JP5572253B2

JP5572253B2 - シート剥離装置及び剥離方法

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Publication number: JP5572253B2
Application number: JP2013193797A
Authority: JP
Inventors: 孝久吉岡; 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-09-19
Filing date: 2013-09-19
Publication date: 2014-08-13
Anticipated expiration: 2029-11-30
Also published as: JP2014030039A

Description

本発明は、シート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法に関する。

半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する場合がある）は、その回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の工程を経た後に接着シートが剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、ウエハから接着シートを剥離する工程は、剥離用テープを接着シートに貼付した後、当該剥離用テープとウエハとを相対移動することにより行われる。

特開２００４−１６５５７０号公報

ところで、近時、ウエハの径寸法が大型化する傾向があるため、これに応じて接着シートも大型化する。このため、特許文献１のように剥離を行う場合、接着シートを剥離するときに大きな剥離力が必要となり、剥離時に剥離用テープが延びたり切断したりして剥離不良が多発する、という不都合がある。

［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に切り込みを形成する切断手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープとを相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、
前記切断手段は、両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成することで、前記接着シートを複数の分割シートとして形成可能に設けられ、前記接着シートの剥離初期部位となる当該切り込みの端部のみを前記被着体に達する深さとし、その他の切り込み部分を前記被着体に達することのない深さとなるように制御される、という構成を採っている。

本発明において、剥離される分割シートに前記切り込みを介して隣接する他の分割シートが付随して剥離されることを規制可能な浮上防止手段を更に有する、という構成を採ることが好ましい。

更に、前記貼付手段は、複数の分割シートそれぞれに剥離用テープを貼付可能に設けられる、という構成を採ることが好ましい。

また、本発明の剥離方法は、被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成して接着シートを複数の分割シートとして形成する工程と、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを備え、
前記接着シートを複数の分割シートとして形成する工程において、当該接着シートの剥離初期部位となる前記切り込みの端部のみを前記被着体に達する深さとし、その他の切り込み部分を前記被着体に達することのない深さとする工程が行われる、という方法を採っている。

本発明によれば、接着シートに切り込みを形成して複数の分割シートを形成し、これら分割シート毎に剥離を行うことができる。各分割シートは接着シート全体より小型化されるので、各分割シートをそれぞれ剥離することにより、切り込みを有しない接着シート全体の剥離に比べて剥離に要する力を軽減することができる。これにより、被着体が大径化したウエハであっても、剥離用テープが延びたり切断したりすることを防止でき、剥離不良が発生することを回避することが可能となる。
また、剥離初期部位の切り込み端部における切り込み深さを被着体に達するようにした場合、切り込みを挟む両側領域を確実に分割することができる。これにより、剥離初期において、分割シートのうち何れか１の分割シートを剥離するときに、切り込みを介して隣接する他の分割シートとの縁切りが確実に行え、複数枚の分割シートを同時に剥離することを確実に防止することが可能となる。

更に、浮上防止手段を設けた場合、分割シートのうち何れか１の分割シートを剥離するときに、基材シートや接着剤層の未切断部分、又は、接着剤層の再接着等によって、切り込みを介して隣接する他の分割シートが追従して剥離されることを確実に防止することができる。

また、複数の分割シートそれぞれに剥離用テープを貼付可能とすることで、各分割シートの剥離を効率良く行うことができる。

各実施形態に係るシート剥離装置の一部断面視した概略正面図。切断手段及びその周辺の部分断面拡大図。図３の縦断面図。（Ａ）〜（Ｃ）は、接着シートの剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｄ）は、第１実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｄ）は、図５の剥離動作の変形例を示す剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｅ）は、第２実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｃ）は、第３実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｃ）は、第４実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。第５実施形態に係る接着シートの説明図。第６実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。（Ａ）〜（Ｃ）は、第７実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。第８実施形態に係る接着シートの説明図。第９実施形態に係る接着シートの剥離動作説明図。第１変形例に係る接着シートの説明図。第２変形例に係る接着シートの説明図。（Ａ）〜（Ｃ）は、第３変形例に係る接着シートの剥離動作説明図。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図１を基準として用いる。

