JP5626784B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
シート剥離装置及び剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5626784B2 JP5626784B2 JP2010209177A JP2010209177A JP5626784B2 JP 5626784 B2 JP5626784 B2 JP 5626784B2 JP 2010209177 A JP2010209177 A JP 2010209177A JP 2010209177 A JP2010209177 A JP 2010209177A JP 5626784 B2 JP5626784 B2 JP 5626784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- peeling
- folding
- sheet
- end side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
本発明の目的は、剥離された接着シート等を回収するためのスペースの縮小化を図ることで、装置全体の大型化を抑制することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートの一端側に剥離用テープを貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを一端側から他端側に向けて前記被着体から剥離する張力付与手段と、前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳み可能な折畳手段と、前記接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記折畳手段で貼付された領域よりも大きくする圧接手段とを備える、という構成を採っている。
前記折畳ローラおよび圧接ローラは、張力付与手段で剥離された接着シートの他端側を挟持可能に設けられ、
前記折畳ローラは、前記駆動機器の接近により前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳み、
前記圧接ローラは、当該折り畳まれた接着シートを前記折畳ローラとの間を通過させ、当該接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記駆動機器と折畳ローラとで貼付された領域よりも大きくする、という構成を採っている。
前記接着シートの一端側に剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを一端側から他端側に向けて前記被着体から剥離する工程と、
前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳む工程と、
前記接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記接着シートを折り畳む工程で貼付された領域よりも大きくする工程とを備える、という方法を採っている。
次に、図示しない駆動機器によってチャック61を左方向に移動させ、ウエハW上の接着シートSに剥離用テープPTが対向するように折り返す。そして、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと支持手段11とが反対方向に相対移動するように、制御手段18が直動モータ59等を介して、チャック61を図2中左方向へ、支持手段11を図2中右方向へ同速で移動させる。このとき、折畳ローラ64は、直動モータ65によって接着シートSをウエハWに押圧する位置に保たれ、圧接ローラ68は、直動モータ69によってウエハWの回路面に接触することのない位置に保たれる。これにより、剥離された接着シートSと、未剥離の接着シートSとが対向するように折り返され、当該接着シートSがウエハWから剥離される。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
更に、前記接着シートSは、紫外線等のエネルギー線によってその接着力が低下するエネルギー線硬化型の接着剤を有するものであってもよく、接着シートSを剥離する前段で、当該接着シートSに図示しないエネルギー線照射手段によってエネルギー線を照射してもよい。このような場合、接着シートSにエネルギー線が照射されたとしても、全く接着力がなくなるわけではないので、折り畳まれて対向する面の間に空間Vを介在させることなく接着シートSを折り畳むことができる。このとき、剥離用テープPTを感圧接着性の接着テープとすれば、剥離用テープPTをウエハW他端側に接着し易くなる。
また、前記実施形態では、折畳手段が接着シートSを1回だけ折り畳む例を示したが、図示しない駆動機器等を介して、接着シートSを2回以上折り畳むように構成してもよい。
更に、前記実施形態では、折畳手段によって接着シートSの接着剤面同士を合わせ面として折り畳んだが、基材シート面同士を合わせ面として折り畳んでもよいし、接着シートSを捻るようにして接着剤面と基材シート面とを合わせ面として折り畳んでもよい。
13 貼付手段
14 張力付与手段
15 折畳手段
16 圧接手段
17 折畳補助手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートの一端側に剥離用テープを貼付する貼付手段と、前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを一端側から他端側に向けて前記被着体から剥離する張力付与手段と、前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳み可能な折畳手段と、前記接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記折畳手段で貼付された領域よりも大きくする圧接手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記張力付与手段は剥離用テープを把持可能な駆動機器を備え、前記折畳手段は折畳ローラを備え、前記圧接手段は圧接ローラを備え、
前記折畳ローラおよび圧接ローラは、張力付与手段で剥離された接着シートの他端側を挟持可能に設けられ、
前記折畳ローラは、前記駆動機器の接近により前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳み、
前記圧接ローラは、当該折り畳まれた接着シートを前記折畳ローラとの間を通過させ、当該接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記駆動機器と折畳ローラとで貼付された領域よりも大きくすることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。 - 前記折畳手段により接着シートを折り畳むときに、当該接着シートの折り畳み位置に外力を付与可能な折畳補助手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートの一端側に剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を付与して当該接着シートを一端側から他端側に向けて前記被着体から剥離する工程と、
前記剥離用テープ及び接着シート一端側の少なくとも一方を接着シートにおける他端側に貼付して前記剥離された接着シートを折り畳む工程と、
前記接着シート同士が近付く厚み方向に圧力を付与することで、当該接着シート同士が接着する領域を前記接着シートを折り畳む工程で貼付された領域よりも大きくする工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010209177A JP5626784B2 (ja) | 2010-09-17 | 2010-09-17 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010209177A JP5626784B2 (ja) | 2010-09-17 | 2010-09-17 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012064850A JP2012064850A (ja) | 2012-03-29 |
JP2012064850A5 JP2012064850A5 (ja) | 2013-08-01 |
JP5626784B2 true JP5626784B2 (ja) | 2014-11-19 |
Family
ID=46060227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010209177A Active JP5626784B2 (ja) | 2010-09-17 | 2010-09-17 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5626784B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107636821A (zh) * | 2015-08-31 | 2018-01-26 | 琳得科株式会社 | 片材剥离装置及剥离方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5429903B2 (ja) * | 2012-04-20 | 2014-02-26 | Necエンジニアリング株式会社 | テープ把持機構、シート剥離装置及びシート剥離方法 |
JP6621365B2 (ja) * | 2016-04-11 | 2019-12-18 | 株式会社ディスコ | 保護テープの剥離方法 |
JP6654976B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2020-02-26 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
JP7407552B2 (ja) * | 2019-10-07 | 2024-01-04 | リンテック株式会社 | シート折畳装置およびシート折畳方法 |
CN115140378A (zh) * | 2022-08-05 | 2022-10-04 | 允哲半导体科技(浙江)有限公司 | 一种晶圆撕膜方法及装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0348233U (ja) * | 1989-09-14 | 1991-05-08 | ||
JP2010147123A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
-
2010
- 2010-09-17 JP JP2010209177A patent/JP5626784B2/ja active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107636821A (zh) * | 2015-08-31 | 2018-01-26 | 琳得科株式会社 | 片材剥离装置及剥离方法 |
CN107636821B (zh) * | 2015-08-31 | 2021-07-09 | 琳得科株式会社 | 片材剥离装置及剥离方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012064850A (ja) | 2012-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5149122B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5626784B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4782892B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
WO2007007532A1 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2012059928A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4927686B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012004290A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2010147123A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5567436B2 (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP5185868B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2011114270A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5586093B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2011171418A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5113621B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5558840B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5449937B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5520129B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP5534923B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4602747B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP5564409B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5203888B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012164840A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5421749B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5421747B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2009117509A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130613 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130613 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140317 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140325 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5626784 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |