JP4886971B2 - 貼付装置 - Google Patents
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Description
前記第2のテーブルに支持されたウエハは、前記加熱装置によって予備加熱温度よりも高い温度に加熱され、これにより、接着シートがウエハに完全に接着される構成となっている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートの原反状態における剥離シートと接着シートとの接着強度のバラツキがあっても安定した剥離を実現し、接着シートに不要な張力が加わることを回避可能な貼付装置を提供することにある。
前記貼付ユニットは、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが積層された帯状の原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離部と、当該剥離部よりも原反繰出方向上流側に設けられたシート予備剥離装置と、前記接着シートを幅方向全長に切断可能な切断手段を備え、
前記シート予備剥離装置は、原反の繰出方向に沿って移動可能な移動部材を備え、当該移動部材は、剥離シートと接着シートとの間に挟まれた状態で移動する、という構成を採っている。
剥離テーブル156が剥離ヘッド部166に対して図22中右側に相対移動して剥離用テープST1がこれに対応して繰り出されることとなるが、この時点では巻取用モータM7は停止状態に保たれているので、剥離用テープST1に折れ曲がり部分が形成される(図22(B)参照)。
初期剥離角度α1が形成されると、モータM7が駆動し、第1のロール174の外周面に剥離用テープST1がぴったり沿うようになる(図22(D)参照)。このようにして剥離用テープST1が第1のロール174の外周面にぴったりと沿う状態で、当該ロール径によって決定される次期剥離角度α2(図23参照)を維持して保護テープPTがウエハWの反対側の端部まで剥離されることとなる。なお、図23では、ウエハWの回路面にバンプBが形成された場合を示しており、当該バンプB上に保護テープPTが設けられている場合には、バンプB間に存在する接着剤178は、前記次期剥離角度α2によって上方に抜かれるように作用することでウエハW上に残存させることなく保護テープPTに付着させて剥離することができる。また、ウエハWにバンプが存在しない場合であっても、初期剥離角度α1で剥離が開始されるため、その後の次期剥離角度α2が初期剥離角度α1より小さくなってもウエハWに割れ等を生じさせるストレスは加えられることはない。これは、ウエハのように薄板材料に貼付されたシートを剥離する場合に、初期の剥離角度が最も問題となるものであり、剥離が開始された後の次期剥離角度は、割れ等を発生させる要因としては低いことに起因する。その後、初期段階でUV硬化した保護テープPTが、テープ剥離ユニット17によってウエハ回路面から剥離され、ストッカ19に収容されることとなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
15 貼付装置
40 貼付テーブル
41 貼付ユニット
71 ドライブロール(剥離部)
72 ピンチロール(剥離部)
78 プレスロール
180 シート予備剥離装置
181 移動部材
185 片状体(移動部材)
W 半導体ウエハ
PS 剥離シート
S 接着シート(感熱接着性の接着シート)
Claims (4)
- 半導体ウエハを支持する貼付テーブルと、前記半導体ウエハに感熱接着性の接着シートを貼付する貼付ユニットとを含む貼付装置において、
前記貼付ユニットは、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが積層された帯状の原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離部と、当該剥離部よりも原反繰出方向上流側に設けられたシート予備剥離装置と、前記接着シートを幅方向全長に切断可能な切断手段を備え、
前記シート予備剥離装置は、原反の繰出方向に沿って移動可能な移動部材を備え、当該移動部材は、剥離シートと接着シートとの間に挟まれた状態で移動することを特徴とする貼付装置。 - 前記移動部材は、前記繰出方向に沿う面を備えた片状体、又はロール状部材により構成されていることを特徴とする請求項1記載の貼付装置。
- 前記貼付ユニットは、接着シートの端部を吸着保持する押圧部材を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の貼付装置。
- 前記切断手段は、接着シートを周方向に切断可能に設けられていることを特徴とする請求項1,2又は3記載の貼付装置。
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