JP2011114274A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
シート剥離装置及び剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011114274A JP2011114274A JP2009271422A JP2009271422A JP2011114274A JP 2011114274 A JP2011114274 A JP 2011114274A JP 2009271422 A JP2009271422 A JP 2009271422A JP 2009271422 A JP2009271422 A JP 2009271422A JP 2011114274 A JP2011114274 A JP 2011114274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- sheet
- tape
- divided
- adhesive sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】シート剥離装置10は、ウエハWの一方の面に貼付された接着シートSを剥離用テープPTを介してウエハWから剥離する。接着シートSは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを含む。接着シートSは、基材シートの外縁に両端がそれぞれ達する切り込みを備えて複数の分割シートを形成する。シート剥離装置10は、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、接着シートSに剥離用テープPTを貼付する貼付手段14と、ウエハWと剥離用テープPTと相対移動させることで接着シートSを剥離可能な移動手段15とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に両端がそれぞれ達する切り込みを有し、複数の分割シートとして剥離可能とされ、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備える、という構成を採っている。
前記貼付手段は、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付可能に設けられる、という構成を採ってもよい。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に両端がそれぞれ達する切り込みを有し、複数の分割シートとして剥離可能とされ、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
前記剥離用テープを貼付する工程では、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付し、
前記接着シートを剥離する工程では、何れか1の分割シートに続いて繋ぎテープを介して他の分割シートを剥離する、という方法を採用してもよい。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、図1を基準として用いる。
図1〜図3において、シート剥離装置10は、被着体としてのウエハWを保持する保持手段11と、帯状の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、ウエハWの回路面となる一方の面(上面)に貼付された接着シートSに剥離用テープPTを貼付する貼付手段14と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと保持手段11に保持されたウエハWとを相対移動させる移動手段15と、接着シートSの上面側に位置可能な浮上防止手段16と、接着シートSに繋ぎテープLTを貼付する繋ぎテープ貼付手段17とを備えて構成されている。なお、剥離用テープPTは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用している。また、接着シートSは、基材シートBと、この基材シートBの一方の面すなわち下面に設けられた接着剤層ADとを備え、この接着剤層ADを介してウエハW上面に貼付されている。接着シートSには、切り込みC(図3参照)が形成されている。本実施形態では、接着シートSは、接着シートSの中央を通り、その両端が基材シートBの外縁にそれぞれ達する切り込みCを有し、この切り込みCに沿って保護シートSを切断することによって、当該接着シートSを第1及び第2分割シートS1、S2として剥離可能となっている。
図5において、第2実施形態では、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させた後、切り込みCの図5(A)中左端側が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させる。次いで、吸着ヘッド75を直動モータ76によって下方へ移動させると、繋ぎテープLTが切り込みCを跨いで各分割シートS1、S2に貼付される。次に、第1分割シートS1に貼付された剥離用テープPTとウエハWとを反対方向に相対移動させ、当該第1分割シートS1を繋ぎテープLTと切り込みCとの交差点Pまで剥離する(図5(B)参照)。その後、交差点Pを回転中心として、駆動手段40により保持手段11を回転移動させ、ウエハWを360°回転して繋ぎテープLT周りの各分割シートS1を剥離させる(図5(C)及び(D)参照)。次に、図5(E)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、繋ぎテープLTを介して各分割シートS1、S2が一連に連なって剥離されるので、各分割シートS1、S2の回収を1回だけとすることができる他、剥離用テープPTの貼付も1回にすることができ、工程の簡略化及び迅速化を図ることができる。
図6において、第3実施形態では、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させた後、第1分割シートS1を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープPTとウエハWとの相対移動を停止させる。その後、切り込みCの図6(B)中左端側が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させ、直動モータ76の作動により、切り込みCを跨いで各分割シートS1、S2に繋ぎテープLTを貼付する。次に、図6(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。本実施形態においても、繋ぎテープLTを介して各分割シートS1、S2が一連に連なって剥離することができる他、保持手段11を回転移動させる工程を省略することができる。
図7において、第4実施形態では、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させた後、第1分割シートS1における切り込みCの同図中右端側に隣接する位置に剥離用テープPTを貼付させる。これにより、剥離用テープPTが切り込みCの右端と第1分割シートS1の外周縁とで形成される角部CNを含む領域に貼付される。その後、平面視で剥離用テープPTが切り込みCから離れる方向すなわち図7(A)及び(B)中矢印方向(第1方向)に剥離用テープPTとウエハWとが相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる一次剥離を行う。この一次剥離で所定量の第1分割シートS1を剥離した後、図7(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとの相対移動方向を切り込みCと平行な方向、すなわち同図中左右方向(第2方向)に変更して剥離させる二次剥離を行う。この二次剥離によって第1分割シートS1を完全に剥離させた後、当該第1分割シートS1と同様に、第2分割シートS2も一次剥離及び二次剥離を行って剥離させる。本実施形態によれば、剥離始めとなる一次剥離では、各分割シートS1、S2を角部CNから剥離することができるので、剥離抵抗を軽減して剥離不良を防止でき、二次剥離では、剥離に要する力が軽減される方向に剥離を行うことが可能となる。
