JP5421749B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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本発明の目的は、接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に一端のみが達する切り込みが形成されて複数のシート領域として剥離可能とされ、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段と、前記切り込みの他端側領域に補強テープを貼付する補強テープ貼付手段とを備える、という構成を採っている。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に一端のみが達する切り込みが形成されて複数のシート領域として剥離可能とされ、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
前記切り込みの他端側領域に補強テープを貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、
図1を基準として用いる。
図1〜図3において、シート剥離装置10は、被着体としてのウエハWを保持する保持手段11と、帯状の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、ウエハWの回路面となる一方の面(上面)に貼付された接着シートSに剥離用テープPTを貼付する貼付手段14と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと保持手段11に保持されたウエハWとを相対移動させる移動手段15と、接着シートSの上面側に位置可能な浮上防止手段16と、接着シートSに繋ぎテープLTを貼付する繋ぎテープ貼付手段17とを備えて構成されている。なお、剥離用テープPTは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用している。また、接着シートSは、基材シートBと、この基材シートBの一方の面すなわち下面に設けられた接着剤層ADとを備え、この接着剤層ADを介してウエハW上面に貼付されている。接着シートSには、切り込みC(図3参照)が形成されている。本実施形態では、接着シートSは、接着シートSの中央を通り、その一端のみ両端が基材シートBの外縁に達する切り込みCを有し、この切り込みCを挟んで第1シート領域S1(同図中下方に位置するシート領域)と、第2シート領域S2(同図中上方に位置するシート領域)とからなる複数のシート領域として剥離可能となっている。
シート領域S1及び第2シート領域S2毎に剥離することができる。これにより、分割し
ない接着シートSを剥離する場合に比べ、剥離時の剥離用テープPTに生じる引っ張り力
を軽減することができ、剥離用テープPTが延びたり切断したりすることに起因する剥離
不良を防止することが可能となる。
図4において、第1実施形態では、参考実施形態と同様に切り込みCが形成された接着シートSが剥離対象とされ、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させた後、切り込みCの他端Pと接着シートSの左端との間が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させる。次いで、吸着ヘッド75を直動モータ76によって下方へ移動させると、補強テープLTが他端Pと接着シートSの左端との間に貼付され、この補強テープLT貼付後、第1実施形態と同様に接着シートSの剥離が行われる。本実施形態によれば、切り込みCの他端P周辺を剥離するときに、他端Pから亀裂が生じて接着シートが分断されることで、接着シートSの剥離不良の発生を防止することが可能となる。
図5において、第2実施形態では、参考実施形態と同様に切り込みCが形成された接着シートSが剥離対象とされ、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させ、第1シート領域S1を他端P付近まで剥離した後、当該剥離の進行を停止させる。その後、切り込みCの他端Pと接着シートSの左端との間が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させる。次いで、直動モータ76の作動により、切り込みCを跨いで第1シート領域S1と第2シート領域S2とに補強テープLTを貼付する。次に、図5(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。本実施形態によれば、保持手段11を回転移動させる工程を省略して剥離を行うことができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
る限りにおいて、曲線状にする等種々の変更が可能である。
41の動作を停止させ、保持手段11を移動させてもよいし、逆に保持手段11の動作を
停止させ、チャック41を移動させてもよい。
更に、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離用テープPTを切断するテープ切断手段34は必須要件ではない。
更に、前記浮上防止手段16を噴出エアによって構成し、切り込みCを介して隣接する
他のシート領域をウエハW側に押圧するようにしてもよい。
12 繰出手段
14 貼付手段
15 移動手段
16 浮上防止手段
17 補強テープ貼付手段
AD 接着剤層
B 基材シート
C 切り込み
CN 角部
LT 補強テープ
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に一端のみが達する切り込みが形成されて複数のシート領域として剥離可能とされ、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段と、前記切り込みの他端側領域に補強テープを貼付する補強テープ貼付手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に一端のみが達する切り込みが形成されて複数のシート領域として剥離可能とされ、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
前記切り込みの他端側領域に補強テープを貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
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2009
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