JPH01272129A - 保護フイルムの剥離方法 - Google Patents

保護フイルムの剥離方法

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JPH01272129A
JPH01272129A JP63285480A JP28548088A JPH01272129A JP H01272129 A JPH01272129 A JP H01272129A JP 63285480 A JP63285480 A JP 63285480A JP 28548088 A JP28548088 A JP 28548088A JP H01272129 A JPH01272129 A JP H01272129A
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    • Y10T156/1179—Gripping and pulling work apart during delaminating with poking during delaminating [e.g., jabbing, etc.]

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用半導体ウェハの上面に
貼付した粘着フィルムからなる保護フィルムを自動的に
剥離する保護フィルムの剥離方法に関するものである。
〔従来の技術〕
このようなウェハの場合、表面に保護フィルムを貼付し
て保護したのち、フィルムを貼付していない側を水流を
併用して研磨するなどの作業を行ない、その後不用にな
った保護フィルムを剥離しなければならない。
〔発明が解決しようとする課題〕
ウェハの表面に貼付した粘着性の保護フィルムを粘着テ
ープの粘着力を利用して同上ウェハから剥離する方法は
種々提案されているが、これらの従来方法は、剥離用の
粘着テープを貼付ローラによりウェハ上の保護フィルム
の上面の全長に亘って貼着したのち剥離するという方法
が行われていたので、貼付ローラがウェハ全体を押圧す
るためウェハの破損が多く、また、剥離用の粘着テープ
をウェハ上に貼付する部分と、貼着後の粘着テープを剥
離する部分が前後に並ぶので、この方法を実施する装置
が大型化するという問題もあった。
〔課題を解決するための手段〕
上記の課題を解決するために、この発明は上面に保護フ
ィルムを貼付したウェハをテーブル上に搬送して固定し
、ついで、貼付ローラにより粘着テープをウェハ上の保
護フィルムの後端上に圧着したのち、貼付ローラを浮か
せて前方へ移動させ、ついで、剥離ユニットを後方から
前方に移動させて粘着テープとともに保護フィルムをウ
ェハから剥離し、そののち、ウェハをテーブル上から送
り出すことを特徴とする保護フィルムの剥離方法を提供
するものである。
また、上記の方法において、粘着テープをウェハ上の保
護フィルムの後端上に圧着したのち、貼付ローラを浮か
せて前方へ移動させつつ剥離ユニットを後方から前方に
移動させて粘着テープとともに保護フィルムをウェハか
ら剥離する方法や粘着テープをウェハ上の保護フィルム
の後端上に圧着したのち、貼付ローラを浮かせて前方へ
移動させ、ウェハの前寄りまたは前方で貼付ローラを下
降させて粘着テープを保護フィルムの前端上あるいはウ
ェハの前方のテーブル上に接触させたのち、または接触
させなからウェハをテーブル上から送り出す方法なども
提供する。
〔実施例〕
図面はこの発明方法を実施する装置の一例を示すもので
、第１図の１はフレームで、その下部寄りには搬送手段
として左右一対の無端搬送ベルト２を配置し、このベル
ト２を図示省略しである駆動手段により矢印方向に間欠
駆動し、かつ、上下２段に変位し得るようにする。
３は真空吸引式テーブルで、適宜の駆動手段により上下
２段に変位し得るものである。
上記テーブル３には、第２図、第３図のように左右の搬
送ベルト２が入る左右一対の深い溝４を設け、この両溝
４の外側のテーブル３上には複数のガイド取付溝５が平
行に設けである。
