JPH0550428B2

JPH0550428B2 -

Info

Publication number: JPH0550428B2
Application number: JP62201185A
Authority: JP
Inventors: Takao Matsushita; Akihiko Kira; Minoru Ametani
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 1987-08-11
Filing date: 1987-08-11
Publication date: 1993-07-29
Also published as: EP0307509A2; JPS6443458A; EP0307509A3; US4865677A; DE3779640T2; KR890004388A; KR960009988B1; DE3779640D1; EP0307509B1

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は例えば集積回路の基板となるシリコ
ンウエハのような円形の薄板の上部に粘着テープ
を貼り付け、このテープを薄板の外周に沿つてカ
ツトしたのち、薄板上に貼着された部分以外のテ
ープを剥離する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

上記のような薄板へのテープの貼着およびカツ
トは従来では手作業で薄板の上部にテープを貼着
したのち、薄板の周囲に沿つて切断していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記のような手作業ではきわめて手数
がかかり、テープに皺が寄り易いなどの問題があ
つた。

この発明は上記のような従来のテープの貼着カ
ツト方法の問題を解決するため、従来手作業でお
こなつていた作業を全て自動的に行えるようにす
ることを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、この発明は外周一部に直線縁を備え
た円形の薄板の複数をカセツトに収容し、このカ
セツトに収容した薄板を１枚ずつ取り出して上下
の貼り合わせローラ間に移送するロード部と、貼
り合わせローラ間に、下面に粘着面を有する薄板
より巾の広い粘着テープを連続的に供給する手段
と、上記貼り合わせローラ間で粘着テープを貼着
した薄板を吸着ステージ上に吸着して静止状に支
持し、上記粘着テープの切断用刃物の向きを上記
直線縁と平行する方向に向け、上記直縁園の延長
線上の一部上方の位置から下降して粘着テープに
切り込み、その刃物を上記直線縁に平行に移動さ
せて円形薄板の直線縁に沿つてこの粘着テープを
切断し、その刃物が直線縁の終端位置に達したと
き、前記刃物の向きを薄板の円弧状外周の接線方
向に変え、その刃物を上記薄板の中心を回動中心
として回動させ、薄板の円弧状外周に沿つて粘着
テープをカツトするテープカツト手段と、カツト
後のテープを、吸着ステージ上において吸着固定
された薄板上に貼着されたテープを残して剥離す
るテープ剥離手段と、テープ剥離手段を通過した
薄板をカセツトに収容するアンロード部からなる
もので、テープカツト手段としてカツト方向を自
在に設定できる切り出しナイフ形刃物を有し、さ
らに薄板の欠けを検出する検出器と、刃物の動作
の異常を検出する検出器を設け、これらの検出器
により薄板の欠けや刃物の動作の異常を検出した
とき刃物の駆動を停止するようにしたものであ
る。

また、刃物のカツト方向を変えるときに、刃物
に無理な力を与えないように、薄板に対する刃物
の方向転換位置を検出し、スムーズに刃物を方向
転換させ、さらに、刃物の刃先の温度を上昇させ
る加熱手段を設けることにより粘着テープのカツ
ト時の抵抗を軽減し、常温ではカツト不可能なテ
ープのカツトも可能となる。

さらに、ピンチローラやピーリングローラに正
逆機能をもたせるとともに貼り合わせローラに上
下機構を併用してテープの貼着時に必要以上のテ
ンシヨンをテープに与えることなくテープを貼着
することを可能とし、テープを引き戻すことによ
りテープのピツチを短縮せしめ、１回当たりのテ
ープ消費量を小さくすることが可能となる。

〔作用〕

この発明は上記の構成であり、カセツトに収納
したシリコンウエハのような薄板はその一部を直
線縁とした円形で、この薄板は搬送ベルトなどか
らなるロード部により貼り合わせローラ間に移送
される。

この貼り合わせローラ間には粘着面を下向きに
してテープが供給されているから、ここに供給さ
れた薄板上にはテープが貼着される。

こうしてテープを貼着された薄板はつぎの吸着
ステージ上に移動して固定される。

この吸着ステージ上にはテープカツト手段があ
り、上記のようにステージ上に薄板が固定される
とカツト手段が作用を始め、その刃物が薄板の外
周に沿つてテープをカツトする。

