JP5261522B2 - 貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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本発明の目的は、接着シートの表面に傷を付けることがないように貼付することのできる貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記貼付ユニットは、前記接着シートを板状部材に対して押圧しながら貼り付ける貼付ロールを備えて第1及び第2貼付態様で接着シートを板状部材に貼付可能に設けられ、
前記第1貼付態様は、前記接着シートの繰り出しと、前記貼付ロールによる前記剥離シートを間に挟んだ状態での接着シートへの押圧力の付与と、前記貼付ロールによる接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行い、前記接着シートの繰り出し方向前端側から後端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付し、
前記第2貼付態様は、前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで一旦繰り出した状態から、前記接着シートの前記繰り出しの反対方向となる巻き取りと、前記貼付ロールによる前記剥離シートを間に挟んだ状態での接着シートへの押圧力の付与と、前記貼付ロールによる接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行い、前記接着シートの繰り出し方向後端側から前端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付する、という構成を採っている。
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出する、という構成も採用することができる。
前記接着シートを板状部材に対して押圧しながら貼り付ける貼付ロールを用い、
前記接着シートを繰り出す工程と、前記貼付ロールにより前記剥離シートを間に挟んだ状態で接着シートに押圧力を付与する工程と、前記貼付ロールにより接着シートを剥離シートから剥離する工程とを同時に行いながら、前記接着シートの繰り出し方向前端側から後端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付する第1貼付態様と、
前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで一旦繰り出した状態から、当該繰り出しの反対方向に前記接着シートを巻き取る工程と、前記貼付ロールにより前記剥離シートを間に挟んだ状態で接着シートに押圧力を付与する工程と、前記貼付ロールにより接着シートを剥離シートから剥離する工程とを同時に行いながら、前記接着シートの繰り出し方向後端側から前端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付する第2貼付態様との2つの貼付態様を選択的に行う、という方法を採っている。
本発明においては、図6及び図7に示されるように、二つの貼付態様を採用することが可能であり、図6に示される態様は、いわゆる繰出同時貼付態様を示し、図7は巻取同時貼付態様を示している。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
15 貼付装置
21 貼付用テーブル
24 貼付ユニット
51 ずれ量補正装置
60 検出手段
L 原反
S1 接着シート(感熱接着性の接着シート)
PS 剥離シート
LS 接着シート材
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (3)
- 板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットを備えた貼付装置において、
前記貼付ユニットは、前記接着シートを板状部材に対して押圧しながら貼り付ける貼付ロールを備えて第1及び第2貼付態様で接着シートを板状部材に貼付可能に設けられ、
前記第1貼付態様は、前記接着シートの繰り出しと、前記貼付ロールによる前記剥離シートを間に挟んだ状態での接着シートへの押圧力の付与と、前記貼付ロールによる接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行い、前記接着シートの繰り出し方向前端側から後端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付し、
前記第2貼付態様は、前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで一旦繰り出した状態から、前記接着シートの前記繰り出しの反対方向となる巻き取りと、前記貼付ロールによる前記剥離シートを間に挟んだ状態での接着シートへの押圧力の付与と、前記貼付ロールによる接着シートの剥離シートからの剥離とを同時に行い、前記接着シートの繰り出し方向後端側から前端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付することを特徴とする貼付装置。 - 前記原反の繰出経路上に配置されるとともに、前記接着シートの繰出方向と直交する横方向のずれ量を検出する検出手段と、前記接着シートの位置ずれが検出手段で検出されたたときに、当該位置ずれを補正するずれ量補正装置を更に含み、
前記検出手段は、前記原反の繰出動作を停止することなくずれ量を検出することを特徴とする請求項1記載の貼付装置。 - 板状部材に対応した平面形状の接着シートが剥離シートに仮着された原反を繰り出す過程で当該接着シートを剥離して前記板状部材に貼付する貼付方法において、
前記接着シートを板状部材に対して押圧しながら貼り付ける貼付ロールを用い、
前記接着シートを繰り出す工程と、前記貼付ロールにより前記剥離シートを間に挟んだ状態で接着シートに押圧力を付与する工程と、前記貼付ロールにより接着シートを剥離シートから剥離する工程とを同時に行いながら、前記接着シートの繰り出し方向前端側から後端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付する第1貼付態様と、
前記接着シートを板状部材の上面に臨んだ位置まで一旦繰り出した状態から、当該繰り出しの反対方向に前記接着シートを巻き取る工程と、前記貼付ロールにより前記剥離シートを間に挟んだ状態で接着シートに押圧力を付与する工程と、前記貼付ロールにより接着シートを剥離シートから剥離する工程とを同時に行いながら、前記接着シートの繰り出し方向後端側から前端側にかけて当該接着シートを前記板状部材に貼付する第2貼付態様との2つの貼付態様を選択的に行うことを特徴とする貼付方法。
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