図8において、第5実施形態では、予め切り込みCが2本形成されており、これら2本の切り込みCによって、接着シートSを第1〜第3分割シートS1〜S3として剥離可能に設けられている。接着シートSの剥離は、第1実施形態と同様にリングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させた後、各分割シートS1〜S3毎に行われる。つまり、それぞれの分割シートS1〜S3の同図中右側領域に剥離用テープPTを貼付した後、当該剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。剥離用テープPTの貼付にあっては、押圧ヘッド50の直下で各分割シートS1〜S3の右側領域が位置するように、駆動手段40によりウエハWを移動させて位置決めさせる。
図9において、第6実施形態では、第5実施形態と同様に切り込みCが2本形成された接着シートSが剥離対象とされ、リングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させる。その後、同図中下方の切り込みCの左端側及び上方の切り込みCの右端側において、各繋ぎテープLTが切り込みCを跨ぐように貼付させ、繋ぎテープLTを介して3枚の分割シートS1が繋がった状態とさせる。次に、第1分割シートS1の右側領域に剥離用テープPTを貼付させる。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、3枚の分割シートS1〜S3が繋ぎテープLTで一連に連なった状態で剥離することができる。
図10において、第7実施形態では、第5実施形態と同様に切り込みCが2本形成された接着シートSが剥離対象とされ、リングフレームRFと一体化されたウエハWを保持手段11の上面に吸着保持させる。その後、第2分割シートS2を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープPTとウエハWとの相対移動を停止させる。その後、2本の切り込みCを跨いで、すなわち、剥離中の第2分割シートS2と、それ以外の2枚の分割シートS1、S3に亘って繋ぎテープLTを貼付する(図10(B)参照)。次に、図10(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させ、3枚全ての分割シートS1〜S3を剥離する。なお、図中二点鎖線で示されるように、第2分割シートS2を剥離するときに、第1、第3分割シートS1、S3両方を押え付けることが可能な押さえ部材68Aを採用するとよい。
図11において、第8実施形態では、予め同図中左右方向及び上下方向に延びる切り込みCが形成されており、これら2本の切り込みCによって、接着シートSを第1〜第4分割シートS1〜S4として剥離可能に設けられている。接着シートSの剥離は、それぞれの分割シートS1〜S4における円弧状の外縁中央部に剥離用テープPTを貼付した後、当該剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させることにより行われる。
図12において、第9実施形態では、第8実施形態と同様に切り込みCが形成されている。そして、同図中上下に延びる切り込みCの両端側と、同図中左右に延びる切り込みCの左側において、繋ぎテープLTを切り込みCを跨ぐように貼付し、各繋ぎテープLTを介して4枚の分割シートS1〜S4が繋がった状態とする。次に、第1分割シートS1の右側領域に剥離用テープPTを貼付する。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、4枚の分割シートS1〜S4が繋ぎテープLTで一連に連なった状態で剥離することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離用テープPTを切断するテープ切断手段34は必須要件ではない。
更に、前記浮上防止手段18を噴出エアによって構成し、切り込みCを介して隣接する他の分割シートをウエハW側に押圧するようにしてもよい。
12 繰出手段
14 貼付手段
15 移動手段
16 浮上防止手段
17 繋ぎテープ貼付手段
40 駆動手段(位置決め手段、回転手段)
AD 接着剤層
B 基材シート
C 切り込み
CN 角部
LT 繋ぎテープ
PT 剥離用テープ
S 接着シート
S1〜S4 第1〜第4分割シート(分割シート)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (11)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に両端がそれぞれ達する切り込みを有し、複数の分割シートとして剥離可能とされ、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 剥離される分割シートに前記切り込みを介して隣接する他の分割シートが付随して剥離されることを規制可能な浮上防止手段を更に有することを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記貼付手段は、複数の分割シートそれぞれに剥離用テープを貼付可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 前記切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する繋ぎテープ貼付手段を更に備え、
前記貼付手段は、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。 - 前記切り込みを検出する検出手段を備え、当該検出手段の検出結果に基づき貼付手段による剥離用テープの貼付位置が決定可能に設けられていることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のシート剥離装置。
- 前記移動手段は、第1方向に前記相対移動を行う一次剥離を行った後、前記第1方向とは別の第2方向に前記相対移動を行う二次剥離を行って接着シートを剥離することを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のシート剥離装置。
- 前記被着体と貼付手段との相対位置を、被着体の一方の面に平行な面内で調整して位置決め可能な位置決め手段を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載のシート剥離装置。
- 前記被着体と、接着シートに貼付された剥離用テープとを相対回転させる回転手段を更に備えていることを特徴とする請求項1ないし7の何れかに記載のシート剥離装置。
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、基材シートの外縁に両端がそれぞれ達する切り込みを有し、複数の分割シートとして剥離可能とされ、
繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで接着シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。 - 前記剥離する工程を行う前に、切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する工程を行い、
前記剥離用テープを貼付する工程では、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付し、
前記接着シートを剥離する工程では、何れか1の分割シートに続いて繋ぎテープを介して他の分割シートを剥離することを特徴とする請求項9記載のシート剥離方法。 - 剥離される分割シートに前記切り込みを介して隣接する他の分割シートが付随して剥離されることを規制するように、当該他の分割シートを被着体側に押さえ付けた状態で接着シートを剥離することを特徴とする請求項9又は10記載のシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271422A JP5421748B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009271422A JP5421748B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011114274A true JP2011114274A (ja) | 2011-06-09 |
