JP5378089B2 - 保護テープ剥離装置 - Google Patents
保護テープ剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5378089B2 JP5378089B2 JP2009168149A JP2009168149A JP5378089B2 JP 5378089 B2 JP5378089 B2 JP 5378089B2 JP 2009168149 A JP2009168149 A JP 2009168149A JP 2009168149 A JP2009168149 A JP 2009168149A JP 5378089 B2 JP5378089 B2 JP 5378089B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- tape
- protective tape
- holding
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
11 吸引保持部
12 枠体
3 剥離テープ貼着手段
31 剥離テープ
32 カッター
34 剥離テープ位置付け機構
35 圧着部材
4 制御手段
51 吸引機構
52 回転駆動機構
53 保持手段移動機構
54 カッター送り機構
56 圧着部材送り機構
57 熱付与機構
58 高さ位置検出機構
6 記憶手段
2 ワーク
23 保護テープ
Claims (1)
- 表面に保護テープが貼着されたワークを保持する保持面を有する保持手段と、熱によって剥離テープの粘着面に粘着性を生じさせて前記保護テープに前記剥離テープを貼着する剥離テープ貼着手段と、前記保持面と前記保護テープに貼着した前記剥離テープとを相対的に移動させて前記剥離テープを介して前記保護テープを前記ワークの表面から剥離する剥離駆動手段と、を備えた保護テープ剥離装置であって、
前記保持手段は、
導電性を有し、前記保持面の外周側に前記保持面と同一平面の基準面を形成する枠体と、
前記保持面に直交する回転軸を軸中心として前記保持手段を回転させる回転駆動機構と、
を有し、予め定められる基準向きを向いた状態で、搬入向きが前記保持手段の進入方向に向かうように搬入された前記ワークが保持されて、前記剥離テープ貼着手段の下方に進入するものであり、
前記剥離テープ貼着手段は、
予め定められる前記保護テープの剥離方向に応じた前記基準面の位置上方に、前記粘着面が前記保護テープと対向するように前記剥離テープを位置付ける剥離テープ位置付け機構と、
少なくとも押圧端面が導電性を有し、前記剥離テープ位置付け機構によって位置付けられた前記剥離テープを前記押圧端面によって前記粘着面と反対側の非貼着面側から押圧して前記保護テープに貼着する圧着部材と、
前記圧着部材に熱を与える熱付与機構と、
前記圧着部材を前記基準面に対して進退移動させる圧着部材送り機構と、
を有し、
前記保護テープの剥離位置に応じた前記基準面の位置を設定値として予め記憶する記憶部と、
前記ワークが保持されていない状態で前記剥離テープ貼着手段の下方に進入した前記基準向きを向いた状態の前記保持手段を、前記回転駆動機構により前記設定値に基づいて回転させることで、前記保護テープの剥離方向に応じた前記基準面の位置を前記圧着部材の鉛直下方に移動させ、前記保護テープの剥離方向に応じた前記基準面の位置と前記圧着部材との接触による通電を検知することによって、前記剥離方向に応じた前記基準面の高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
前記剥離方向に応じた前記基準面の高さ位置と、予め定められる前記ワーク、前記保護テープおよび前記剥離テープの厚みとをもとに、前記押圧端面によって前記非粘着面を押圧する際の前記圧着部材送り機構の駆動量を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする保護テープ剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168149A JP5378089B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープ剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168149A JP5378089B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープ剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011023606A JP2011023606A (ja) | 2011-02-03 |
JP5378089B2 true JP5378089B2 (ja) | 2013-12-25 |
Family
ID=43633406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009168149A Active JP5378089B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープ剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5378089B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5808544B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2015-11-10 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP7235551B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-03-08 | 株式会社ディスコ | 剥離テープ圧着装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0751221Y2 (ja) * | 1990-07-31 | 1995-11-22 | 京セラ株式会社 | 真空チャック |
JPH06151586A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-31 | Sony Corp | ダイシング方法および装置 |
JP3865872B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2007-01-10 | 京セラ株式会社 | 真空吸着保持装置 |
JP2004128147A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハからの保護テープ除去方法およびその装置 |
JP2004165570A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハからの保護テープ除去方法およびその装置 |
JP2005175384A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Nitto Denko Corp | 保護テープの貼付方法及び剥離方法 |
JP2007329315A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
JP4666514B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2011-04-06 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP4986567B2 (ja) * | 2006-10-10 | 2012-07-25 | 三井金属鉱業株式会社 | セラミックセンサ |
JP4693817B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2011-06-01 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハへの粘着テープ貼付け方法および保護テープの剥離方法 |
JP4964070B2 (ja) * | 2007-09-10 | 2012-06-27 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 |
JP5130112B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2013-01-30 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
-
2009
- 2009-07-16 JP JP2009168149A patent/JP5378089B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011023606A (ja) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4204653B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP2003209082A (ja) | 保護テープの貼付方法およびその装置並びに保護テープの剥離方法 | |
CN108022876B (zh) | 晶片的加工方法 | |
JP6122311B2 (ja) | 粘着テープ切断方法および粘着テープ片切断装置 | |
US11712747B2 (en) | Wafer processing method | |
JP4407933B2 (ja) | 粘着テープ貼付方法およびこれを用いた装置 | |
JP2006156633A (ja) | 脆質部材の処理装置 | |
JP5378089B2 (ja) | 保護テープ剥離装置 | |
JP2000331963A (ja) | ウェーハフレームへのウェーハ取付方法と装置及びそれを組込んだ平面加工装置 | |
JP5520129B2 (ja) | シート剥離装置 | |
CN107017186B (zh) | 片材粘附装置及粘附方法 | |
JP4204658B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP6633446B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP4642057B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP5453035B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
JP4759629B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP5534923B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5808544B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5564409B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5623056B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4342600B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP2020068322A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5421749B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011114274A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120612 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130925 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5378089 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |