JPS61249299A - 薄板保護用フイルムの切抜き方法ならびに装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基盤となるシリコン
ウェハのような円形その他の形状の薄板上に貼着した保
護フィルムを薄板の周縁に沿って自動的に切抜く方法な
らびにこの方法を実施する装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来ではシリコンウェハのような薄板に対するフィルム
の貼着は手作業で行ない、薄板の周囲からはみ出したフ
ィルムの切り取シも手作業で行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような手作業ではきわめて手数がかか勺、綺麗に
かつ能率よく切断するためには相当な熟練が必要である
などの問題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明は、テープ状
の粘着性薄板用保護フィルムを上面に貼着した薄板を支
持して真空吸引により固定する機能を有し、上面に薄板
の外周に沿う環状のならい溝を有する受台と、この受台
の上方に設けた昇降および旋回ならびに半径方向移動自
在の切抜部材取付台からなる装置を用い、この取付台に
取付けた切抜部材を取付台とともに下降させて、フィル
ムに切り込むとともに、前記受台上の薄板の外周に沿り
て設けた環状ならい溝に前記切抜部材の下端を嵌入させ
たのち、切抜部材取付台を旋回させつつ、半径方向にも
適宜移動させることにより切抜部材を前記環状ならい溝
にならわせてフィルムを薄板の外周に沿って切抜くもの
である。

〔実施例〕

以下にこの発明の方法とこれを実施する装置を添付図面
に示す一実施例に基づいて説明する。

図において、１はシリコンウェハのような薄板で実施例
では円板状でその一部を直線状に切除したものである。

このような薄板１を第１図のようにマガジン２に一定の
間隔で積上げる。このマガジン２は受台３上に載ってお
シ、受台３はユニット化されたスクリュージヤツキ式、
ラックピニオン式、シリンダ式などの昇降機構４により
一定のピッチで間欠的に下降し、Ｎｋ下端のものから１
枚づつ送出し手段５により取出される。

送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印方向に連
続駆動される無端ベルト７を有し、マガジン２が１ピツ
チ下ると最下段の薄板１がベルト７上に載って取出され
るものであるが、図示以外の機構のものを用いてもよい
。

また、図示省略しであるが、薄板１に方向決定用の切欠
がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒などか
らなる位置決め手段を設けて切欠を前向き−などの一定
の方向に修正する。

１０は前記昇降機構４、送出し手段５などを取付けた機
台で、その上部側方には機箱１１を設ける０ また、機箱１１には巻軸１５と巻取軸１６を設け１粘着
剤層を有するポリエチレンフィルムなどからなる保護フ
ィルム１７を巻軸１５に巻き、巻軸１５から引出した保
護フィルム１７をロー２１２の下側に巻いて巻取軸１６
に巻取らせるが、前記のローラ１２は機箱１１に設けた
昇降軸受などに取付けてバネにより下部のロー２１３上
へ押し付ける。

前記送出し手段５により送出された薄板１はローラ１２
，１３間において、粘着剤層を下面にした保護フィルム
１７の下面に貼着される。

第１図の２１はフィルムの展張兼剥離手段で、この剥離
手段２１は上下一対のローラ２ｏを移動台１９に取付け
たもので、この移動台１９は機箱１１に設けたガイドレ
ール２２に摺動自在に取付けられ、動力駆動の送りネジ
あるいはエアシリンダなどにより移動する。

前記ローラ１２，１３間を通過したフィルム１７は下部
のローラ２０の下を通り１反転して上下のロー２２０間
を通シ、再び反転して上部のロー２２０上から、前記巻
取軸１６の下方において機箱１１に取付けたガイドロー
ラ２３の下部に達し、このローラ２３の外周を回〕巻取
軸１６に巻取られる。上記のガイドローラ２３には機箱
１１に取付けた揺動レバー２４の下端に設けた押圧ロー
２２５が接触し、このレバー２４をエアシリンダ２６に
より操作して必要時にのみ押圧ローラ２５をガイドロー
ラ２３に圧着せしめる。３ｏは受台３１上に設けたテー
プ切抜手段で、その詳細は第２図ないし第３図の通シで
ある。

すなわち、第２図において、３２は機箱１１に昇降自在
に取付けられ、エアシリンダ３４で昇降する昇降台で、
この昇降台３２上にエアシリンダ３５により横方向に摺
動する摺動枠３６を取付ける０ この摺動枠３６にはモータ３９で駆動される垂直の回転
軸３８を取付け、その下部に横枠４０を固定する。この
横枠４０には手動ツマミ４１により回動する送シネジ４
２により左右に摺動する調節台４５を取付ける。この調
節台４５の下部にはガイドレール４６を設け、このガイ
ドレール４６に摺動体４７を取付けてエアシリンダ４８
で移動自在とし、この摺動体４７に設けたガイドレール
４９に取付けた摺動子５０のブラケット５１に切断部材
取付台５２をビン５３を中心に揺動可能に取付け、ブラ
ケット５１に設けた弧状孔に挿入して取付台５２のネジ
孔にねじ込んだ止ネジ５４で任意の角度に固定し得るよ
うにする。５７は取付台５２に１着脱自在に取付けた切
抜部材で、刃物を用いる場合と、電熱線を用いる場合と
がある。

刃物を用いる場合は刃先が常に進行方向に向くように留
意する必要があるが電熱線の場合はフィルム１７を溶融
させて切抜くので実線とすれば方向に留意する必要はな
い０ また、前記摺動体４７に取付けた調節ネジ５５と摺動子
５０間には引バネ５６を取付ける。

前記受台３１の上面には第１図のように大小のウェハの
外周形状に適合する複数の環状ならい溝６０を設けてあ
シ、この受台３１を支持台６１上に着脱自在に固定して
取替えられるようにしである。また、受台３１には多数
の真空吸引・孔を設け、この吸引孔を図示省略しである
真空吸引装置に連通させて受台３１上に移動してきた薄
板１を吸引固定し得るようにする。

薄板１がローラ１２，１３間に送シ込まれるときは移動
台は第１図の鎖線のようにローラ１２．１３に接近して
おシ、巻取軸１６の回転と、ローラ１２．１３の回転に
より保護フィルム１７が第１図の矢印方向に送られて薄
板１がロー２１２．１３間に入シフイルム１７の下面に
貼着されるとともに移動台１９も同方向に移動して第１
図の実線の位置まで移動台１９が移動して停止すると、
薄板１が丁度受台３１上となりフィルム１７はロー２１
２，２０の下部間に張り渡された状態とをシ、巻取軸１
６は停止し、移動台１９、ローラ１２．１３およびフィ
ルム１７が止り、同時に真空吸引装置が働き、薄板１が
受台３１上に吸着される。

この状態となるまでは上昇位置にあった昇降台３２がシ
リンダ３４によって下降し、その下端の取付台５２に取
付けた切抜部材５７がフィルム１７を貫通してその下端
が受台３１上のならい溝６０に嵌入する。

ついで、モータ３９が起動して回転軸３８が回転を始め
るので、これとともに取付台５２も回転を始め切抜部材
５７がならい溝６０に沿って旋回し、フィルム１７を薄
板１の外周に沿って切断する。薄板１が回転軸３８と同
心の円板状の場合は取付台５２および摺動子５０は摺動
体４７などに対して動くことなく旋回するが、薄板１の
一部に直線部があったシ、薄板１が円板以外の形状のと
きは取付台５２は摺動子５０とともに旋回しつつ、摺動
体４７などに対して半径方向に移動して薄板１の形状に
沿ってフィルム１７を切抜く。

こうしてフィルムが切抜かれると、昇降台３２が上昇し
、移動台１９がローラ１２，１３の方へ移動する。この
とき、巻軸１５、巻取軸１６を回らぬように制動してお
くことにより、切抜き後のフィルム１７は薄板１上に貼
着された部分を残してローラ２０の上部へ移行し、移動
台１９がローラ１２，１３に接近して停止すると、再び
巻軸１５、巻取軸１６の制動が弛み、巻取軸１６がフィ
ルム１７を巻取り、移動台１９が移動を始めて次の工程
となる。