［第１実施形態］
図１〜図４において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷを保持する保持手段１１と、帯状の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１２と、ウエハＷの回路面となる一方の面（上面）に貼付された接着シートＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段１４と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと保持手段１１に保持されたウエハＷとを相対移動させる移動手段１５と、ウエハＷに貼付された接着シートＳに切り込みを形成可能な切断手段１６と、接着シートＳに繋ぎテープＬＴを貼付する繋ぎテープ貼付手段１７と、浮上防止手段１８とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用している。また、接着シートＳは、基材シートＢと、この基材シートＢの一方の面すなわち下面に設けられた接着剤層ＡＤとを備え、この接着剤層ＡＤを介してウエハＷ上面に貼付されている。

前記保持手段１１は、リングフレームＲＦと一体化されたウエハＷをダイシングシートＤＳ側から上面で吸着して保持するテーブルからなる。

前記繰出手段１２は、図示しないフレームに支持されて巻回された剥離用テープＰＴを支持するとともに、モータＭ１を介して回転可能な支持軸２１と、モータＭ２を介して回転可能な駆動ローラ２２と、当該駆動ローラ２２との間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２３と、剥離用テープＰＴを図１中下方から支持する板状のガイド部材２５と、このガイド部材２５とで剥離用テープＰＴを挟み込む回転自在なプレスローラ２７と、このプレスローラ２７を昇降させる昇降用シリンダ２８とを備えて構成されている。ガイド部材２５は、シリンダ２９を介して図１中左右方向に移動可能に設けられ、図４（Ａ）に示されるように、プレスローラ２７で挟み込んだ剥離用テープＰＴのリード端領域を後述するチャック４１により把持できる位置に導くことが可能となっている。

前記貼付手段１４は、直動モータ３１と、当該直動モータ３１によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ３２Ａを有する押圧ヘッド３２とを備えている。この貼付手段１４は、後述するチャック４１により接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＰＴを押圧ヘッド３２で押圧して加熱することで、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着するようになっている。なお、貼付手段１４の左側には、テープ切断手段３４が設けられている。このテープ切断手段３４は、カッター刃３５と、このカッター刃３５の下側に設けられ、凹部を上面に有するテープ受け板３６と、カッター刃３５を上下方向に移動させる上下用シリンダ３７と、同カッター刃３５を図１中紙面直交方向に移動させる切断用シリンダ３８とにより構成されている。

前記移動手段１５は、保持手段１１を移動可能に支持する駆動手段４０と、貼付手段１４の下方に設けられ、剥離用テープＰＴを把持部材４１Ａで把持可能なチャック４１とを備えている。駆動手段４０は、ウエハＷ上面に平行な面内で図１中紙面直交方向、左右方向及び回転方向に保持手段１１を移動してウエハＷを位置決め可能に設けられている。ここにおいて、駆動手段４０は、位置決め手段及び回転手段を構成するようになっている。チャック４１は、図示しない駆動装置を介して図１中左右方向に移動可能に構成されている。

前記切断手段１６は、図２及び図３に示されるように、外縁が切断刃となる円盤状のカッター刃４３と、このカッター刃４３を回転させる回動モータ４４と、回動モータ４４を支持可能な間隔保持手段４５と、間隔保持手段４５を支持してカッター刃４３を移動させる多関節ロボット４６と、カメラ４７とを備えている。

前記間隔保持手段４５は、回動モータ４４の下面側に設けられた検出手段としてのセンサ５３と、回動モータ４４に連結される出力軸５４Ａを有する直動モータ５４と、この直動モータ５４を上方から支持する下向きコ字状のフレーム５６と、このフレーム５６の図２中左右両側に設けられて接着シートＳ上を転動可能なローラ５７と、フレーム５６の上面に設けられたダンパ５９とを備えている。センサ５３は、カッター刃４３により接着シートＳを切断している最中に、その下端面となる基準面５３ＡとウエハＷ上面との上下方向の距離Ｄ１を検出可能に設けられている。センサ５３の基準面５３Ａと、カッター刃４３の回転中心位置との上下方向距離は、距離Ｄ２として一定に保たれる。また、図３に示されるように、センサ５３は、カッター刃４３の回転中心から当該カッター刃４３による切断時の移動方向下流側に距離Ｄ３離れた位置に設けられている。直動モータ５４は、出力軸５４Ａを上下方向に移動させてセンサ５３、カッター刃４３及び回動モータ４４を昇降可能となっている。また、直動モータ５４は、センサ５３の検出結果を基に出力軸５４Ａの移動方向及び移動量を調整可能に設けられている。ダンパ５９は、アームホルダ６０を介して多関節ロボット４６に着脱可能に設けられるとともに、フレーム５６の振動を吸収可能に設けられている。

前記多関節ロボット４６は、ベース部６２と、このベース部６２の上面に設けられ所定の６箇所に設けられた位置制御可能なモータによって回転可能な多関節アーム部６３と、この多関節アーム部６３の自由端側に取り付けられた保持チャック６４とを備えた所謂６軸ロボットであり、その作業領域内で保持チャック６４を何れの位置、何れの方向にも移動可能なものである。保持チャック６４は、相互に離間接近可能な一対のチャック爪６４Ａを備えており、これらチャック爪６４Ａがアームホルダ６０に係脱可能となっている。

前記カメラ４７は、回転するカッター刃４３の外周領域を撮像して当該カッター刃４３の刃先の位置を認識可能に設けられ、カッター刃４３の回転中心位置から刃先までの距離Ｄ４（図３参照）を測長できるようになっている。

前記繋ぎテープ貼付手段１７は、帯状の剥離シートＲＬを繰り出す途中でピールプレート７０により折り返し、当該剥離シートＲＬに仮着された繋ぎテープＬＴを一枚ずつ剥離して供給可能な供給手段７２と、この供給手段７２から供給された繋ぎテープＬＴを押圧して貼付する押圧手段７３とを備えて構成されている。押圧手段７３は、下面を吸着面として繋ぎテープＬＴを吸着保持可能な吸着ヘッド７５と、この吸着ヘッド７５を昇降させる直動モータ７６とを備えている。

前記浮上防止手段１８は、アームホルダ６０と同様の構成をなすアームホルダ６７と、このアームホルダ６７に連結されるとともに、切り込みＣに沿って位置可能な板状の押さえ部材６８とを備え、多関節ロボット４６のチャック爪６４Ａによって係脱可能となっている。

次に、シート剥離装置１０における接着シートＳの切断方法及び剥離方法について、図４及び図５をも用いて説明する。

まず、剥離用テープＰＴを支持軸２１から引き出し、駆動ローラ２２及びピンチローラ２３間を通過させ、プレスローラ２７とガイド部材２５とで挟み込んでそのリード端側がガイド部材２５の先端からはみ出た状態とされる。そして、図示しない搬送手段を介して、接着シートＳが貼付され、ダイシングシートＤＳを介してリングフレームＲＦと一体化されたウエハＷを保持手段１１の上面に吸着保持させる。次に、カメラ４７の正面側にカッター刃４３が位置するように多関節ロボット４６を作動させる。この状態で、回動モータ４４を作動させてカッター刃４３を回転しながらカメラ４７によってカッター刃４３の刃先を撮像させ、距離Ｄ４を測長させて図示しない制御手段に記憶させる。

次いで、接着シートＳに図５（Ａ）に示されるような切り込みＣを形成する場合、多関節ロボット４６の作動により、切り込みＣの切断開始位置となる基材シートＢの外縁にカッター刃４３を移動させる。その後、多関節ロボット４６を作動させ、基材シートＢ上面と略平行な方向であって、図３の矢印で示される切断時の移動方向にカッター刃４３を移動させる。このとき、各ローラ５７が接着シートＳ上で転動するとともに、回動モータ４４を作動してカッター刃４３を回転させる。これにより、両端が基材シートＢの外縁にそれぞれ達する切り込みＣが形成され、接着シートＳが第１分割シートＳ１と第２分割シートＳ２として形成される。