JP5421748B2 JP5421748B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=44236357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009271422A Active JP5421748B2 (ja) | 2009-11-30 | 2009-11-30 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5421748B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7463131B2 (ja) | 2020-03-02 | 2024-04-08 | リンテック株式会社 | シート剥離方法およびシート剥離装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6730879B2 (ja) * | 2016-08-18 | 2020-07-29 | 株式会社ディスコ | 剥離方法及び剥離装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085360A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-03-30 | Lintec Corp | 電子部品の貼着方法およびそのための粘着テープの切り込み形成方法 |
JP2001242448A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Seiko Epson Corp | 偏光板の剥離方法及びこれを用いた液晶装置の製造方法 |
JP2004079743A (ja) * | 2002-08-16 | 2004-03-11 | Nec Kansai Ltd | 半導体基板の表面保護用の粘着テープ及びその剥離方法 |
JP2008239823A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Shizuka Kajiwara | シート連結具、シート連結具セット |
JP2008288485A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2009088357A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Toyota Motor Corp | 保護テープの除去装置と除去方法 |
-
2009
- 2009-11-30 JP JP2009271422A patent/JP5421748B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085360A (ja) * | 1999-09-09 | 2001-03-30 | Lintec Corp | 電子部品の貼着方法およびそのための粘着テープの切り込み形成方法 |
JP2001242448A (ja) * | 2000-03-01 | 2001-09-07 | Seiko Epson Corp | 偏光板の剥離方法及びこれを用いた液晶装置の製造方法 |
JP2004079743A (ja) * | 2002-08-16 | 2004-03-11 | Nec Kansai Ltd | 半導体基板の表面保護用の粘着テープ及びその剥離方法 |
JP2008239823A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Shizuka Kajiwara | シート連結具、シート連結具セット |
JP2008288485A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2009088357A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Toyota Motor Corp | 保護テープの除去装置と除去方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7463131B2 (ja) | 2020-03-02 | 2024-04-08 | リンテック株式会社 | シート剥離方法およびシート剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5421748B2 (ja) | 2014-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5113599B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2012059928A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5421746B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5558840B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012004290A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2010147123A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
TW201637875A (zh) | 薄片供給裝置及薄片供給方法 | |
JP5421748B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
TWI713138B (zh) | 薄片黏貼裝置及黏貼方法與黏著薄片料捲 | |
JP2012059929A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5690895B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5690896B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
JP5421749B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5572253B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5093852B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5572254B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5534923B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5564411B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5453035B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5421747B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2020120026A (ja) | シート製造装置およびシート製造方法 | |
JP5564409B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP7129447B2 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 | |
JP7360812B2 (ja) | シート支持装置およびシート支持方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120731 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130815 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130820 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131017 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5421748 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |