JP5808544B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、接着シートの剥離により被着体が損傷することを回避でき、剥離に要する時間の短縮化を図ることができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、この繰出手段により繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離可能に設けられるとともに、当該接着シートの剥離中に被着体と剥離用テープとの相対移動速度を調整可能に設けられた移動手段と、前記各手段を制御する制御手段とを備え、
前記被着体及び接着シートの少なくとも一方の形状及び性質の少なくとも一方を検出可能な検出手段を含み、当該検出手段による検出をしたときに前記制御手段が前記接着シートの剥離中の前記相対移動速度を制御する、という構成を採っている。
また、前記被着体と接着シートの剥離縁を検知する検知手段が設けられ、当該検知手段の検知結果を基に前記制御手段が前記相対移動速度を制御可能に設けられるとよい。
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記被着体及び接着シートの少なくとも一方の形状及び性質の少なくとも一方を検出する工程と、
前記検出工程の検出をしたときに前記接着シートの剥離中の前記被着体と剥離用テープとの相対移動速度を調整しつつ当該接着シートを前記被着体から剥離する工程とを備える、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
更に、接着シートSの剥離開始端部や剥離終了端部以外に、例えば、被着体や接着シートSの形状の一部が他の領域に比べて細く形成されていたり、薄く形成されていたりする場合や、他の領域に比べて脆弱な材質で構成されているような場合にでも、それら領域における被着体と剥離用テープPTとの相対移動速度を、他の領域の相対移動速度よりも相対的に低速に設定して被着体の損傷回避と剥離時間の短縮とを両立させるようにしてもよい。
また、被着体や接着シートSの形状を検出可能なカメラやセンサ等の検出手段を設け、例えば、被着体や接着シートSの細くなっている部分を検出したときに、被着体と剥離用テープPTとの相対移動速度を、他の領域の相対移動速度よりも相対的に低速になるように制御してもよい。
更に、被着体や接着シートSの材質や厚み等の性質を検出可能な赤外線カメラや超音波センサ等の検出手段を設け、例えば、被着体や接着シートSの脆質部分や厚みが薄くなっている部分を検出したときに、被着体と剥離用テープPTとの相対移動速度を、他の領域の相対移動速度よりも相対的に低速になるように制御したりしてもよい。
11 支持手段
12 繰出手段
13 貼付手段
14 移動手段
16 制御手段
60 検知手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、この繰出手段により繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記被着体と剥離用テープとを相対移動させて被着体から接着シートを剥離可能に設けられるとともに、当該接着シートの剥離中に被着体と剥離用テープとの相対移動速度を調整可能に設けられた移動手段と、前記各手段を制御する制御手段とを備え、
前記被着体及び接着シートの少なくとも一方の形状及び性質の少なくとも一方を検出可能な検出手段を含み、当該検出手段による検出をしたときに前記制御手段が前記接着シートの剥離中の前記相対移動速度を制御することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記制御手段は、前記被着体と剥離用テープとの相対位置を認識可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記被着体と接着シートの剥離縁を検知する検知手段が設けられ、当該検知手段の検知結果を基に前記制御手段が前記相対移動速度を制御可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 被着体の被着面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を支持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する工程と、
前記被着体及び接着シートの少なくとも一方の形状及び性質の少なくとも一方を検出する工程と、
前記検出工程の検出をしたときに前記接着シートの剥離中の前記被着体と剥離用テープとの相対移動速度を調整しつつ当該接着シートを前記被着体から剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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