ここで、接着シートＳの切断中、センサ５３の検出結果を基に、カッター刃４３の刃先の最下部と、ウエハＷ上面との上下方向の距離Ｄがリアルタイムで調整される。
具体的には、接着シートＳを切断している最中に、センサ５３により距離Ｄ１を常時検出させ、この距離Ｄ１の検出結果と、距離Ｄ２及び距離Ｄ４とにより、図示しない制御手段で下記の式（１）から距離Ｄが求められる。
Ｄ＝Ｄ１＋Ｄ２−Ｄ４・・・（１）
また、制御手段では、多関節ロボット４６によるカッター刃４３の切断方向の移動速度と、距離Ｄ３とにより、センサ５３が通過してからカッター刃４３の刃先最下部が通過する時間を求める。そして、センサ５３が通過してから、求めた時間が経過したタイミングで距離Ｄが所定距離となるように直動モータ５４を作動制御してカッター刃４３を変位させる。なお、所定距離は、予めオペレータによって図示しない制御手段に入力されている。これにより、切り込みＣの全領域において、距離Ｄが所定距離に維持される。切り込みＣは、カッター刃４３の刃先がウエハＷ上面に接触しないように、基材シートＢを分断しない深さであってもよいし、基材シートＢを分断する深さであってもよいし、接着剤層ＡＤに達する深さであってもよい。

なお、本発明においては、接着シートＳの剥離の初期部位となる切り込みＣの図５（Ａ）中右端部のみ、前記所定距離を「０」若しくはマイナス数μｍに設定されている。このような設定とした場合、切り込みＣの同図中右端部切断時に、カッター刃４３の刃先がウエハＷ上面に接触し、基材シートＢ及び接着剤層ＡＤの両方の厚み方向全てに切り込みＣが形成され、ウエハＷに達する深さの切り込みＣが形成される。これにより、第１分割シートＳ１の剥離初期において、切り込みＣを介して隣接する第２分割シートＳ２との縁切りが確実に行え、各分割シートＳ１、Ｓ２を同時に剥離することを防止することができる。

切り込みＣの形成を完了した後、多関節ロボット４６の作動により、カッター刃４３を所定位置に退避させ、保持チャック６４がアームホルダ６０から外れて浮上防止手段６６のアームホルダ６７に連結される。

次いで、図４（Ａ）に示されるように、シリンダ２９を介してガイド部材２５を同図中右方向に進行させると同時に、モータＭ２を作動して駆動ローラ２２を回転させて剥離用テープＰＴを繰り出す。これにより、チャック４１の把持部材４１Ａ間にガイド部材２５及び剥離用テープＰＴのリード端側が位置する。そして、プレスローラ２７が上方へ退避し、ガイド部材２５を後退させると、把持部材４１Ａ間に剥離用テープＰＴが残されてチャック４１の動作によって把持される。その後、図示しない駆動装置によってチャック４１を図４（Ａ）の二点鎖線で示される位置に移動させて剥離用テープＰＴを引き出し、押圧ヘッド３２の下方で接着シートＳに対向するように剥離用テープＰＴを位置させる。

次に、図４（Ｂ）に示されるように、押圧ヘッド３２を直動モータ３１によって下方へ移動させると、剥離用テープＰＴが押し下げられ、剥離用テープＰＴがヒータ３１Ａによって加熱されて第１分割シートＳ１に接着する。その後、プレスローラ２７とガイド部材２５とで剥離用テープＰＴを挟み込み、シリンダ３７、３８を作動させてテープ受け板３６上でカッター刃３５により剥離用テープＰＴを切断する。

その後、多関節ロボット４６の作動により、図５（Ａ）の二点鎖線で示されるように、押さえ部材６８が切り込みＣに沿って位置するように当該押さえ部材６８を第２分割シートＳ２上に接触させる。

その後、図４（Ｃ）及び図５（Ｂ）に示されるように、第１分割シートＳ１に貼付された剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させることで、第１分割シートＳ１がウエハＷから剥離される。このとき、切り込みＣにおいて、各分割シートＳ１、Ｓ２の基材シートＢや接着剤層ＡＤが完全に分離されずに繋がっていたとしても、押さえ部材６８が第２分割シートＳ２を押さえていることで、第１分割シートＳ１に追従して第２分割シートＳ２が持ち上がることを防止することができる。