上記のカツト作用において、刃物が直線縁をカ
ツトするときは刃物の向きが直線縁と平行の向き
となつて、一直線に粘着テープを切断し、その終
端部に刃物がくると、刃物の向きが薄板の円弧状
外周の接線方向に変わつて粘着テープを円弧に沿
つてきれいに切断する。

こうしてテープのカツトが終了すると、テープ
剥離手段が作用を開始し、薄板に貼着された部分
以外のテープを剥離する。

余分なテープを剥離した薄板はつぎのアンロー
ド部へ搬送されてカセツトなどに収容される。

また、第２の発明ではテープカツト手段の刃物
が切出しナイフ形で切れ味がよく、また、カツト
手段によつてテープをカツト中において、検出器
が薄板の周縁に欠けがあることを発見すると、カ
ツト作業を中止する。

さらに、カツト中に刃物が半径方向や円周方向
に逃げ始めたとき、これを検出器が発見してカツ
ト作業を中止し、薄板の破損を防止する。

前記第３項の実施態様の場合は刃物の方向転換
を薄板の外縁の直接検出により行つて直線部の長
さのバラツキや停止位置のバラツキに影響される
ることなく安定した作動を行なうことができる。

前記第４項の実施態様の場合はテープの伸びを
少なくでき、接着性の不安定な場合でも縮みによ
る浮上り（はがれ）を防止することができる。

また、１サイクル終了のテープを巻戻し方向へ
一定長さ巻戻すことによつてテープ消費量を軽減
し、生産性の向上を計ると同時に装置の安定稼働
をえることができる。

〔実施例〕

以下に薄板の一例としてウエハにテープを貼着
する装置について説明する。

第１図の１はロード部でウエハ３を入れたカセ
ツト２を載せる左右一対の台１４を有する。第３
図のようにこの左右の台１４上のカセツト２には
多数のウエハ３が素子形成面を下にして適当間隔
で積み上げられ、無端搬送ベルト４，５，６によ
りカセツト２内の最下位のウエハ３をガイド台７
上に送り込む。ガイド台７は第１図のように複数
に分割され、その間に前記ベルト６とこのベルト
６に直交する方向の無端搬送ベルト８を配置し、
かつ複数のガイドバー９を固定してある。

上記ベルト８は第２図に示すように複数のプー
リにより屈曲されてベルト６と干渉しないように
し、ベルト６により台７上へ送り込まれてベルト
６が停止し、ベルト８がモータ１０および伝動ベ
ルト１１より第２図の矢印の方向に駆動されると
ウエハ３はつぎのウエハアライメント手段１５に
送り込まれる。

前記各台１４は図示省略してある昇降手段によ
り昇降するもので、ウエハ３が１枚取り出される
毎にカセツト２を下げてつぎにウエハ３をベルト
４上に載せる。

左右に台１４を設けたのは一方の台１４上のカ
セツト２が空になると、他方のカセツト２内のウ
エハ３を取り出して運転を続行し、この間に空の
カセツト２をウエハ３の入つたカセツト２と交換
し、装置の稼動率を上げるためである。

ロード部に１カセツトのみをセツトするように
した装置の場合は、台１４は１ケ所でよく、その
位置はベルト８上に対向する部分の任意の位置と
すればよい。

ウエハアライメント手段１５には左右の受台１
６の外側上部にガイドバー１７を設け、両受台１
６間には左右一対の無端搬送ベルト１８を配置し
てある。

上記搬送ベルト１８は第２図に示すように伝動
ベルト２０，２１によつて前記搬送ベルト８と同
期走行するがベルト１８は機台２２上の昇降フレ
ーム２３上に設けてあり、このフレーム２３はエ
アシリンダ１９により昇降する。

ウエハアライメント手段１５は、第２図および
第４図ないし第６図に示すようなものである。

すなわち、前記フレーム２３に横軸２４を中心
に揺動するレバー２５を設け、このレバー２５上
に、モータにより縦軸の回りに回転する溝プーリ
２７を設け、レバー２５上の取付台２８には第６
図のように３本の回転棒３１，３２，３３を設
け、これら各棒の下端の溝プーリと前記溝プーリ
２７に無端ベルト２６を係合させて、回転棒３
１，３２，３３が第６図矢印のように回転するよ
うに構成し、中央の回転棒３２を若干前寄りにし
ておく。

また、前記レバー２５はエアシリンダ３５によ
り上下に揺動させ得るようにする。

第２図、第５図の３６は前記横軸２４と同軸
で、かつレバー２５とは別個に揺動するレバー
で、このレバー３６にストツパ３７が取付けてあ
る。

このストツパ３７はウエハ３直線縁１２の精密
な位置決めを行なうもので、回転軸３９を中心に
回転して任意の角度に固定することにより当たり
面を微調整できる機構を有している。

また、上記のレバー３６はエアシリンダ３８で
上下に揺動される。

上記のアライメント手段１５において、最初は
第２図、第４図のように３本の回転棒３１，３
２，３３およびストツパ３７はベルト１８の搬送
面上に突出している。従つてベルト１８で搬送さ
れてきたウエハ３の外周が棒３１，３２，３３の
外周に接する。ウエハ３の弧状の縁の場合は全て
の棒３１，３２，３３がウエハ３に接するがウエ
ハ３は、同じ方向に回つている隣接した２本の棒
３２，３３との摩擦により回される。こうしてウ
エハ３が回り、その直線縁１２が棒３１，３２，
３３の部分へくると中央の棒３２は第６図のよう
に直線縁１２から離れ、直線縁１２には相反する
方向に回転している棒３１，３３が接するのでウ
エハ３は直線縁１２を前向きとして停止する。

前記のようにウエハ３がアライメント手段１５
の位置にあることを検出し、回転棒３１，３２，
３３を回転させ、ウエハ３のオリフラ合わせ完
了、すなわち、直線縁１２が回転棒３１，３３に
接したことを検出して、回転棒３１，３２，３３
の回転を止め、同時にシリンダ３５により下降さ
せる。このときウエハ３はベルト１８に乗つて前
進し、その前部の直線縁１２を第１図の鎖線およ
び第５図のようにストツパ３７に接触してここで
さらに精密に位置決めされる。

このストツパ３７は前記した微調整機能により
きわめて精度の高い角度合せができる。

ウエハ３がここまできたことを光電検出器など
で検出するとエアシリンダ１９が働いてフレーム
２３とともにベルト１８を下げ、第７図のように
ウエハ３を移動ステージ４０上に移す。ステージ
４０でウエハ確認後にエアシリンダ３８を作用さ
せてストツパ３７を第５図鎖線のように下降させ
る。

移動ステージ４０は第１図、第７図に示すよう
に左右のベルト１８間にあつて上面に多数の真空
吸引孔を有する中空の真空吸引式で、送りネジ４
１の正逆転により進退するアーム４２の先端に取
付けたものである。

また、送りネジ４１は機台２２上の軸受により
支持され、正逆転モータ４３により駆動される。

従つて前記のようにベルト１８が下りウエハ３
が移動ステージ４０上に移されて真空吸引されス
トツパ３７が下つた条件でモータ４３によりネジ
４１が正転し、アーム４２を第１図に向かつて左
方に移動させてウエハ３をつぎの貼り合わせロー
ラ４５，４６間へ移動させる。

上記貼り合わせローラ４５，４６はゴムのよう
な柔軟な弾性体からなり、上部のローラ４５は図
示省略してあるバランスウエイト機構により適宜
の圧下力が加えられ、下部のローラ４６はモータ
を含む駆動制御ユニツト４７で駆動または制動す
る。すなわち、ローラ４６の駆動軸には図示省略
してある電磁クラツチとトルクダンパを設けてク
ラツチをつなぐとローラ４６にブレーキがかかる
ようにしてあり、また、クラツチとモータを設置
することにより間歇駆動も可能となる。

また、第２図のように、機台２２上の機箱４８
には、粘着テープ５１の繰り出しリール５０と、
同巻取リール５２を設け、リール５０から繰り出
されたテープ５１はピンチローラ５３を経て粘着
面を下にした状態で上下のローラ４５，４６間を
通り、後記するテープ剥離手段５４の下部にピー
リングローラ５５と上下一対のピーリングローラ
５６間を通り機箱４８に設けたガイドローラ５
７、テンシヨンローラ５８を経て巻取リール５２
に巻取られる。

また、セパレータ６０はセパレータ巻上ローラ
６１、ピンチローラ６２を経て巻取リール６３に
巻取らせる。

上記のように移動ステージ４０で貼り合わせロ
ーラ４５，４６間にウエハ３が挿入されると同時
に、同ステージ４０の真空吸引は解除されモータ
４３は逆転してステージ４０を元に戻し、フレー
ム２３やレバー２５，３６も元の位置まで上がつ
てつぎのウエハ受入状態となる。

一方、上記のように貼り合わせローラ４５，４
６間に送り込まれたウエハ３はその上面に粘着テ
ープ５１が貼着されてテープカツト手段６５へ移
動し、出没自在のアーム６８の先端に設けた複数
の光電検出器６９により位置決めされて停止す
る。

テープカツト手段６５は第１１図、第１２図に
示すように、機箱４８の側壁内面に固定した垂直
のエアシリンダ６６で昇降される昇降枠６７に設
けられる。

昇降枠６７の下部には左右一対の水平ガイド７
０に沿つてウエハ３の搬送方向と直交する方向に
進退する可動台７１を設け、この可動台７１を駆
動するエアシリンダ７５を昇降枠６７の下部のブ
ラケツト７６に固定する。

また、可動台７１には下方に向けて垂直の筒体
７２を固定し、この筒体７２内に回転軸７３を装
着する。

回転軸７３の上部にはプーリ７７を固定し、可
動台７１に固定したモータ７８の軸に設けたプー
リ７９と前記プーリ７７とを伝動ベルト８０によ
り連動させ、回転軸７３の上端には検出板８１を
固定するとともに昇降枠６７上の支柱の上端には
光電式などにより検出板８１を検出する光電式あ
るいは近接スイツチなどの原点検出器８２を設け
る。

８５は回転軸７３の下端に固定した支持板で、
この支持板８５の下部にガイドに沿つて水平方向
に移動可能の調節板８６を設ける。この調節板８
６はその一部上側にブロツク８７を固定し、その
上の複数の切欠８８に支持板８５にねじ込んだセ
ツトネジ８９を係合させて固定することによりカ
ツト寸法に合わせるものである。

９１は前記調節板８６の下部に回動自在に取付
けた水平の送りネジで、同調節板８６の下部に固
定したモータ９２により、伝動ベルトを介しこの
ネジ９１を正逆転させる。

９４は上記送りネジ９１に螺合し、調節板８６
の下面のガイド９５に沿つて移動する摺動体で、
この摺動体９４の側部に回動自在に装着した垂直
軸９６の下端に下向きコ字形の枠９７を固定し、
上記垂直軸９６はエアシリンダ９３により回動し
得るようにする。

上記の枠９７には両端外側の水平の軸９８，９
９を中心に回動する枠１００を設け、この枠１０
０内には上記軸９８，９９と直交する両側の水平
の軸１０１，１０２により縦向き筒状の刃物取付
具１０３を揺動自在に取付け、この取付具１０３
には、その下端に切出しナイフ状の刃物１０５を
下向きに固定した刃物保持具１０５′を着脱自在
に固定する。

第１２図の９０は枠９７の上部に設けた光電検
出器で、光線を発射してその反射光の変化により
ウエハの周縁部を検出し、その信号で、前記シリ
ンダ９３を制御して軸９６を回し、刃物１０５の
向きを変更させるものである。

１０６は前記枠９７の一方の側壁の下端に固定
した光電検出器で、ウエハの外周に光線を当てそ
の反射でウエハの欠けを検出する。

また、同枠９７の他方の側壁には電磁ブレーキ
１０７を設け、前記検出器１０６がウエハの欠け
を発見すると、電磁ブレーキ１０７で軸９９をロ
ツクするようにしてある。これはテープ５１が透
明または半透明の場合に有効である。

１０９は、軸９８の回転角を検出する光電検出
器で、刃物１０５の半径方向の逃げを検出するた
めのものである。

１１０は軸１０２の回転角を検出する光電検出
器で、刃物１０５がウエハの円周方向に逃げたと
きに検出作用を行なう。

上記各種検出器１０９，１１０は軸に固定した
遮光板の動きによる光線の遮断などを光電素子な
どで検出するものである。

また、前記昇降枠６７上にはトルクミツタ１１
１を設け、刃物１０５に過大な負荷が働いたとき
にその状態を検出し、モータ７８を停止させるこ
とも可能である。

また、前記調節板８６にも検出板１１２を設
け、これを現点検出器１１３により検出すること
により刃物１０５の原点を検出する。上記の各軸
９６，９８，１０２にはそれぞれ復元バネを設
け、刃物１０５に加わる抵抗が一定以下のときは
刃物１０５が垂直の定常姿勢を保持しているよう
にする。

