JP5449937B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、被着体に塵が落下して歩留まりが低下することを抑制でき、接着シートの剥離時に接着シートと共に被着体が持ち上げられることを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記剥離手段は、剥離用テープ及び又は接着シートを被着体との間に挟み込むとともに、前記接着シートが折り返された剥離姿勢を形成可能な剥離姿勢形成手段と、この剥離姿勢形成手段で剥離された接着シートを保持する剥離補助手段とを備え、
前記剥離補助手段は、折り返された前記接着シートが平面視で前記剥離姿勢形成手段を超える前に、前記接着シートの接着剤層に接着可能に設けられる、という構成を採っている。
剥離姿勢形成手段が剥離用テープ及び又は接着シートを被着体との間に挟み込むとともに、前記接着シートが折り返された剥離姿勢を剥離姿勢形成手段で形成する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと被着体とを反対方向に相対移動させる工程と、
剥離姿勢形成手段で折り返された接着シートが平面視で前記剥離姿勢形成手段を超える前に、前記接着シートの接着剤層に剥離補助手段を接着させて当該接着シートを被着体から剥離する工程とを備える、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
15 剥離手段
16 貼付手段
30 ローラ(剥離姿勢形成手段)
36 直動モータ(調整手段)
31 剥離補助手段
47 チャック(把持手段)
60 ブレード(剥離姿勢形成手段)
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、この貼付手段により接着シートに貼付された剥離用テープと被着体とを反対方向に相対移動させることで接着シートを被着体から剥離する剥離手段とを備えたシート剥離装置において、
前記剥離手段は、剥離用テープ及び又は接着シートを被着体との間に挟み込むとともに、前記接着シートが折り返された剥離姿勢を形成可能な剥離姿勢形成手段と、この剥離姿勢形成手段で剥離された接着シートを保持する剥離補助手段とを備え、
前記剥離補助手段は、折り返された前記接着シートが平面視で前記剥離姿勢形成手段を超える前に、前記接着シートの接着剤層に接着可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離手段は、剥離用テープを把持する把持手段を含み、この把持手段は、被着体から剥離されて剥離補助手段が保持した接着シートを除去可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記剥離補助手段は、剥離姿勢形成手段により接着シートに付与される押圧力を調整可能な調整手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する工程と、
剥離姿勢形成手段が剥離用テープ及び又は接着シートを被着体との間に挟み込むとともに、前記接着シートが折り返された剥離姿勢を剥離姿勢形成手段で形成する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと被着体とを反対方向に相対移動させる工程と、
剥離姿勢形成手段で折り返された接着シートが平面視で前記剥離姿勢形成手段を超える前に、前記接着シートの接着剤層に剥離補助手段を接着させて当該接着シートを被着体から剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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