JPH01321257A - 薄板と粘着テープの貼着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基板となるシリコン
ウェハのような円形状などの薄板を粘着テープ上に貼着
する方法に関するもので、そののら、薄板のキャリア治
具となる円形環状などのリングを１枚の粘着テープ上に
貼着して、テープをリングに沿って切断するものである
。

〔従来の技術〕

従来では上記のようなリング状のキャリヤ治具ニ対スル
フィルムの貼着と、フィルムに対スルシリコンウェハな
どの貼着は手作業で行ない、リングの周囲からはみ出し
たフィルムの切り取りも手作業で行なっていた。

また、貼着面を上にした粘着テープ上に薄板を供給して
、上下のゴム製のローラで薄板と粘着テープを挾んで粘
着テープ上に薄板を貼る方法、あるいは粘着テープ上に
薄板を供給し、さらに、この薄板上に保護テープを供給
して、上下のゴム製のローラで挾むことにより薄１１ｉ
、を粘着テープと保護テープ間に挾む方法も従業されて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記の従来方法のうち１番目の手作業による方法は手数
がかかり、皺ができないように張るためには熟練を要す
ることは勿論であるが、２番目の上下のローうで粘着テ
ープとその上の薄板を挾んで貼着する方法は自動化でき
る点で優れているが、薄板を上下のローラで挾むために
、薄板の表面が微小な圧力でも敏感に反応し、ダメージ
を受ける場合があるという問題があった。

また、３番目の方法は粘着テープと保護テープとで薄板
を挾むので、薄板の表面のダメージを保護テープで吸収
できるという点で優れているが、保護テープの供給手段
が必要であり、薄板を粘着テープ上に貼着したのちは保
護テープは不要であるため、薄板貼着後に保護テープを
巻取る手段が必要となる。

この発明は上記のような従来の方法の問題点を解決した
薄板と粘着テープの貼着方法を提供することを目的とす
るものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、この発明はフィルム状の
粘着テープを貼着面を上にして長手方向に間欠的に移動
させ、送出し手段により１枚づつ送出される薄板の上面
外周を、下面外周のみを吸４′ｆ面とした真空吸引式の
搬送具で吸着して上記粘着テープ上に搬送するに当り、
粘着テープの走行速度に合せて上記搬送具を走行させる
ことにより、Ｒ法具の下端の薄板を粘着テープ上に貼着
したのち、吸着を解除して搬送具を元に戻すことを特徴
とする薄板と粘着テープの貼着方法を提供するものであ
る。

〔実施例〕

以下にこの発明方法の実施例を添付図面に示す実施例に
基づいて説明する。

図において、１はシリコンウェハのような薄板で円板の
一部を直線状に切除したものである。

このような薄板１を第１図のようにマガジン２に一定の
間隔で積上げる。このマガジン２は受台３上に載ってお
り、受台３はユニット化されたスクリュージヤツキ式、
ラックピニオン式、シリンダ式などの昇降機構４により
一定のピッチで間欠的に下降し、最下端のものから１枚
づつ送出し手段５により取出される。

送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印方向に連
続駆動される無端搬送ベルト７を有し、マガジン２が１
ピツチ下ると最下段の薄板１がベルト７上に載って取出
されるものであるが、図示以外の機構のものを用いても
よい。

また、マガジン２の前方には位置決め手段８を設ける。

この位置決め手段８は、例えば第３図のように、エアシ
リンダとパルスモータからなる駆動手段により昇降およ
び旋回自在の真空吸引台９と、薄板１の外周一部の直線
状のオリエンテーションフラット（以下オリフラと略称
する）の向きを検出する光電式などの検出器（図示省略
）よりなるものである。

ただし、オリフラのない薄板１を扱う場合は位置決め手
段８は省略する。

１０は前記昇降機構４、送出し手段５などを取付けた機
台で、その上部側方には機箱１１を設ける、 １３は機台１０に設けたローラで、第１図、第３図の矢
印方向に間欠駆動される。

また、第５図のように機台１０に設けた巻軸１４から引
出された粘着テープ１５がガイドローラ１６を経てゴム
などの弾性材料からなるローラ１３上へ導かれる。この
テープ１５は片面に粘着面を設けたポリエチレンなどの
フィルムで、粘着面を−Ｆにしてローラ１３上に向かう
。

また、ｍ７ｉ１１には左右方向のガイドレール１２を設
け、このレール１２に沿って適宜の駆動手段により往復
する往復台１７を設け、この往復台１７に固定した搬送
アーム１８の先端には、前記位置決め手段８と同様な作
用を有する位置決め手段を備えた昇降自在の搬送具１９
を設ける。

上記搬送具１９は第３図に示すように薄板１の外周のみ
を吸引するように下面外周にのみ複数の吸引孔２０を有
する吸着面ａを設ける。この吸着面ａ以外の下面は凹入
して空間２１とするが、この空間２１に空気を吹込む空
気吹込口（図示省略）を設けることもある。

薄板１の表面に凹凸などがあり、真空吸着のみでは、薄
板の保持が不十分な場合には、第６図、第７図に示すよ
うに、搬送具１９に複数の保持爪２８を軸３１により開
閉自在に取付け、これを第８図に示すようなＴＭ、磁石
その他の適宜の駆動手段２８′で適宜のタイミングで開
閉するようにし、この保持爪２８で薄板１を保持して移
動に伴って爪２８を開放していく方法もある。

前記送出し手段５により送出された薄板１はこの送出し
手段５の前端に位置した条件でベルト７が停止すること
により停止する。このとき薄板１の中心と吸引台９の回
転中心を合わせるものとする。

ついで真空吸引台９がベルト７間から上昇し、その上面
がベルト７の上面より上ることにより薄板１は第３図の
ようにベルト７上から吸引台Ｓ上に移される。

この状態で吸引台９が薄板１を真空吸引しながら旋回す
る。

薄板１の周縁は吸引台Ｓの周囲より出ているから、検出
器が薄板１の周縁を検出し、オリフラが所定の向きにな
ると検出器から信号が出て吸引台９の回転が止る。

つぎに、この薄板１の直上にあった搬送具１９が下降し
てその下面外周の吸着面ａが薄板１の外周に密着すると
、搬送具１９の真空吸引が開始され薄板１を吸引すると
ともに吸引台９の直空吸引が解除され、搬送具１９が指
定方向へのオリフラ合わせを行ない、第１図、第３図の
右方向に水平移動を始める。

一方、ベルト７上へ上昇していた吸引台９はベルト７よ
り下へ下降してつぎの薄板１の進入の邪魔にならない位
置となる。

また、上記のように搬送具１９により吸着された薄板１
は吸引孔２０による真空吸引の作用で薄板１の外周と搬
送具１９の吸着面ａ間の微細な隙間からの空間２１内の
空気の吸引による負圧により下面が凹入状になるように
変形するおそれがあるが、このような場合は、図示省略
しである空気吹込口から微圧の空気を空間２１に吹込む
ことにより変形を防止できる。

前記粘着テープ１５は一定の速度でローラ１３上を第３
図の矢印のように移動しているから、このテープ１５と
同速で前記搬送具１９を移動させつつ薄板１をテープ１
５上に貼合せる。

このとき薄板１は右端からテープ１５上に徐々に貼合せ
られるので、保持爪２８で支持しているときはこの保持
爪２８を第９図（ａｌ、山）、ＦＣ＋、ｆｄｌのように
段階的に解放することにより、位置の狂いおよび薄板１
の破損を予防できる。

こうしてテープ１５上に薄板１を貼合せたのち、搬送具
１９は吸引を解除して上昇し、第９図！ｉ１１のように
元の位置、すなわち、前記位置決め手段８上に戻る。

第２図の平面図において、２２はキャリヤ治具のような
リング２３のマガジンで、図示省略しであるが、第１図
に示す薄板のマガジン２とほぼ同様の構造であり、受台
３と同様の受台に載って１ピツチ毎に間欠的に下降する
もので、図示省略しである駆動機構で駆動される押出部
材２４により最下端のものから間欠的に矢印方向に押出
されて位置すとなる。

上記リング２３に薄板１と同様のオリフラがあるときは
、この位置すに設けた位置決め手段によりオリフラの位
置決めをする。

位置すのリング２３は例えば第４図のような移送手段２
５によりテープ切断手段２６上へ移送する。

この移送手段２５は機箱１１に固定したガイドアーム２
７に沿って送りネジなどで進退する移送台２９と、この
台２９にエアシリンダなどにより昇降するよう取付けた
吸引器３０からなっている。

この吸引器３０は中空でリング状の底部突出部に多数の
吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキシブルチューブ（
図示省略）により、図示省略しである真空吸引装置に連
結して、第４図のように機台１０上のリング２３を吸着
して上昇し、鎖線の位置へ移動して下降し、テープ切断
手段２６上のテープ１５ヘリング２３を下降させて吸引
を解除して上昇し、元の位置へ復帰する運動を行なうよ
うにする。

切断手段２６は第４図のように機箱１１に取付けたエア
シリンダ３３で昇降するアーム３４端に設ける。アーム
３４端の下部にギヤモータ３５を固定し、このモータ３
５で旋回される旋回枠３６上に軸３７を支点として）８
動するカッタアーム３８を取付け、このアーム３８の先
端に自由回転の円板状カッタ３９を取付けたもので、ア
ーム３８の先端はバネ４０により押上する。

また、旋回枠３６の中心に固定した垂直の軸４１の上端
に円板状の押えＦｉ、４２を回動自在に取付、この押え
板４２の外周上面に円形環状のゴム４３を取付けて旋回
枠３６の下部周囲に設けた複数の脚に押え板４２の下部
周面に接するローラ４４を設ける。

従うて、薄板１を上面に貼着したテープ１５の移動に伴
い、薄板１が切断手段２６上にきて停止したのち、前記
のように移送手段２５が作動してリング２３をテープ１
５上へ載せた条件で、エアシリンダ３３が作用し、アー
ム３４が上昇して押え板４２上のゴム４３と吸引器３０
でリング２３とテープ１５を挟み、カッタ３９がテープ
１５に切込むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠
３６が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断す
る。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完全に切断
したとき、モータ３５が停止し、シリンダ３３によりア
ーム３４が下り、吸引器３０も復す、■する。

切断後のテープ１５は第１図、第５図のように切断手段
２６の前方でローラ４５に誘４され、ガイドローラ４６
を経て巻取軸４７に巻取られる。

従って巻取られる粘着テープ１５には第５図のように切
断により孔３２がおいており、薄板１を貼着したフィル
ム１５′を張ったリング２３はテープ１５から離れてコ
ンベヤ４９上へ移動する。

このコンベヤ４９は機箱１１や機台１０に取付けたもの
である。

第１図の５１は前記のように薄板１、フィルム１５′を
張ったリング２３を収納するマガジンである。このマガ
ジン５１は前記各マガジン２．２２とほぼＩｇ領するも
ので、適宜のユニット化された昇降機構５２により昇降
される受台５３上に載り、コンベヤ４９上を移動してき
たリング２３がマガジン５１内に１牧人る毎に受台５３
が１ピンチ上昇する。

〔発明の効果〕

この発明は上記のようにフィルム状の粘着テープを貼着
面を上にして長手方向に間欠的に移動させ、送出し手段
により１枚づつ送出される薄板を、必要に応じてオリフ
ラの位置決めを行なったのち、真空吸引式の搬送具によ
り粘着面を上にした粘着テープ上に貼着していくもので
、上記搬送具はその下面周囲の吸着面のみで薄板を吸着
するものである。従って、薄板の周囲部以外は搬送具に
接触しないから、薄板の上面を傷つけるおそれがない。

また、粘着テープと薄板を上下のゴム製ローラで挾む必
要がないため、ローラの圧着により薄板の表面にダメー
ジを受けるようなおそれが全くなくなる。

さらに、搬送具の周囲部に複数の保持爪を設け、この保
持爪により薄板を保持して薄板を粘着テープに貼着する
さいに、貼着側から順次保持爪を開放していく方法を利
用すれば、真空吸着のみでは薄板の保持が不十分な場合
でも確実な薄板の保持ができるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一例を示す正面
図、第２図は同上の平面図、第３図は搬送具と位置決め
手段の拡大縦断正面図、第４図は第１図Ａ−Ａ線の拡大
縦断側面図、第５図は要部の斜視図、第６図は１般送貝
の他の例を示す拡大縦断正面図、第７図は同上の平面図
、第８図は保持爪の拡大側面図、第９図（ａｌ、（ｂｌ
、ｔｅｌ、ｆｄｌ、ｔｅｌは貼着順序を示す要部正面図
である。 １・・・・・・ＦｒＴＪ板、　　　　５・・・・・・送
出し手段、８・・・・・・位置決め手段、１３・・・・
・・ローラ、１４・・・・・・巻軸、　　　　１５・・
・・・・テープ、１５′・・・・・・フィルム、１９・
・・・・・搬送具、２３・・・・・・リング、　　２６
・・・・・・テープ切断手段、２８・・・・・・保持爪
、　　３０・・・・・・吸引器。 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フィルム状の粘着テープを貼着面を上にして長手
   方向に間欠的に移動させ、送出し手段により１枚づつ送
   出される薄板の上面外周を、下面外周のみを吸着面とし
   た真空吸引式の搬送具で吸着して上記粘着テープ上に搬
   送するに当り、粘着テープの走行速度に合せて上記搬送
   具を走行させることにより、搬送具の下端の薄板を粘着
   テープ上に貼着したのち、吸着を解除して搬送具を元に
   戻すことを特徴とする薄板と粘着テープの貼着方法。
2. （２）搬送具の周囲部に複数の保持爪を設け、この保持
   爪により薄板を保持して薄板を粘着テープに貼着するさ
   いに、貼着側から順次保持爪を開放していくことを特徴
   とする請求項１記載の薄板と粘着テープの貼着方法。