上記テープカツト手段６５の下方には真空吸引
式の吸着ステージ１０８を設ける。このステージ
１０８は上面に多数の吸引孔または吸引溝を設け
て、その上に移動してきたウエハ３を真空吸引に
より固定するものであり、第２図のエアシリンダ
１１４により昇降することもできるが固定でもよ
い。

また、ステージ１０８の上面には複数種類のウ
エハの外周に適合する複数の同芯円状の溝１０４
（第１０図）と、ウエハ３の進行方向と平行の２
条の溝１１８を設け、ウエハの搬送用の無端搬送
ベルト１２０がこの溝１１８内に入るようにし、
第２図のように、この搬送ベルト１２０を取付け
た可動フレーム１２１をエアシリンダ１２２によ
り昇降させるようにしてベルト１２０の搬送面が
ステージ１０８の上面に出没するようにしてあ
る。

ただし、エアの浮力による搬送方式を用いる場
合には溝１１８は不要となり、ベルト１２０も短
いものでよい。この場合、ステージ１０８には吸
引孔とは別の搬送用のエア吹出ノズルを設ける
か、吸引孔とエア吹き出しノズルを兼用にしてエ
ア回路で切り替えるようにする。

また、ステージ１０８の周囲には第１図のよう
にガイド台２９，３０を設け、ガイド台３０の両
側にはガイドバー３４を設ける。

前記テープ剥離手段５４は第１図に示すように
送りネジ１１５の正逆転により進退する移動台１
１６に前記ピーリングローラ５５と上下のピーリ
ングローラ５６を設けたもので、上下のローラ５
６はギヤにより相反する方向に回転するように連
動される。

また、前記送りネジ１１５は正逆転モータ１１
９により駆動する。

第１図、第２図、第９図のように、剥離手段５
４が位置決め停止位置で停止し、貼り合わせロー
ラ４５，４６とピーリングローラ５５間に貼られ
たテープ５１の下部にウエハ３が貼着され、か
つ、このウエハ３が、上昇中の吸着ステージ１０
８上に載つており、ベルト１２０は下降中でその
搬送面がステージ１０８の上面より下にあり、ま
た第１２図の可動台７１が同図左方にあつて、刃
物１０５がウエハ３の直線縁１２の延長線上の上
方にあつて直線縁１２の同方向に向いている条件
で、第１２図のエアシリンダ６６が働いて昇降枠
６７が下がる。

これにより刃物１０５が第１５図ａのように停
止中のテープ５１に切込むが、その位置は直線縁
１２の延長線上である。

ついで、第１２図のエアシリンダ７５が働いて
可動台７１を第１２図に向かつて左方に動かして
刃物１０５を直線縁１２に向けて移動させ、回転
軸７３の中心とウエハ３および吸着ステージ１０
８の中心が一致するまでテープ５１を直線縁１２
に沿つてカツトし、その条件で、シリンダ７５は
停止し、つぎにモータ９２が起動して送りネジ９
１を回し、摺動体９４を移動させて刃物１０５を
引きつづき直線縁１２に沿つて直線運動させるこ
とによりテープ５１を第１５図ｂのように直線縁
１２に沿つて直線縁１２の端までカツトする。

こうしてテープ５１を直線縁１２に沿つて直線
状にカツトしていくと、共に光電検出器９０がウ
エハ３の円周部を検出し、その信号でシリンダ９
３を動作させて軸９６を回し、第１５図ｃのよう
に刃物１０５をウエハ３の円周状周縁に対して接
線方向または接線より多少内側のカツトしようと
する方向に向ける。

上記のシリンダ９３の動作と同じタイミングで
モータ７８が起動し、プーリ７９、ベルト８０、
プーリ７７を介して回転軸７３を回転させ、第１
５図、ｄ，ｅのように刃物１０５によつてテープ
５１をウエハ３に沿つて円周状にカツトする。

上記のように刃物１０５でテープ５１をカツト
中に、刃物の直前を走行する光電検出器１０６に
よりウエハ３の外周の欠けを検出した場合は電磁
ブレーキ１０７を動作させて軸９８を固定し、刃
物１０５が軸９８を中心に回転しないようにして
刃物が欠けに喰い込まないようにする。

刃物１０５が、第１５図ｄの矢印イ，ロのよう
にウエハ３の半径方向に逃げたとき、枠１００が
軸９８，９９とともに回動するので、これを光電
検出器１０９が検出し、モータ７８を停止させて
ウエハ３の破損を防止することができる。

刃物１０５がテープ５１をカツトできずに後方
で上方の円周方向に逃げたときは取付具１０３が
軸１０１，１０２とともに回動するので、これを
光電検出器１１０で検出してモータ７８を停止す
ることができる。

また、刃物１０５に過大な負荷が加わつたとき
はトルクリミツタ１１１が働いてそのリミツトス
イツチの作用でモータ７８を停止させることがで
きる。

テープ５１を切断する刃物１０５は第１０図の
ように吸着ステージ１０８上の溝１０４に嵌入し
てテープ５１の切断を確実とする。

なお、刃物１０５の取付具１０３内に電熱線を
入れて刃物１０５を加熱するようにした場合、ポ
リオレフイン系の材料で刃物１０５だけではカツ
トし難いテープのカツトに有効である。また、直
線部のない円板状のウエハの場合はモータ９２に
よる摺動体９４の直線移動は省略する。

ウエハ３の寸法の変更は、図示省略の固定ネジ
を弛めて調節板８６を移動させ、所望の切欠８８
にセツトネジ８９の下端を係合させて固定する。
また、ウエハ３よりもさらに大きくテープ５１を
カツトする必要がある場合は吸着ステージ１０８
上にならい板を固定し、この外側に沿つて刃物を
走らせることによりテープを任意の大きさにカツ
トできる。

上記の作用により刃物１０５がテープを完全に
カツトし、エアシリンダ６６の作用で昇降枠６７
とともに刃物１０５を上昇させると同時に原点検
出器８２，１１３により刃物１０５を原点に戻
し、ローラ４６にブレーキをかけてテープ５１の
移動を止めた条件で、正逆転モータ１１９が起動
して送りネジ１１５を正転させ、剥離手段５４を
第１図、第２図に向かつて右方へ移動させる。

これにより、第１３図のようにテープ５１はウ
エハ３上に貼着されたテープ５１′を残して剥離
される。

ついで、シリンダ１１４，１２２が働き吸着ス
テージ１０８が下り、フレーム１２１が上昇して
第１４図のようにウエハ３がステージ１０８から
ベルト１２０上へ移される。同時にベルト１２０
が駆動されてウエハ３をつぎのアンロード部１２
５へ搬送する。

アンロード部１２５は前記ロード部１の逆の作
用を有しているもので、第１図のようにテープを
貼着したウエハ３を収納するカセツト１２６を載
せる左右一対の台１２７とのその前方のガイド台
１２８とを有する。

ガイド台１２８は複数に分割され、その間に前
記無端搬送ベルト１２０に続く左右一対の無端搬
送ベルト１２９を設け、さらに、このベルト１２
９と前記各台１２７間にはベルト１２９と直交す
る左右一対の無端搬送ベルト１３０，１３１，１
３２を順次配置してその上のウエハ３をカセツト
１２６へ送り込むようにする。

上記ベルト１２９はその搬送側を第２図に示す
ように複数のプーリにより屈曲させて、ベルト１
３０と干渉しないようにし、モータ１３５により
伝動ベルト１３６を介して第２図の矢印方向に駆
動する。また、前記無端搬送ベルト１２０は無端
の伝動ベルト１３７，１３８によりベルト１２９
に連動させる。

上記のようにアンロード部１２５に送りこまれ
てきたウエハ３が所定のベルト１３０上にきた条
件で、ベルト１２９が停止し、ベルト１３０，１
３１，１３２が回転を始めて、ウエい３所定の台
１２７上のカセツト１２６へ送り込む。

各台１２７はカセツト１２６内にウエハ３が１
枚送り込まれる毎に下降していく公知のもので、
例えば第１図の右側の台１２７上のカセツト１２
６が一ぱいになると、左側の台１２７上のカセツ
ト１２６へウエハ３を送り込み、その間に右側の
台１２７上のカセツト１２６を空のカセツト１２
６と取替える。

従つて左右のベルト１２９間にはエアシリンダ
１２３で昇降するストツパ１２４を設け、さらに
左端のガイド台１２８上にストツパ１３３を設け
るとともに、左右のガイド台１２８上にはガイド
バー１３４を設け、左側のカセツト１２６にウエ
ハ３を送り込む場合はストツパ１２４を下げるこ
とによりウエハ３がストツパ１２４上を素通りし
てストツパ１３３で止められ、右側のカセツト１
２６に送り込むときはストツパ１２４を上げてウ
エハ３がストツパ１２４で止められるようにす
る。

上記アンロード部１２５も前記ロード部１と同
様に、１カセツトのみの場合はベルト１２９上に
対向する部分の任意の位置の１個所に台１２７を
設けることができる。

また、第１４図のようにテープ５１を剥離した
剥離手段５４が貼り合せローラ４５の近くに移動
して停止している条件で、つぎのウエハ３がロー
ラ４５，４６間に供給されるとローラ４６のブレ
ーキが解除され、剥離手段５４が第１４図に向か
つて左方へ移動を始め、テープ５１は巻取リール
５２により巻取られるのでウエハ上にテープ５１
が貼着されて吸着ステージ１０８上に移動し、つ
ぎの工程が開始される。

ここで、第２図に示す下部の貼り合わせローラ
４６を駆動制御ユニツト４７と共に上下し得る機
構とし、また、ピーリングローラ５６およびセパ
レータ巻上ローラ６１を正逆転および駆動停止自
在とし、ピンチローラ５３，６２をローラ６１に
対し接触離反自在とする。

この場合、テープ５１を送り出し、ウエハ３に
貼り合わせるときには、ローラ５６，６１を停止
状態とし、かつピンチローラ５３をローラ６１か
ら離反した状態として移動台１１６を第１６図の
鎖線の位置から実線の位置へ移動させることによ
り、テープ５１とウエハ３を貼り合わせ、所定位
置まで運び込む。

このときセパレータ６０が付いたテープ５１は
第１６図の鎖線ハのように変化し、所定位置でウ
エハ３が停止したのち、テープ５１のカツト動作
時にローラ６１，６２が接触してセパレータ６０
を上方へ巻き上げる。この動作によりテープ５１
からセパレータ６０を剥離する際の影響を受ける
ことがなくなる。

つぎに、第１３図に示すような状態にて動作が
終了したのち、ローラ５３，６１を接触させ、ロ
ーラ４５，４６を離し、ローラ５３，６１，５６
を逆転させてテープ５１を所要長巻戻すことによ
りウエハ３間のテープ５１を短くすることができ
る。

すなわち、第１７において、Ａ〜Ｂがウエハの
あつた部分であり、つぎのウエハはA′にくるた
め、Ｂ〜A′間を短くするため、ローラ５６，６
１を矢印方向に逆転させてＢをB′まで戻すこと
によりウエハ間のテープの間隔B′〜A′が短くな
る。

また、貼り合わせローラ４６はウエハ３とテー
プ５１の貼り合わせ時にのみ上昇させ、ウエハ３
の通過後は下降させてローラ４５から離しておけ
ば粘着テープ５１の接着面に不要部を付着するこ
ともなく巻戻され、つぎの貼付に供することがで
きる。

〔効果〕

この発明は上記のように、カセツトに収容した
薄板を１枚づつ取出して貼り合せローラ間に移送
する作用と、貼り合せローラ間において、下面に
粘着面を有するテープを連続的に貼着し、吸着ス
テージ上において、吸着されて停止した薄板上の
テープの切断に際し、刃物を直進させてテープを
薄板の直線縁に沿つて直線状にカツトしたのち、
刃物を薄板の円周に対して接線方向として旋回さ
せることによりテープを薄板の周縁に沿つて正確
にカツトする操作およびカツト後のテープを吸着
ステージ上において吸着固定された薄板上に貼着
されたテープを残して剥離する作用と、テープ剥
離手段を通過した薄板をカセツトに収容する操作
を全自動的に行うので、従来の手作業に比較して
遥かに能率よく、しかも正確にテープの貼着とカ
ツトが行える。また第２の発明においては、切出
しナイフ形の刃物によりテープのカツトを行なう
のできわめて切味がよく、また、薄板の欠けや刃
物が薄板の半径方向や周方向に逃げようとしてい
ることを検出器が検出すると、直ちにカツトを中
止するので薄板の破損が防止される効果が得られ
る。

