が回動モータ24Aを駆動し、原反RSを繰り出す。そして、図1中実線で示すように、先頭の接着シートASの先端が剥離板23で剥離シートRLから所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、ウエハWFが支持面34A上に載置されると、搬送手段30が図示しない減圧手段を駆動し、支持面34AでウエハWFの吸着保持を開始する。その後、搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を左方へ移動させることで、供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向へ相対移動させ、ウエハWFが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ24Aを駆動し、原反RSを繰り出してウエハWFの移動速度に合わせて接着シートASを供給する。これにより、剥離板23で剥離シートRLから接着シートASが剥離され、図1中二点鎖線で示すように、当該接着シートASが押圧ローラ40によってウエハWFの上面に押圧されて貼付され、一体物WKが形成される。次いで、次の接着シートASの先端が剥離板23で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段20が回動モータ24Aの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
押圧ローラ40によってウエハWFの上面に接着シートASが貼付されると、当該押圧ローラ40の左方でカメラ50による検査が行われ、当該検査が完了すると、搬送手段30がリニアモータ31の駆動を停止し、支持テーブル34を図1中左側の二点鎖線で示す位置で停止させる。カメラ50は、例えば、ウエハWFと接着シートASとの間に気泡や異物が混入している場合や、接着シートASに皺や折れ曲がりが形成されてウエハWFに貼付されている場合や、ウエハWFと接着シートASとがずれて貼付されている場合や、接着シートASに破れや損傷等がある場合や、ウエハWFに割れや損傷等がある場合等を貼付不良とし、当該貼付不良が検出された場合、電気や電波等の所定の信号を出力する。そして、カメラ50が貼付不良を検出して所定の信号を出力すると、搬送手段30および剥離手段60が直動モータ33および63を駆動し、図2(A)に示すように、支持テーブル34および剥離ローラ65を下降させた後、接着力低下手段70が紫外線照射装置71を駆動し、紫外線を発光させる。その後、搬送手段30がリニアモータ31を駆動し、支持テーブル34を右方へ移動させることで、剥離手段60とウエハWFとをシート剥離方向へ相対移動させ、ウエハWFに貼付された接着シートASが剥離用テープPTに当接すると、剥離手段60が回動モータ66A、68Aを駆動し、ウエハWFの移動速度に合わせて剥離用テープPTを巻き取る。これにより、接着シートASは、図2(B)に示すように、ウエハWFから順次剥離される。このとき、接着シートASは、紫外線照射装置71によって紫外線が照射されてその接着力が低下させられているので、ウエハWFから簡単に剥離される。ウエハWFから接着シートAS全体が剥離されると、搬送手段30がリニアモータ31および直動モータ33を駆動し、図2(B)中二点鎖線で示すように、支持テーブル34を初期位置に復帰させる。次いで、上記と同様にして、次の接着シートASがウエハWFに貼付され、最終的に、カメラ50が貼付不良を検出しなくなるまで上記と同様の動作が繰り返される。そして、搬送手段30が支持テーブル34を図1中左側の二点鎖線で示す位置で停止させた時点で、カメラ50が貼付不良を検出していなければ、搬送手段30が図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、人手または図示しない移送手段が支持面34A上の一体物WKを保持して次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、ウエハWFに接着シートASを貼付するための搬送手段30をウエハWFから接着シートASを剥離するための搬送手段30としても機能させることができるので、装置の大型化を防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程も同様でありその説明は省略する)。
供給手段20は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材に複数の閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反が採用された場合、カッター刃、カッターローラ、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材により、接着シート基材を所定形状に切断してその内側を接着シートASとしてもよいし、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、接着シートASを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ24Aのトルク制御を行ってもよいし、剥離シートRLに仮着されていない接着シートASを供給してもよい。
剥離部材は、剥離板23に代えてまたは併用して、丸棒や回転可能または回転不能なローラ部材やシャフト部材等を採用してもよい。