上記各取付溝５にはウェハガイド６を着脱自在に装着し
てテーブル３上のウェハ８の両側の左右の位置決めを行
なうようにしである。
１０はテーブル３の前側の凹入部１１内に配置したブラ
ケットで、このブラケット１０上には位置決め手段とし
て３本の位置決め用の回転棒１２．１３．１４を回転自
在に取付け、この各棒に無端ベルトをかけて、各棒１２
．１３．１４が、第３図の矢印方向に等速回転するよう
にし、かつ、中央の回転棒１３を若干前寄りにしてウェ
ハ８の円周部が各回転棒１２．１３．１４に均等に接触
すようにする。
第１図のフレーム１の正面には、制動装置を有する巻軸
１７と駆動装置により矢印方向に駆動される巻取軸１８
をそれぞれ取付けて、巻軸１７には剥離用の粘着テープ
２０を巻き、前記ウェハ８から剥離した保護フィルム９
が付着した粘着テープ２０は巻取軸１８に巻取るように
する。
第１図の２１は図示省略しである適宜の駆動手段により
前後方向（第１図に向って左を前、右を後とする）に移
動する貼付ユニットで、このユニット２１にはゴムなど
の柔軟な材料からなる貼付ローラ２３とガイドローラ２
４を設ける。また、この貼付ユニット２１はエアシリン
ダなどにより上下２段に変位するようになっている。
２２は上記貼付ユニット２１とは別の駆動手段により前
後方向に移動する剥離ユニットで、上下一対のローラ２
５の下部にビーリングローラ２６を設けたものである。
前記貼付ローラ２３は前記テーブル３上のガイド６の間
隔より狭い巾のものであり、ビーリングローラ２６は広
巾である。
また、第１図において、３０は紫外線照射装置で、ウェ
ハ８上に貼付しである保護フィルムとして、最初は接着
力が強く、紫外線を照射すると、三次元網状化して接着
力が低下するという性質の接着剤層を有するフィルムを
用いた場合に用いるものである。
その他、第１図中の３１はウェハの受入用無端搬送ベル
ト、３２はウェハの送り出し用無端搬送ベルトであり、
３３．３４はフレーム１の正面に設けたガイドローラで
ある。
つぎに上記装置を用いた保護フィルムの剥離方法につい
て説明する。
図示省略しであるが、第１図に向って右方となる後方に
は保護フィルムを上面に貼付し、所定の加工工程を終了
した多数のウェハを多段状に収納したマガジンがある。
いま、第１図の巻取軸１８および巻軸１７が停止した状
態において、前記マガジンから１枚のウェハ８が搬送ベ
ルト３１を経て搬送ベルト２上へ供給される。
また、上記のベルト３１上にウェハ８があるとき、必要
に応じて前記照射装置３０から紫外線を照射する。
上記のウェハ供給時においてベルト２およびテーブル３
は第２図の実線および第４図のように下降位置にあって
、ベルト２の上側がテーブル３の上面より若干高くなっ
ており、位置決め用の回転棒１２．１３．１４の上端は
ベルト２の上方に出ているから、ベルト２上へ供給され
たウェハ８は第２図の実線、第４図のようにテーブル３
上のガイド６間に入り、回転棒１２．１３．１４に当っ
て停止する。
このとき、回転棒１２．１３．１４は第３図の矢印のよ
うに回転しているから、ウェハ８の弧状の縁が上記回転
棒１２．１３．１４の外周に接すると、ウェハ８は同じ
方向に回っている隣接した２木の棒１２．１３との摩擦
により回転し、ウェハ８の一部に設けた直線状のオリエ
ンテーションフラット７が棒１２．１３．１４の部分に
くると中央の棒１３がオリエンテーションフラット７か
ら離れ、同オリエンテーシッンフラット７の両端は相反
する方向に回転している捧１２．１４が接するのでウェ
ハ８の回転はこの位置で止り、位置決めされる。
つぎにテーブル３が第２図の鎖線すなわち第５図の位置
まで上り、テーブル３の上面がベルト２の上側より上に
なり、位置決めされたウェハ８はベルト２上からテーブ
ル３上に載せかえられる。
上記のようにウェハ８がテーブル上に載ると、真空吸引
手段が働き、テーブル３上の真空吸引口がウェハ８を吸
着してテーブル３上に固定し貼付ローラ２３の下側の粘
着テープ２０にウェハ８が接近する。
ついで、上昇位置にあった貼付ユニット２１が下降して
前方へ移動し始めると第７図、第９図のように粘着テー
プ２０がウェハ８の後端上面に接触してその下面の粘着
面によりウェハ８上の保護フィルム９の後端上面に接着
する。
つぎに第８図、第１０図のように貼付ユニット２１が貼
付ローラ２３とともに若干上昇して前方へ前進していく
と、貼付ローラ２３による粘着テープ２０の押圧は解か
れ、同粘着テープ２０は保護フィルムＳから離れるか、
または自重で下って軽く接触する状態となって第１１図
のように保護フィルムＳ上に展開される。
つぎに剥離ユニット２２が移動を始めると、第１２図、
第１３図のようにテープ２０が保護フィルム９とともに
剥離される。
上記の作用により保護フィルム９が完全に剥離されると
、テーブル３を第２図の実線の位置まで下げ、ベルト２
はそのままとすると第２図の実線および第６図のように
保護フィルム剥離後のウェハ８はベルト２で支持された
状態となる。
また、このとき、ブラケット１０を下げて回転棒１２．
１３．１４をベルト２より下にする。
一方貼付ローラ２３は上昇位置にあり、ウェハ８に粘着
テープ２０が接触するおそれはないから、この状態でベ
ルト２を駆動し、ウェハ８を送り出し用の搬送ベルト３
２により左方の図示省略しであるマガジンに送り込む。
そののち、巻軸１７を自由回転とし、巻取軸１８を回転
させて貼付ユニット２１と剥離ユニット２２を第１４図
のように元の位置に戻し、テープ２０の送り出しと巻取
りを行なう。
上記の作用の繰返しによりつぎつぎとウェハ８上の保護
フィルム９が粘着テープ２０の粘着力により剥離される
。
上記実施例は第１０図、第１１図に示すように貼付ユニ
ット２１を上昇位置にしたままでウェハ８上を通過させ
ている。
このような方法の場合、ウェハ８の前端部分において、
テープ２０がウェハ８上の保護フィルムＳ上より浮いて
いる場合があり、この状態でテープ２０とともに保護フ
ィルム９を剥離すると、まれではあるが、ウェハ８の前
端が浮き上ってウェハ８が割れる場合がある。
第１５図および第１９図は上記の点に鑑みて、貼付ユニ
ット２１がウェハ８の前端近くになったとき、貼付ユニ
ット２１を下降させる場合を示している。
上記の場合は、テープ２０をウェハ８の前部の保護フィ
ルムＳ上に貼付したユニット２１は、第１６図のように
下降位置となって、テープ２０でウェハ８を押えながら
前進し、引き続いて剥離ユニット２２が前進してテープ
２０とともに保護フィルム９を剥離していくのでウェハ
８は浮き上るおそれはない。
第１７図、第２０図は、ウェハ８の前方で貼付ユニット
２１を下降させ、テーブル３上にテープ２０を貼付する
。
この場合、テープ２０をテーブル３上に貼付したユニッ
ト２１は、第１８図のように下降位置のまま前進し、そ
のあとから剥離ユニット２２が前進してテープ２０とと
もに保護フィルム９を剥離してゆく。
また、ウェハ８の前部でテープ２０がテーブル３上に貼
付されてウェハ８をテーブル３上に固定しているのでフ
ィルム９の剥離のさいにウェハ８が浮き上るようなおそ
れはない。
上記の各実施例においては、テープ２０がウェハ８上の
保護フィルムＳ上に張り渡されたのち、剥離ユニット２
２が前進を始めるが、貼付ユニット２１が前進してテー
プ２０を保護フィルム９に貼付している間に剥離ユニッ
ト２２が前進を開始するような方法もある。
また、上記各実施例におけるスタート位置は第１図のよ
うに、貼付ユニット２１と剥離ユニット２２が図の右方
となっているが、第１３図のように貼付ユニット２１と
剥離ユニット２２が図の左方に位置している状態を待機
位置とし、この状態で右方向から保護フィルム剥離前の
ウェハ８を供給したのち、一連の動作を開始するように
してもよい。
さらに、上記実施例ではウェハをテーブル上に載せたの
ち位置決めしたが、テーブルの手前に位置決め手段を設
けて位置決め後のウェハをテーブル上に載せる場合もあ
り、位置決めを行わない場合もある。
〔効果〕
この発明は上記のように上面に保護フィルムを貼付した
ウェハをテーブル上に固定した状態で貼付ローラにより
剥離用の粘着テープをウェハの後部の僅かな部分に圧着