分割シートＳ１の剥離を終えると、剥離された第１分割シートＳ１とそれに貼付された剥離用テープＰＴは、図示しない回収手段によって回収される。次いで、第２分割シートＳ２を剥離すべく、多関節ロボット４６の作動により、浮上防止手段６６を第２分割シートＳ２上から退避させる。そして、第２分割シートＳ２の図５中右側外縁位置が押圧ヘッド３２の直下で停止するように、駆動手段４０により保持手段１１を図５（Ｃ）中上下及び左右方向に移動させる。その後、図５（Ｃ）及び（Ｄ）に示されるように、第１分割シートＳ１と同様に、第２分割シートＳ２にも剥離用テープＰＴが貼付されてウエハＷから剥離される。なお、第２分割シートＳ２を位置決めするときに、図６に示されるように、駆動手段４０を作動してウエハＷの中心を回転中心として保持手段１１を図６（Ｂ）中矢印方向に１８０°回転させるようにしてもよい。

両方の分割シートＳ１、Ｓ２の剥離を終えた後、図示しない搬送手段によりウエハＷが次工程に搬送される。そして、保持手段１１やチャック４１が初期位置に復帰し、多関節ロボット４６における保持チャック６４で浮上防止手段６６からカッター刃４３等に持ち替えた後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。

従って、このような第１実施形態によれば、接着シートＳを二分割して小型化した各分割シートＳ１、Ｓ２毎に剥離することができる。これにより、分割しない接着シートＳを剥離する場合に比べ、剥離時の剥離用テープＰＴに生じる引っ張り力を軽減することができ、剥離用テープＰＴが延びたり切断したりすることに起因する剥離不良を防止することが可能となる。

次に、本発明の前記以外の実施形態について説明する。なお、以下の説明において、各実施形態は、第１実施形態と同じシート剥離装置１０を用いるものであり、切り込みＣの形成位置及び又は各分割シートＳ１、Ｓ２の剥離方法を変更するものである。従って、前記第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、重複する説明或いは同様の説明を省略若しくは簡略とする。

［第２実施形態］
図７において、第２実施形態では、第１実施形態と同様に切り込みＣを形成した後、切り込みＣの図７（Ａ）中左端側が吸着ヘッド７５の直下で停止するように、駆動手段４０により保持手段１１を移動させる。次いで、吸着ヘッド７５を直動モータ７６によって下方へ移動させると、繋ぎテープＬＴが切り込みＣを跨いで各分割シートＳ１、Ｓ２に貼付される。次に、第１分割シートＳ１に貼付された剥離用テープＰＴとウエハＷとを反対方向に相対移動させ、当該第１分割シートＳ１を繋ぎテープＬＴと切り込みＣとの交差点Ｐまで剥離する（図７（Ｂ）参照）。その後、交差点Ｐを回転中心として、駆動手段４０により保持手段１１を回転移動させ、ウエハＷを３６０°回転して繋ぎテープＬＴ周りの各分割シートＳ１を剥離させる（図７（Ｃ）及び（Ｄ）参照）。次に、図７（Ｅ）に示されるように、剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させる。これにより、繋ぎテープＬＴを介して各分割シートＳ１、Ｓ２が一連に連なって剥離されるので、各分割シートＳ１、Ｓ２の回収を１回だけとすることができる他、剥離用テープＰＴの貼付も１回にすることができ、工程の簡略化及び迅速化を図ることができる。

［第３実施形態］
図８において、第３実施形態では、第１実施形態と同様に切り込みＣを形成し、第１分割シートＳ１を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープＰＴとウエハＷとの相対移動を停止させる。その後、切り込みＣの図８（Ｂ）中左端側が吸着ヘッド７５の直下で停止するように、駆動手段４０により保持手段１１を移動させ、直動モータ７６の作動により、切り込みＣを跨いで各分割シートＳ１、Ｓ２に繋ぎテープＬＴを貼付する。次に、図８（Ｃ）に示されるように、剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させる。本実施形態においても、繋ぎテープＬＴを介して各分割シートＳ１、Ｓ２が一連に連なって剥離することができる他、保持手段１１を回転移動させる工程を省略することができる。

［第４実施形態］
図９において、第４実施形態では、第１実施形態と同様に切り込みＣを形成し、第１分割シートＳ１における切り込みＣの同図中右端側に隣接する位置に剥離用テープＰＴを貼付させる。これにより、剥離用テープＰＴが切り込みＣの右端と第１分割シートＳ１の外周縁とで形成される角部ＣＮを含む領域に貼付される。その後、平面視で剥離用テープＰＴが切り込みＣから離れる方向すなわち図９（Ａ）及び（Ｂ）中矢印方向（第１方向）に剥離用テープＰＴとウエハＷとが相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させる一次剥離を行う。この一次剥離で所定量の第１分割シートＳ１を剥離した後、図９（Ｃ）に示されるように、剥離用テープＰＴとウエハＷとの相対移動方向を切り込みＣと平行な方向、すなわち同図中左右方向（第２方向）に変更して剥離させる二次剥離を行う。この二次剥離によって第１分割シートＳ１を完全に剥離させた後、当該第１分割シートＳ１と同様に、第２分割シートＳ２も一次剥離及び二次剥離を行って剥離させる。本実施形態によれば、剥離始めとなる一次剥離では、各分割シートＳ１、Ｓ２を角部ＣＮから剥離することができるので、剥離抵抗を軽減して剥離不良を防止でき、二次剥離では、剥離に要する力が軽減される方向に剥離を行うことが可能となる。

［第５実施形態］
図１０において、第５実施形態では、同図中左右方向に延びる切り込みＣを第１実施形態と同様にして２本形成し、接着シートＳを第１〜第３分割シートＳ１〜Ｓ３として形成させている。接着シートＳの剥離は、各分割シートＳ１〜Ｓ３毎に行われ、それぞれの分割シートＳ１〜Ｓ３の同図中右側領域に剥離用テープＰＴを貼付した後、当該剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させることにより行われる。剥離用テープＰＴの貼付にあっては、押圧ヘッド５０の直下で各分割シートＳ１〜Ｓ３の右側領域が位置するように、駆動手段４０によりウエハＷを移動させて位置決めさせる。

［第６実施形態］
図１１において、第６実施形態では、第５実施形態と同様に切り込みＣを形成させる。その後、同図中下方の切り込みＣの左端側及び上方の切り込みＣの右端側において、各繋ぎテープＬＴが切り込みＣを跨ぐように貼付させ、繋ぎテープＬＴを介して３枚の分割シートＳ１が繋がった状態とさせる。次に、第１分割シートＳ１の右側領域に剥離用テープＰＴを貼付させる。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させる。これにより、３枚の分割シートＳ１〜Ｓ３が繋ぎテープＬＴで一連に連なった状態で剥離することができる。

［第７実施形態］
図１２において、第７実施形態では、第５実施形態と同様に切り込みＣを形成し、第２分割シートＳ２を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープＰＴとウエハＷとの相対移動を停止させる。その後、２本の切り込みＣを跨いで、すなわち、剥離中の第２分割シートＳ２と、それ以外の２枚の分割シートＳ１、Ｓ３に亘って繋ぎテープＬＴを貼付する（図１２（Ｂ）参照）。次に、図１２（Ｃ）に示されるように、剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させ、３枚全ての分割シートＳ１〜Ｓ３を剥離する。なお、図中二点鎖線で示されるように、第２分割シートＳ２を剥離するときに、第１、第３分割シートＳ１、Ｓ３両方を押え付けることが可能な押さえ部材６８Ａを採用するとよい。

［第８実施形態］
図１３において、第８実施形態では、同図中左右方向及び上下方向に延びる切り込みＣを第１実施形態と同様にしてそれぞれ形成し、接着シートＳを第１〜第４分割シートＳ１〜Ｓ４として形成させている。接着シートＳの剥離は、それぞれの分割シートＳ１〜Ｓ４における円弧状の外縁中央部に剥離用テープＰＴを貼付した後、当該剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させることにより行われる。

［第９実施形態］
図１４において、第９実施形態では、第８実施形態と同様に切り込みＣを形成させる。その後、同図中上下に延びる切り込みＣの両端側と、同図中左右に延びる切り込みＣの左側において、繋ぎテープＬＴを切り込みＣを跨ぐように貼付し、各繋ぎテープＬＴを介して４枚の分割シートＳ１〜Ｓ４が繋がった状態とする。次に、第１分割シートＳ１の右側領域に剥離用テープＰＴを貼付する。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープＰＴとウエハＷとが反対方向に相対移動するように、駆動手段４０等を介してチャック４１及び保持手段１１を移動させる。これにより、４枚の分割シートＳ１〜Ｓ４が繋ぎテープＬＴで一連に連なった状態で剥離することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

前記切り込みＣの形成数、形成位置及び形状は、両端が基材シートＢの外縁にそれぞれ達して複数の分割シートＳ１を形成可能な限りにおいて、曲線状にする等種々の変更が可能である。例えば、図１５に示されるように、第１実施形態と同様にして２本の切り込みＣの同図中右端を同じ位置として各分割シートＳ１〜Ｓ３を形成したり、図１６に示されるように、基材シートＢの面内でＶ字状に屈曲する形状に切り込みＣを第１実施形態と同様にして形成し、２枚の分割シートＳ１、Ｓ２として剥離用テープＰＴを用いて剥離を行ってもよい。

また、図１７（Ａ）〜（Ｃ）に示されるように、第４実施形態で行った各分割シートＳ１、Ｓ２の剥離を２枚同時に行ってもよい。この場合、剥離用テープＰＴを把持するチャック４１と、これを駆動する駆動装置（図示省略）とをそれぞれ２体ずつ設ければよい。

更に、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。

また、前記カッター刃４３は、種々の設計変更が可能であり、平面形状が鋭利な角度をなすカッター刃等を用いてもよい。

更に、多関節ロボット４６の作動を停止させた状態で保持手段１１を移動させてカッター刃４３とウエハＷとを相対移動させてもよいし、多関節ロボット４６の作動と保持手段１１の移動とを同時に行って接着シートＳを切断してもよい。

また、接着シートＳの剥離動作は、前述のように剥離を行える限りにおいて、チャック４１の動作を停止させ、保持手段１１を移動させてもよいし、逆に保持手段１１の動作を停止させ、チャック４１を移動させてもよい。
更に、剥離用テープＰＴは、感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離用テープＰＴを切断するテープ切断手段３４は必須要件ではない。
更に、前記浮上防止手段１８を噴出エアによって構成し、切り込みＣを介して隣接する
他の分割シートをウエハＷ側に押圧するようにしてもよい。

１０シート剥離装置
１２繰出手段
１４貼付手段
１５移動手段
１６切断手段
１８浮上防止手段
ＡＤ接着剤層
Ｂ基材シート
Ｃ切り込み
ＰＴ剥離用テープ
Ｓ接着シート
Ｓ１〜Ｓ４第１〜第４分割シート（分割シート）
Ｗ半導体ウエハ（被着体）

Claims

被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に切り込みを形成する切断手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープとを相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、
前記切断手段は、両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成することで、前記接着シートを複数の分割シートとして形成可能に設けられ、前記接着シートの剥離初期部位となる当該切り込みの端部のみを前記被着体に達する深さとし、その他の切り込み部分を前記被着体に達することのない深さとなるように制御されることを特徴とするシート剥離装置。
剥離される分割シートに前記切り込みを介して隣接する他の分割シートが付随して剥離されることを規制可能な浮上防止手段を更に有することを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
前記貼付手段は、複数の分割シートそれぞれに剥離用テープを貼付可能に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成して接着シートを複数の分割シートとして形成する工程と、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを備え、
前記接着シートを複数の分割シートとして形成する工程において、当該接着シートの剥離初期部位となる前記切り込みの端部のみを前記被着体に達する深さとし、その他の切り込み部分を前記被着体に達することのない深さとする工程が行われることを特徴とするシート剥離方法。