搬送手段30は、支持テーブル34を移動させることなく、供給手段20を右方へ移動させたり、支持テーブル34を左方へ移動させつつ、供給手段20を右方へ移動させたりして供給手段20とウエハWFとをシート貼付方向へ相対移動させてもよいし、支持テーブル34を移動させることなく、剥離手段60を左方へ移動させたり、支持テーブル34を右方へ移動させつつ、剥離手段60を左方へ移動させたりして剥離手段60とウエハWFとをシート剥離方向へ相対移動させてもよいし、剥離手段60を移動させることなく、支持テーブル34を左方へ移動させたり、支持テーブル34を移動させることなく、剥離手段60を右方へ移動させたり、支持テーブル34を左方へ移動させつつ、剥離手段60を右方へ移動させたりして剥離手段60とウエハWFとをシート剥離方向へ相対移動させてもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でウエハWFを支持する構成でもよいし、ウエハWFへの接着シートASの貼付やウエハWFからの接着シートASの剥離が行えれば、それらのような強制的にウエハWFを支持するものを設けなくてもよいし、支持テーブル34を昇降させる直動モータ33を設けなくてもよいし、他の装置で供給手段20およびウエハWFを相対移動可能であれば、当該搬送手段30はなくてもよいし、他の装置で剥離手段60とウエハWFとを相対移動可能であれば、当該搬送手段30はなくてもよい。
貼付手段は、押圧ローラ40に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して接着シートASをウエハWFに貼付する構成でもよいし、押圧ローラ40の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、接着シートASを保持して押圧する構成でもよい。
検査手段は、カメラ50に代えてまたは併用して、光学センサ、超音波センサ、エコーセンサ、レーザセンサ、圧力センサ、磁石等の金属検知手段等の非接触型のセンサを採用してもよいし、ローラやシャフト等の接触部材を接触させて貼付状態を検査するリミットスイッチ等の接触型のセンサを採用してもよいし、作業者による目視でもよい。検査手段が作業者の目視の場合、作業者が貼付不良を検出すると、当該作業者がスイッチや押し釦等の信号出力手段を介して所定の信号を出力するようにすればよい。なお、検査手段は、貼付状態を検査しやすくするための検査補助手段を備えていてもよく、このような検査補助手段は、気泡を大きくするための気圧調整手段やコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、撮像条件を向上させる照明手段等を採用してもよい。
剥離手段60は、ウエハWFから接着シートASを剥離できるものであれば何でもよく、例えば、剥離する接着シートASが当接する前からウエハWFの移動速度に合わせて剥離用テープPTを巻き取ってもよいし、回動モータ66A、68Aをなくし、ウエハWFとの相対移動によって従動的に剥離用テープPTが巻き取られる構成としてもよいし、枚葉の剥離用テープPTを接着シートASに貼付してウエハWFから剥離する構成でもよいし、直動モータ63はなくてもよいし、剥離ローラ65を回転駆動させる駆動機器を採用してもよいし、接着シートASを加熱するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を採用してもよく、このような加熱手段は、剥離用テープPTとして感熱接着性の接着シートASが採用された場合だけでなく、感圧接着性の接着シートASが採用された場合に採用してもよいし、剥離ローラ65に代えてまたは併用して、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、大気やガス等のエアの吹き付け等を採用して剥離用テープPTを接着シートASに貼付する構成でもよいし、剥離ローラ65の表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離用テープPTを保持して押圧する構成でもよいし、接着シートASをメカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で保持して剥離する構成でもよい。
接着力低下手段70は、図1中左側の二点鎖線で示す位置で停止している一体物WKに対し、適宜な駆動機器によって紫外線照射装置71を左方に移動させて接着シートAS全体に紫外線を照射してもよいし、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートASの接着力を低下できるものであれば何でもよいし、接着シートASの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、前後方向の長さがウエハWFまたは接着シートASの前後方向の最大長さよりも短く設定され、接着シートASの接着力を部分的に低下するように構成し、一体物WKとの相対移動で当該接着シートAS全体の接着力が低下するように構成してもよいし、なくてもよい。
シート貼付装置10は、貼付手段を図3に示すように、ウエハWFから剥離する接着シートASの剥離角度θを調整する剥離角度調整手段80として機能させてもよい。この場合、剥離角度調整手段80は、駆動機器としての直動モータ41の出力軸41Aに支持されたブラケット42に押圧ローラ40を回転自在に支持させ、ウエハWFから接着シートASを剥離するときに、当該剥離角度調整手段80が直動モータ41を駆動し、押圧ローラ40を昇降させて剥離角度θを調整すればよい。なお、押圧ローラ40をウエハWFから遠ざけると剥離角度θが小さくなり、押圧ローラ40をウエハWFに近付けると剥離角度θが大きくなる。また、剥離手段60が回動モータ66Aの駆動タイミングや駆動速度等を制御し、接着シートASの折返し位置が押圧ローラ40の最下部に位置するようにするとよいが、接着シートASの折返し位置を押圧ローラ40の最下部の位置から左方または右方へずらすことで、剥離角度θを調整するようにしてもよい。さらに、このような剥離角度調整手段80は、押圧ローラ40、直動モータ41およびブラケット42以外の駆動機器やローラ、板等で構成してもよく、例えば、直動モータ33を剥離角度調整手段80とし、当該剥離角度調整手段80が直動モータ33を駆動し、支持テーブル34を昇降させて剥離角度θを調整してもよい。また、剥離角度調整手段80が直動モータ41およびブラケット42を備えずに、剥離角度θが一定であってもよい。