上記の切抜きにおいてフィルム１７を薄板１の全周よシ
大きく切り抜く場合は第４図工のようにならい溝６０の
内側を薄板１の外周より大きくし、切抜部材５７を引バ
ネ５６によりならい婢６ｏの内周に沿わせて移動させる
。

フィルム１７を薄板１の外周と一致するように切抜く場
合は第４図■のようにならい溝６ｏの内側より薄板１の
外周を大きくして切抜部材５７を薄板１の外周に沿わせ
て移動させる。

また、第４図ｍのように薄板１の直線部１／をならい溝
６０の直線部６０′内に突出させ、薄板１の他の円周部
はならい溝６０内に突出させて、切抜部材５７を円周部
においては薄板１の外周に沿わせ、直線部１′において
はならい溝６０の直線部６０′　　に沿わせるようにす
れば第５図のように薄板１の直線部１′からフィルム１
７が突出し、他の部分ではフィルム１７と薄板１の周縁
とが一致しているものがあきる。

上記の方法は、切抜き開始とともに昇降台３２を下降さ
せ、第６図のように上方から切抜部材５７をフィルム１
７に刺し込んだのち矢印のように部材５７を旋回させて
一周させ、そののち、昇降台３２を上昇させて部材５７
をフィルム１７から抜き取る方法である。この場合、第
６図のａ点のように薄板１からずれた位置に部材５７を
挿入したのち、部材５７を矢印のように直線部の中央す
、まで直線移動させ、その位置から部材５７を回転させ
て切抜くこともできる。

その他に、第７図のように薄板１の周囲を一周してフィ
ルム１７を切断した切抜部材５７を引き抜かず、そのま
まの状態でフィルム１７を巻取っていく方法の場合はフ
ィルム１７の片側が切り裂かれるが切抜部材５７を１回
の切抜き毎に昇降させる工程が省略される。

ただし、このように切抜部材５７をフィルム１７から引
抜かない場合は移動台１９の移動が不可能となるので、
切抜き後のフィルム１７の１１１１は別の手段が必要と
なる。

薄板１の大きさが変更になると、第２図のツマミ４１を
回して調節台４５を移動させて切抜部材５７と回転軸３
８の軸芯間の距離を調節する。また、シリンダ３５で摺
動枠３６を移動させると回転軸３８の中心を移動させる
ことができる。

上記のように切抜部材５７を薄板などの物品からずれた
位置から挿入し得るようにするため、受台３１のならい
？＃６０に通じる直線状のガイド溝を受台３１上に適宜
設ける場合もある。

この場合の効果として刃物などの切抜部材５７の胴部で
の薄板などの物品のガイドがしやすくなシ円周部から直
線部への移動がスムースとなり切断面も美１くなる。

上記のように切抜かれたフィルム１７を上面に貼着した
状態で受台３１上に残った薄板１は移送手段６５により
つぎの搬出ベルト７２上へ送シ出される。

この移送手段６５は機箱１１の側面に設けた上下のガイ
ドレール６６に沿って移動する。すなわち、第８図のよ
うにガイドレール６６に摺動自在に係合した取付台６７
に昇降枠６８を奴付け、この枠６８の上端の腕６９の先
端に吸着器７０を取付けたもの′Ｃある。

この吸着器７０は真空吸引式である。すなわち、吸着器
７０を中空円板状とし、その下面に多数の小径吸引孔を
設け、吸着器７０内と図示省略しである真空吸引装置と
をフレキシブルパイプで連通して電磁弁などによって必
要に応じて真空吸引が行なえるようにしである。

゛その他の方法として吸着保持テーブルにエヤーの吹出
し部を設けてエヤーフロートを行うことにより送〕出す
こともできる。

また、図示省略しであるが、取付台６７は機箱１１に設
けたシリンダ機構、ラックピニオン機構、送シネジ機構
などの任意の機構により、ガイドレール６６に沿って移
動し、昇降枠６８は取付台６７に設けた駆動系などで昇
降する。

上記のように受台３１上において、貼着されたフィルム
１７を切抜かれた薄板１上に、前記の移送手段６５が移
動して昇降枠６８が下降し吸着器７０の下面がフィルム
１７を貼着した薄板１上に接すると同時に吸着器７０に
よる真空吸引が開始され、同時に受台３１による真空吸
引が解除される０ ついで、昇降枠６８が上昇して薄板１が受台、３１から
離れ、移動手段６５によりつぎの搬出手段７１へくると
昇降枠６８が下り、薄板１を搬出手段７１の無端搬出ベ
ルト７２上へ降し、吸着器７０は真空吸引を中止して上
昇する。このため、薄板１は搬出ベルト７２により搬出
される。

第１図の７５は前記のように薄板１上に切抜かれたフィ
ルム１７を張ったものを収納するマガジンである。この
マガジン７５は前記マガジン２とほぼ類似するもので、
適宜のユニット化された昇降機構７６により昇降される
受台７７上に載シ、搬出ベルト７２上を移動してきた薄
板１がマガジン７５内に１牧人る毎に受台７７が１ピ、
チ上昇する。

〔効　果〕

この発明は上記のように、上面に保護フィルムを貼着さ
れて受台上に固定されている薄板上に設けた旋回および
半径方向移動自在の切抜部材取付台を設け、これの取付
台の昇降と半径方向の移動により、取付台の下部の切抜
部材をフィルムに刺して受台上のならい溝またはこのな
らい溝上に突出している薄板の外周に沿って切抜いてい
くものであるから、薄板の形状の如何にかかわらず薄板
の形状の通シにフィルムを切抜くことができる。

また、薄板に対するならい溝の形状と大きさを適宜に選
定することにより薄板の周縁と全く同一になるようにフ
ィルムを切り抜いたシ、薄板の全周または一部よシフイ
ルムを一定量はみ出ているように切抜いたりすることが
自由にできるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の正面図、第２図
は同上要部の拡大側面図、第３図は同上旋回部の拡大正
面図、第４図工ｓ■、ｍは切抜き状態の各側を示す拡大
断面図、第５図はフィルムの一部をはみ出して切抜いた
薄板の斜視図、第６図、第７図はフィルムに対する切断
部材の動きの各側を示す平面図、第８図は移送手段の拡
大断面図である。 １・・・薄板、１７・・・保護フィルム、３１・・・受
台、３８・・・回転軸、５２・・・切抜部材取付台、ミ
５６・・・引バネ、５７・・・切抜部材、６０・・・な
らい溝特許出願人　　　日東電気工業株式会社同　代理
人　　鎌　１）文　二 第４図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、テープ状の粘着性薄板用保護フィルムを上面に貼着
   した薄板を支持して真空吸引により固定する機能を有し
   、上面に薄板の外周に沿う環状のならい溝を有する受台
   または薄板の外周をならいとする薄板の受台と、この受
   台の上方に設けた昇降および旋回ならびに半径方向移動
   自在の切抜部材取付台からなる装置を用い、この取付台
   に取付けた切抜部材を取付台とともに下降させて、フィ
   ルムに切り込むとともに、前記受台上の薄板の外周また
   は別途設けた薄板の外周に沿つて設けた環状ならい溝に
   前記切抜部材の下端を嵌入させたのち、切抜部材取付台
   を旋回させつつ、半径方向にも適宜移動させることによ
   り、切抜部材を前記環状ならい溝にならわせてフィルム
   を薄板の外周に沿つて切抜くことを特徴とする薄板用保
   護フィルムの切抜き方法。 ２、テープ状の保護フィルムの下面に貼着されて送られ
   てきた薄板を吸着して固定する受台上に薄板の外周に沿
   うならい溝を設け、この受台の上方には昇降自在の垂直
   の回転軸を設け、この回転軸の下端には半径方向に移動
   自在で引バネなどにより回転中心方向へ引かれる切抜部
   材取付台を設け、この取付台には前記受台上のならい溝
   またはならい溝内に突出した薄板の外周に沿つて移動す
   る切抜部材を設けた薄板用保護フィルムの切抜き装置。