し、その後は貼付ローラを浮かせて前方に移動させたの
ち、あるいは移動させつつ貼着テープとともに保護フィ
ルムを剥離するものであるから、従来の粘着テープを全
長に亘り接着する方法のようにウェハを破損させるおそ
れはない。
また、粘着テープをウェハの後部の僅かな部分に圧着し
、その後は貼付ローラを浮かせて前方に移動させるとと
もに、ウェハの前部付近で貼着ローラを下降させてウェ
ハの前端部またはウェハ前方のテーブル上に粘着テープ
をふたたび貼着せしめることによって、ウェハの前部を
粘着テープで押圧しながら粘着テープとともに保護フィ
ルムを剥離する方法の場合は、剥離工程の最後の段階で
のウェハの浮上りによる破損を防止するので、破損防止
効果は一層大となる。
さらに、貼付ユニットと剥離ユニットは若干の時間差で
同方向に移動して剥離用粘着テープの貼付と剥離を同じ
位置で行なうので、この発明を実施する装置は小型とな
るなどの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明方法を実施する装置の側面図、第２図
は同上のテーブルの拡大縦断正面図、第３図は同じく拡
大平面図、第４図ないし第６図はテーブルと搬送ベルト
の各位置を示す拡大縦断側面図、第７図および第８図は
貼付開始時を示す拡大縦断側面図、第９図ないし第１４
図は第１の方法の工程別側面図、第１５図、第１６図は
第２の方法の工程別側面図、第１７図、第１８図は第３
の方法の工程別側面図、第１９図は第１５図の要部の拡
大側面図、第２０図は第１７図の要部拡大側面図である
。 ２・・・・・・無端搬送ベルト、３・・・・・・テーブ
ル、８・・・・・・ウェハ、　　　　　９・・・・・・
保護フィルム、１７・・・・・・巻軸、　　　　　１８
・・・・・・巻取軸、２０・・・・・・粘着テープ、　
２１・・・・・・貼付ユニット、２２・・・・・・剥離
ユニット。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）上面に保護フィルムを貼付したウェハをテーブル
    上に搬送して固定し、ついで、貼付ローラにより粘着テ
    ープをウェハ上の保護フィルムの後端上に圧着したのち
    、貼付ローラを浮かせて前方へ移動させ、ついで、剥離
    ユニットを後方から前方に移動させて粘着テープととも
    に保護フィルムをウェハから剥離し、そののち、ウェハ
    をテーブル上から送り出すことを特徴とする保護フィル
    ムの剥離方法。
  2. （２）テーブル上にウェハを固定し、ついで、貼付ロー
    ラにより粘着テープをウェハ上の保護フィルムの後端上
    に圧着したのち、貼付ローラを浮かせて前方へ移動させ
    つつ剥離ユニットを後方から前方に移動させて粘着テー
    プとともに保護フィルムをウェハから剥離することを特
    徴とする請求項（１）記載の保護フィルムの剥離方法。
  3. （３）テーブル上にウェハを固定し、ついで、貼付ロー
    ラにより粘着テープをウェハ上の保護フィルムの後端上
    に圧着したのち、貼付ローラを浮かせて前方へ移動させ
    、ウェハの前寄りで貼付ローラを下降させて粘着テープ
    を保護フィルムの前端上に接触させることを特徴とする
    請求項（１）または（２）記載の保護フィルムの剥離方
    法。
  4. （４）テーブル上にウェハを固定し、ついで、貼付ロー
    ラにより粘着テープをウェハ上の保護フィルムの後端上
    に圧着したのち、貼付ローラを浮かせて前方へ移動させ
    、ウェハの前方で貼付ローラを下降させて粘着テープを
    ウェハの前方のテーブル上に接触させることを特徴とす
    る請求項（１）または（２）記載の保護フィルムの剥離
    方法。
JP63285480A 1987-11-28 1988-11-10 保護フイルムの剥離方法 Expired - Lifetime JPH0691153B2 (ja)

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