シート貼付装置10は、1つのウエハWFに対して所定回数(例えば、2回、3回、それ以上)接着シートASの貼付し直しを行ってもカメラ50が貼付不良を検出する場合は、音を出力するスピーカやブザー等の音発生手段や光を点灯する電灯等の光発生手段等の警告手段で作業者に知らせるようにしてもよいし、検査手段がウエハWFの割れや損傷等を検出した場合、接着シートASを剥離した後、当該ウエハWFの割れた部分や損傷部分等を取り除いてから再度そのウエハWFに接着シートASを貼付したり、割れや損傷等が検出されたウエハWFを支持面34A上から取り除き、別のウエハWFを支持面34A上に載置し、当該別のウエハWFに再度接着シートASを貼付したりしてもよい。
シート貼付装置10は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハWFの下面や側面に接着シートASを貼付するように構成してもよい。
本発明における接着シートAS、剥離用テープPTおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、剥離用テープPTは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートAS、剥離用テープPTを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートAS、剥離用テープPTは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、1層または2層以上のものであってよい。また、被着体としては、上記のもの以外に例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10…シート貼付装置
20…供給手段
30…搬送手段
40…押圧ローラ(貼付手段)
50…カメラ(検査手段)
60…剥離手段
70…接着力低下手段
80…剥離角度調整手段
AS…接着シート
WF…ウエハ(被着体)

Claims (5)

  1. 接着シートを供給する供給手段と、
    前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付手段と、
    前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査手段と、
    前記被着体に貼付された接着シートを保持して剥離する剥離手段とを備え、
    前記剥離手段は、前記検査手段の検査結果を基にして、当該剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
  2. 前記供給手段と被着体とを相対移動させる搬送手段を備え、当該搬送手段は、前記供給手段と被着体とを前記シート貼付方向および当該シート貼付方向の逆方向であるシート剥離方向へ相対移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
  3. 前記被着体から剥離する接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。
  4. 前記被着体から前記接着シートを剥離する前段で、当該接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載のシート貼付装置。
  5. 接着シートを供給手段で供給する供給工程と、
    前記供給手段との相対移動によってシート貼付方向へ相対移動される被着体に、当該供給手段で供給される前記接着シートを貼付する貼付工程と、
    前記被着体に貼付された接着シートおよび当該被着体の少なくとも一方の状態を検査する検査工程と、
    前記被着体に貼付された接着シートを剥離手段で保持して剥離する剥離工程とを有し、
    前記剥離工程は、前記検査工程の検査結果を基にして、前記剥離手段のシート剥離方向へ相対移動される前記被着体に貼付された接着シートを保持し、当該接着シートを前記被着体から剥離することを特徴とするシート貼付方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020175687A1 (ja) * 2019-02-28 2020-09-03 株式会社Ihi 超音波探傷装置
CN113697152A (zh) * 2021-08-02 2021-11-26 广州敏惠汽车零部件有限公司 一种泡棉贴纸分离装置以及工件贴泡棉系统

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020175687A1 (ja) * 2019-02-28 2020-09-03 株式会社Ihi 超音波探傷装置
JPWO2020175687A1 (ja) * 2019-02-28 2021-12-02 株式会社Ihi 超音波探傷装置
JP7188552B2 (ja) 2019-02-28 2022-12-13 株式会社Ihi 超音波探傷装置
CN113697152A (zh) * 2021-08-02 2021-11-26 广州敏惠汽车零部件有限公司 一种泡棉贴纸分离装置以及工件贴泡棉系统

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