JP2007168046A - テープカット装置及びテープカット方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWに密着されたテープTを切るカッター41a,41bと、カッター41a,41bをウエハWの外縁に沿って回動させる駆動機構44とを備える。カッター41a,41bは、ウエハWの外縁に接離する方向に移動可能に設けられ、カッター41a,41bを、テープTへの差し込み時にウエハWの外縁から離間した位置とし、その後はウエハWの外縁に接する位置に案内するカムプレート46,47を有する。
【選択図】図1
Description
以上のような請求項2の発明では、複数のカッターによってテープを切り取るため、切り取り時間を短縮することができる。
以上のような請求項3の発明では、カッターが基板の内側に付勢されているので、基板の外縁に確実に沿わせることができ、テープのはみ出しの発生を防止できる。
以上のような請求項6の発明では、切り取りの開始点が切り取りの終端となるのではなく、カッターが開始点の内側を通過してからもテープが大きく残った状態となり、テンションが有る状態で切り離し点まで切り進めることができるので、切り残しが少なくなる。
請求項7の発明は、請求項5又は請求項6のテープカット方法において、切り取りの終端の手前で、前記カッターの移動速度を変更させることを特徴とする。
[構成]
まず、本実施形態(以下、本装置と呼ぶ)の構成を、図1〜4を参照して説明する。なお、本装置は、保護用のテープをウエハにラミネートするラミネート装置の一部を構成するものであり、基板を搬入及び搬出する搬送装置、テープの送り出し、巻き取りを行うリール装置等については、公知のあらゆる技術を適用可能であるため、説明を省略する。また、テープの貼り付け時に気泡が混入することを防止するために、貼り合せ空間は真空源に接続された真空チャンバ内に構成されている。
以上のような本装置によって、テープTを切り抜く方法を、図1〜16を参照して説明する。なお、初期状態においては、図2及び図4に示すように、スライド部42a,42bのカムフォロア42c,42dは、カムプレート46,47の隆起部46a,47aに当接しているため、カッター41a,41bは、外側(ウエハWの外縁から所定距離離間した位置)にある。また、リールから送り出されるテープTは、ガイド部10によって水平に保持されている。
以上のような本実施形態によれば、カッター41a,41bの挿入位置Aa,Abは、ウエハWの外縁から離間しているので、円形のウエハWに公差からなるバラつきがあっても、挿入位置Aa,Abの正確な位置合せが不要となり、ウエハWを傷つけることもない。そして、最終的には、ウエハWの外縁に沿って切断されるので、テープTがウエハWからはみ出ることがなく、研磨くずの残留が防止できる。
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。例えば、カッターの数は、2つには限定されない。1本であってもよいし、3本以上であってもよい。案内機構の構造も、上記のようなカムには限定されない。内側に付勢されたカッターを、差し込み時のみ外側に押し出す機構を設けてもよいし、外側に付勢されたカッターを、差し込み後に内側に押し付ける機構を設けてもよい。モータドライブ等、駆動機構によって、カッターを半径方向の所望の位置に移動できるようにして、軌跡を自由に設定できる構成としてもよい。
11…ガイドローラ
13…ガイド
20…加圧部
21…加圧ローラ
30…載置部
31…サセプタ
40…カット部
41a,41b…カッター
42a,42b…スライド部
42c,42d…カムフォロア
43…アーム部
44…駆動機構
45…カム機構
46,47…カムプレート
46a,47a…隆起部
48…弾性部材
48a…バネポスト
440…制御装置
441…設定部
442…調整部
443…入力部
T…テープ
W…ウエハ
S…スライダ
Claims (7)
- 基板に密着されたテープを切るカッターと、前記カッターを基板の外縁に沿って移動させる駆動機構とを備えたテープカット装置において、
前記カッターは、基板の外縁に接離する方向に移動可能に設けられ、
前記カッターを、テープへの差し込み時に基板の外縁から離間した位置とし、その後は基板の外縁に接する位置に案内する案内機構を有することを特徴とするテープカット装置。 - 前記カッターは、複数設けられていることを特徴とする請求項1記載のテープカット装置。
- 前記カッターを、基板の内側に向かう方向に付勢する付勢手段が設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のテープカット装置。
- 前記駆動機構には、前記カッターの移動速度を調整する制御手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のテープカット装置。
- 基板に密着されたテープを、基板の外縁に沿ってカッターを移動させることにより切り取るテープカット方法において、
前記カッターを、テープにおける基板の外縁から離間した位置に差し込み、
その後は、基板の外縁に接する位置に案内しながら、カッターを移動させることを特徴とするテープカット方法。 - 切り取りの開始点からの軌跡に対して、切り取りの終端の手前の軌跡をオーバーラップさせることを特徴とする請求項5記載のテープカット方法。
- 切り取りの終端の手前において、前記カッターの移動速度を変更させることを特徴とする請求項5又は請求項6記載のテープカット方法。
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- 2005-12-26 JP JP2005371644A patent/JP2007168046A/ja active Pending
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