なお、実施態様項の第３においてはウエハの外
周に沿つて安定してカツトできるため、ウエハの
直線縁、すなわち、オリエンテーシヨンフラツト
の損傷をなくすることができ、実施態様項の第４
においては前後のウエハ間隔を短くするようにテ
ープをコントロールしてテープの消費量を節減す
ることによりランニングコストを低減させる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明装置の一実施例を示す平面
図、第２図は同上の正面図、第３図はロード部に
おけるカセツト付近の拡大縦断側面図、第４図、
第５図はアライメント手段の各状態を示す一部縦
断正面図、第６図は同上要部の平面図、第７図は
移動ステージ付近の一部縦断正面図、第８図は貼
り合せローラ付近の一部縦断正面図、第９図はテ
ープカツト手段の一部を示す正面図、第１０図は
同上の一部を拡大した縦断面図、第１１図はテー
プカツト手段の一部縦断正面図、第１２図は同上
の一部縦断側面図、第１３図、第１４図はテープ
剥離手段付近の作用を示す拡大正面図、第１５図
ａ〜ｅはテープのカツト状態を示す平面図、第１
６図、第１７図は作用を説明する側面図である。１……ロード部、２，１２６……カセツト、３
……ウエハ（薄板）、１５……ウエハアライメン
ト手段、５１……粘着テープ、５４……テープ剥
離手段、６５……テープカツト手段、９０，１０
６，１０９，１１０，１１３……光電検出器、１
０８……吸着ステージ、１２５……アンロード
部。

Claims

【特許請求の範囲】１外周一部に直線縁を備えた円形の薄板の複数
をカセツトに収容し、このカセツトに収容した薄
板を１枚づつ取り出して上下の貼り合わせローラ
間に移送するロード部と、貼り合わせローラ間
に、下面に粘着面を有する薄板より巾の広い粘着
テープを連続的に供給する手段と、上記貼り合わ
せローラ間で粘着テープを貼着した薄板を吸着ス
テージ上に吸着して静止状に支持し、上記粘着テ
ープの切断用刃物の向きを上記直線縁と平行する
方向に向け、上記直線縁の延長線上の一部上方の
位置から下降して粘着テープに切り込み、その刃
物を上記直線縁に平行に移動させて円形薄板の直
線縁に沿つてこの粘着テープを切断し、その刃物
が直線縁の終端位置に達したとき、前記刃物の向
きを薄板の円弧状外周の接線方向に変え、その刃
物を上記薄板の中心を回動中心として回動させ、
薄板の円弧状外周に沿つて粘着テープをカツトす
るテープカツト手段と、カツト後のテープを吸着
ステージ上において吸着固定された薄板上に貼着
されたテープを残して剥離するテープ剥離手段
と、テープ剥離手段を通過した薄板をカセツトに
収容するアンロード部からなる薄板に対する粘着
テープの貼着カツト装置。２上記テープカツト手段はカツト方向を自在に
設定できる切り出しナイフ形刃物を有し、さらに
薄板の欠けを検出する検出器と、刃物の動作の異
常を検出する検出器を設け、これらの検出器によ
り薄板の欠けや刃物の動作の異常を検出したとき
刃物の駆動を停止するようにしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の薄板に対する粘
着テープの貼着カツト装置。３上記テープカツト手段は加熱手段を内蔵した
刃物取付具と、この刃物取付具に脱着容易でかつ
下端に刃物を有する刃物保持具からなり、さら
に、薄板の直線縁の終端を検出する光電式検出器
を有し、この検出器の信号により刃物の移動方向
および刃先の進行角度を切り替える手段を有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄
板に対する粘着テープの貼着カツト装置。４上記貼り合わせローラ間に粘着テープを送り
込む複数のピンチローラおよびピーリングローラ
などを正逆自在に回転させる駆動手段を有し、テ
ープを薄板上に貼り合わせ、カツトし、巻上げた
のち、前記各ローラを逆転せしめて、テープを所
要長さ戻すことができるようにしたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の薄板に対する粘
着テープの貼着カツト装置。