JP4642057B2 - シート剥離装置および方法 - Google Patents
シート剥離装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4642057B2 JP4642057B2 JP2007268059A JP2007268059A JP4642057B2 JP 4642057 B2 JP4642057 B2 JP 4642057B2 JP 2007268059 A JP2007268059 A JP 2007268059A JP 2007268059 A JP2007268059 A JP 2007268059A JP 4642057 B2 JP4642057 B2 JP 4642057B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive tape
- sheet
- tape
- peeling
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
図2)が取り付けられ、これにより摩擦板を介してリール301の回転軸に摩擦力が与えられている。
図2に示すように、台部100には基板101が設置され、この基板101上に固定されたシリンダ325によってテープ繰出し部300がZ軸方向に移動する。
200 テーブル部
300 テープ繰出し部
400 剥がしヘッド部
500 ヒーターカッター部
505 ヒーター工具
515 カッター
W 半導体ウェハ
F 保護シート
T 接着テープ
Claims (5)
- 移動可能に設けられた板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、前記接着テープを前記シートの端部に接着する接着手段と、前記接着手段により接着された接着テープを保持して移動させる移動手段とを備え、前記移動手段は、前記接着テープを前記板状部材の移動方向に対して逆方向に同時に移動させて前記シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
- 板状部材に貼付された保護シートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、前記板状部材を載置するテーブルと、前記接着テープを繰出すテープ繰出し手段と、繰出された接着テープを前記保護シートの端部に接着する接着手段と、接着された接着テープを保持して移動させる移動手段とを備え、前記テーブルと前記移動手段によって前記接着テープと前記板状部材とを逆方向に同時に移動させて前記保護シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
- 前記テープ繰出し手段から繰出された接着テープを所定長に切断する切断手段を設けた請求項2に記載のシート剥離装置。
- 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法において、前記接着テープを前記シートの端部に接着し、前記接着テープと前記板状部材とを逆方向に同時に移動させて前記シートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。
- 板状部材に貼付されたシートを接着テープを前記シートに接着し前記接着テープと前記板状部材とを逆方向に同時に移動させて前記シートを剥離するシート剥離方法において、前記接着テープとして感熱性接着テープを使用したことを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007268059A JP4642057B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | シート剥離装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007268059A JP4642057B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | シート剥離装置および方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18066997A Division JP4204653B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | シート剥離装置および方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010179222A Division JP2010267999A (ja) | 2010-08-10 | 2010-08-10 | シート剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008072134A JP2008072134A (ja) | 2008-03-27 |
JP4642057B2 true JP4642057B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=39293389
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007268059A Expired - Lifetime JP4642057B2 (ja) | 2007-10-15 | 2007-10-15 | シート剥離装置および方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4642057B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011040419A (ja) | 2008-05-22 | 2011-02-24 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びそのための装置 |
JP5159566B2 (ja) * | 2008-11-06 | 2013-03-06 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62167177A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Toray Ind Inc | カバ−シ−トの剥離装置 |
JPS63288721A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | プリプレグの離型紙剥離装置 |
JPH01272129A (ja) * | 1987-11-28 | 1989-10-31 | Nitto Denko Corp | 保護フイルムの剥離方法 |
JPH0367442U (ja) * | 1989-11-07 | 1991-07-01 | ||
JPH04154109A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Fujitsu Ltd | 保護テープ剥離装置及び保護テープ剥離方法 |
JPH0859068A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-05 | Nippon Signal Co Ltd:The | シート状部材の剥離装置 |
-
2007
- 2007-10-15 JP JP2007268059A patent/JP4642057B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62167177A (ja) * | 1986-01-17 | 1987-07-23 | Toray Ind Inc | カバ−シ−トの剥離装置 |
JPS63288721A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | プリプレグの離型紙剥離装置 |
JPH01272129A (ja) * | 1987-11-28 | 1989-10-31 | Nitto Denko Corp | 保護フイルムの剥離方法 |
JPH0367442U (ja) * | 1989-11-07 | 1991-07-01 | ||
JPH04154109A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Fujitsu Ltd | 保護テープ剥離装置及び保護テープ剥離方法 |
JPH0859068A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-05 | Nippon Signal Co Ltd:The | シート状部材の剥離装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008072134A (ja) | 2008-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4204653B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP4166920B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
US6149758A (en) | Sheet removing apparatus and method | |
JP4698517B2 (ja) | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 | |
JP2003209082A (ja) | 保護テープの貼付方法およびその装置並びに保護テープの剥離方法 | |
WO2006051684A1 (ja) | シート切断方法及びマウント方法 | |
JP2006156633A (ja) | 脆質部材の処理装置 | |
CN109103126B (zh) | 贴片装置及粘贴方法 | |
JP4642057B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP4759629B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP4204658B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
CN107636821B (zh) | 片材剥离装置及剥离方法 | |
CN107615475B (zh) | 片材剥离装置及剥离方法 | |
JP4342600B2 (ja) | シート剥離装置および方法 | |
JP4060641B2 (ja) | テープ剥離方法 | |
JP5520129B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP5449937B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5453035B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5378089B2 (ja) | 保護テープ剥離装置 | |
JP2010267999A (ja) | シート剥離装置 | |
JP2012028814A (ja) | シート剥離装置 | |
JP6431794B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP5564097B2 (ja) | シート貼り換え装置及びシート貼り換え方法 | |
JP7382719B2 (ja) | シート切断装置およびシート切断方法 | |
JP5421749B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |