JP6796952B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
本実施形態の場合、貼付角度設定手段30は、リニアモータ32のスライダ32A(図3参照)でリニアモータ31を支持し、リニアモータ31の図示しないスライダでフレーム29を支持しており、押圧手段40による接着シートASの押圧開始位置SP(図2参照)を中心とする円弧CRに沿って繰出手段20を移動可能に構成されている。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、作業者が原反RSを同図中実線で示すようにセットする。そして、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転が指示され、人手またはコンベアやロボット等の図示しない搬送手段によってテーブル71の支持面71A上にウエハWFが載置されると、支持手段70が図示しない減圧手段を駆動し、支持面71AでウエハWFを吸着保持する。その後、巻取手段60が回動モータ61を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、フレーム62を時計回転方向に回動させることで、支持面71Aに接着シートASを接近させる方向に巻取手段60を移動させる。次いで、繰出手段20および巻取手段60が回動モータ26Aおよび63を駆動し、剥離シートRLおよび接着シートASを巻き取り、テーブル71上に位置する接着シートASの張力が所定値となったことがロードセル24によって検知されると、回動モータ26Aおよび63の駆動を停止する。次に、押圧手段40が直動モータ43を駆動し、図2に示すように、押圧ローラ44を下降させて接着シートASをテーブル71の上面に所定の圧力で押え付ける。このとき、テーブル71上に位置する接着シートASの張力の上昇がロードセル24によって検知されると、繰出手段20が回動モータ26Aを駆動し、剥離シートRLを巻き取ることで接着シートASを繰り出し、当該接着シートASの張力を所定値に保つ制御が行われる。次いで、繰出手段20が直動モータ23を駆動し、図2に示すように、押付部材23Bとガイドローラ22Aとで接着シートASを挟み込み、当該接着シートASの繰り出しを抑制する。そして、貼付角度設定手段30がリニアモータ31、32を駆動し、図2に示すように、剥離板25の左端縁が押圧開始位置SPを中心とする円弧CRに沿って移動するようにフレーム29を左右および上下方向に移動させ、押圧ローラ44による接着シートASの貼付角度θが所定の角度となるように調整を行い、当該調整が完了するとスタンバイ状態となる。なお、本実施形態の場合、接着シートASの貼付角度θは、図2に示すθ2とされる。
支持ローラ21および回収ローラ28のうち少なくとも一方は、フレーム29に支持されてもよいし、張力検出手段は、圧力センサやレギュレータ等、接着シートASの張力を測定可能なものであれば何でもよいし、支持ローラ21を駆動およびロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ23を省いてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
20 繰出手段
30 貼付角度設定手段
31 リニアモータ(第1移動手段)
32 リニアモータ(第2移動手段)
40 押圧手段
44 押圧ローラ(押圧部材)
AS 接着シート
CR 円弧
SP 押圧開始位置
WF ウエハ(被着体)
WF1 被着面
θ 貼付角度
Claims (2)
- 被着体の被着面に臨む位置に所定の繰出量の接着シートを繰り出す繰出手段と、
繰り出された接着シートの前記被着面に対する貼付角度を設定する貼付角度設定手段と、
前記貼付角度が設定された接着シートを前記被着面の一端側から他端側に向かう所定の押圧方向に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記貼付角度設定手段は、前記被着面に直交する方向の軸と前記押圧方向の軸とからなる直交平面内の第1方向に前記繰出手段を移動させる第1移動手段と、前記第1方向に交わる前記直交平面内の第2方向に前記繰出手段を移動させる第2移動手段とを備え前記繰出手段を前記第1方向および前記第2方向に移動させることで、当該繰出手段を前記押圧手段による接着シートの押圧開始位置を中心とする円弧に沿って移動させて前記貼付角度を設定することを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体の被着面に臨む位置に繰出手段で所定の繰出量の接着シートを繰り出す繰出工程と、
繰り出された接着シートの前記被着面に対する貼付角度を設定する貼付角度設定工程と、
前記貼付角度が設定された接着シートを押圧手段で前記被着面の一端側から他端側に向かう所定の押圧方向に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記貼付角度設定工程は、前記被着面に直交する方向の軸と前記押圧方向の軸とからなる直交平面内の第1方向、および前記第1方向に交わる前記直交平面内の第2方向に前記繰出手段を移動させることで、当該繰出手段を前記押圧手段による接着シートの押圧開始位置を中心とする円弧に沿って移動させて前記貼付角度を設定することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
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JP2016108815A JP6796952B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | シート貼付装置および貼付方法 |
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JP2017216343A JP2017216343A (ja) | 2017-12-07 |
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JP2016108815A Active JP6796952B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | シート貼付装置および貼付方法 |
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JP7296222B2 (ja) | 2019-03-11 | 2023-06-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
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2016
- 2016-05-31 JP JP2016108815A patent/JP6796952B2/ja active Active
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