JP2020203326A - 切断装置および切断方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】切込の内側に形成される接着シートの外縁部が案内手段に接着することを防止することができる切断装置および切断方法を提供すること。【解決手段】接着シート基材ABが貼付された被着体WKを支持する支持手段10と、接着シート基材ABを切断可能な切断手段23を移動させ、接着シート基材ABに閉ループ状の切込CUを形成し、当該切込CUの内側に所定形状の接着シートASを形成する移動手段20と、支持手段10で支持された被着体WKの外側に位置し、移動手段20で移動される切断手段23を案内する案内手段30とを備え、案内手段30は、切込CUによって形成される接着シートASの反対側となる切断手段23の外側部分23Aを当接させ、当該切断手段23を案内する案内部31Aを備えている。【選択図】図1

Description

本発明は、切断装置および切断方法に関する。
案内手段に沿って切断手段を移動させ、接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成する切断装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2004−79768号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の貼付装置1(切断装置)では、切込の内側に形成される接着シート側となる刃201b(切断手段)の内側部分を突起片201c(案内手段)に当接させ、当該案内手段に沿って切断手段を移動させるため、接着シートの外縁部が案内手段に接着し、当該接着シートが貼付されたウェハーW(被着体)を第2テーブル201b(支持手段)から容易に取り外すことができなくなるという不都合を発生する。
本発明の目的は、切込の内側に形成される接着シートの外縁部が案内手段に接着することを防止することができる切断装置および切断方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、切断手段の外側部分を案内手段の案内部に当接させ、当該切断手段を案内するので、切込の内側に形成される接着シートの外縁部が当該案内手段に接着することを防止することができる。
また、案内手段が助走路を備えていれば、形成する接着シートの外縁に切断手段の差込み痕が形成されることを防止することができる。
(A)、(B)は、本発明の実施形態に係る切断装置の説明図。(C)〜(H)は、本発明の変形例に係る切断装置の説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の切断装置EAは、接着シート基材ABが貼付された被着体WKを支持する支持手段10と、接着シート基材ABを切断可能な切断手段としての切断刃23を移動させ、接着シート基材ABに閉ループ状の切込CUを形成し、当該切込CUの内側に所定形状の接着シートASを形成する移動手段20と、支持手段10で支持された被着体WKの外側に位置し、移動手段20で移動される切断手段23を案内する案内手段30とを備え、被着体WKに接着シート基材ABを貼付するシート貼付手段40とでシート貼付装置EA1を形成している。
なお、本実施形態では、被着体WKは、図1(A)の状態で上方から見下した平面視で円形のものが採用される。
支持手段10は、駆動機器としてのリニアモータ11と、そのスライダ11Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって保持面12Aで吸着保持が可能な支持テーブル12とを備えている。
移動手段20は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム21Aで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット21と、支持アーム22を介して先端アーム21Aに支持された切断刃23とを備えている。
案内手段30は、支持テーブル12に支持され、切込CUによって形成される接着シートASの反対側となる切断刃23の外側部分23Aを当接させ、当該切断刃23を案内する案内部としての内周壁31Aを有する案内プレート31を備えている。
シート貼付手段40は、接着シート基材ABが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを支持する支持ローラ41と、原反RSを案内するガイドローラ42と、剥離縁43Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シート基材ABを剥離する剥離手段としての剥離板43と、被着体WKに接着シート基材ABを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ44と、駆動機器としての回動モータ45Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ45Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ45と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EA1の自動運転が行われている間、ピンチローラ45Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ46とを備えている。
以上の切断手段の切断装置EAが採用されたシート貼付装置EA1の動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段40が回動モータ45Aを駆動し、原反RSを繰り出して先頭の接着シート基材ABの繰出方向先端部が剥離板43の剥離縁43Aで所定長さ剥離されると、回動モータ45Aの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)中実線で示すように、保持面12A上に被着体WKを載置すると、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面12Aでの被着体WKの吸着保持を開始する。
その後、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、支持テーブル12を左方に移動させ、被着体WKが所定の位置に到達すると、シート貼付手段40が回動モータ45Aを駆動し、被着体WKの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シート基材ABが剥離シートRLから剥離され、当該剥離シートRLから剥離された接着シート基材ABは、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ44によって案内プレート31の上面および被着体WKの上面に押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シート基材ABに次ぐ次の接着シート基材ABの繰出方向先端部が、剥離板43の剥離縁43Aで所定長さ剥離されると、シート貼付手段40が回動モータ45Aの駆動を停止する。そして、案内プレート31および被着体WKに接着シート基材AB全体が貼付され、支持テーブル12が移動手段20の作業範囲内に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止する。
次いで、移動手段20が多関節ロボット21を駆動し、図1(B)中実線で示すように、切断刃23の外側部分23Aが案内プレート31の内周壁31Aに当接するように、切断刃23を接着シート基材ABに突き刺す。その後、移動手段20が多関節ロボット21を駆動し、所定の押圧力で切断刃23を内周壁31Aに押し当てながら、当該切断刃23を内周壁31Aに沿って1周または1周以上回転させ、閉ループ状の切込CUを形成する。これにより、切込CUの内側に円形の接着シートASが形成され、当該接着シートASが被着体WKに貼付された一体物UPが形成される。
次に、移動手段20が多関節ロボット21を駆動し、切断刃23を初期位置に復帰させると、支持手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面12Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。そして、使用者または、図示しない運搬手段が一体物UPを支持テーブル12上から取り去り、当該一体物UPを次工程に搬送する。この際、接着シートASの外縁部が案内プレート31に接着していないので、使用者または、図示しない運搬手段は、一体物UPを支持手段10から容易に取り外すことができる。次いで、使用者または図示しないシート剥離手段が、接着シートASが切り抜かれた接着シート基材ABを案内プレート31上から剥離すると、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、支持テーブル12を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、切断刃23の外側部分23Aを案内プレート31の内周壁31Aに当接させ、当該切断刃23を案内するので、切込CUの内側に形成される接着シートASの外縁部が案内プレート31に接着することを防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、接着シート基材が貼付された被着体を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。
支持手段10は、平面視で円形以外の例えば、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等その他形状の支持テーブル12を備えていてもよいし、保持面12Aが吸着保持できなくてもよいし、予め接着シート基材ABが貼付された被着体WKを保持面12Aで支持する構成でもよく、この場合、本発明の切断装置EAやシート貼付装置EA1にシート貼付手段40が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
移動手段20は、切込CUを形成することで、平面視で円形以外の例えば、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等その他形状の接着シートASを形成してもよいし、切断刃23を内周壁31Aに押し当てる押圧力を検知可能な押圧力検知手段を採用し、当該押圧力検知手段の検知結果を基にして、切断刃23を所定の押圧力で内周壁31Aに押し当てながら、当該切断刃23を内周壁31Aに沿って1周または1周以上回転させる構成としてもよいし、切断手段として切断対象物に切込CUを形成可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃23の延出方向(図1(A)で示す状態におけるZ軸方向)に対して峰が平行で刃先が傾斜した切断刃23が採用されてもよいし、切断刃23の延出方向に対して刃先が平行で峰が傾斜した切断刃23が採用されてもよいし、切断刃23の延出方向に対して刃先および峰の両方が傾斜した切断刃23が採用されてもよいし、本来峰にあたる側にも刃先が形成された所謂両刃の切断刃23が採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃23が採用されてもよい。
移動手段20は、切断刃23の切っ先側が被着体WKから遠ざかる方向に当該切断刃23を傾斜させて接着シート基材ABに切込CUを形成してもよいし、同切っ先側が被着体WKに接近する方向に当該切断刃23を傾斜させて接着シート基材ABに切込CUを形成してもよいし、同切っ先側が被着体WKから遠ざかる方向または接近する方向にも傾斜させることなく接着シート基材ABに切込CUを形成してもよいし、被着体WKの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ABに切込CUを形成してもよいし、接着シート基材ABを介して被着体WKが保持面12Aに支持されたものに対し、当該接着シート基材ABに切込CUを形成してもよいし、接着シートASが切り抜かれた接着シート基材ABを保持可能な保持手段を先端アーム21Aで支持し、当該接着シートASが切り抜かれた接着シート基材ABを案内プレート31上から剥離するシート剥離手段として機能するように、多関節ロボット21を構成してもよい。
移動手段20が切込CUを形成する際、内周壁31Aに当接させる切断刃23の外側部分23Aは、当該切断刃23の刃先を形成する一方の面や、当該切断刃23の切っ先を形成する一方の面、さらには、当該切断刃23の腹(平)の一方の面等、どこの面でもよいし、切断刃23に取り付けた他の部材等であってもよい。
移動手段20は、切断刃23の回転方向の厚みによって回転前に形成される切込CUの長さを考慮し、切断刃23を1周以下となるように回転移動させ、接着シート基材ABに閉ループ状の切込CUを形成してもよい。この場合、切断刃23の回転方向の厚みが大きいほど切断刃23の移動距離は小さくなる。
案内手段30は、前記実施形態では、側面視で直線状の内周壁31Aを案内部として例示したが、側面視で曲線状や凹凸状の内周壁31Aを案内部としてもよいし、プレート状のものでなく、リング状のもので構成してもよいし、平面視で円形以外の例えば、三角形や四角形以上の多角形、楕円形等その他形状の内周壁31Aが形成された案内プレート31を備えていてもよいし、図1(C)に示すように、前記実施形態で示した案内プレート31に対し、大きさまたは形状の異なる内周壁31Aが形成された案内プレート31を支持テーブル12に対して取り換え可能に構成していてもよいし、図1(D)に示すように、図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面31Bが案内プレート31に形成されていてもよいし、図1(E)に示すように、図1(D)で示した案内プレート31に対し、大きさまたは形状の異なる内周壁31Aおよび保持面31Bが形成された案内プレート31を支持テーブル12に対して取り換え可能に構成していてもよいし、案内プレート31を支持テーブル12に対して取り換え不能に構成していてもよいし、保持面31Bが吸着保持できなくてもよいし、案内プレート31の上面が吸着保持可能でもよいし、予め接着シート基材ABが貼付された被着体WKの当該接着シート基材ABを支持してもよく、この場合、本発明の切断装置EAやシート貼付装置EA1にシート貼付手段40が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。図1(D)、(E)の場合、支持手段10は案内手段30を介して被着体WKを支持することになる。
案内プレート31は、図1(F)〜(H)に示すように、移動手段20による切断刃23の移動によって形成される接着シートASの外縁を通る軌道を正規軌道RCとしたとき、当該正規軌道RCよりも被着体WKから離れた位置DPから、切断刃23を正規軌道RCに導く助走路ACを備えていてもよい。なお、正規軌道RCよりも被着体WKから離れた位置DPは、接着シート基材ABが貼付されていている位置でもよいし、接着シート基材ABが貼付されていない位置でもよい。また、移動手段20は、外側部分23Aを内周壁31Aに押し当てながら切断刃23を助走路AC内で移動させてもよいし、外側部分23Aを内周壁31Aに押し当てずに切断刃23を助走路AC内で移動させてもよい。
シート貼付手段40は、剥離シートRLに仮着された帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シート基材ABとされた原反を繰り出してもよいし、帯状接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、帯状接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シート基材ABとしてもよいし、帯状接着シート基材を被着体WKに貼付する構成でもよいし、接着シート基材ABを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ45Aのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ41やガイドローラ42等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シート基材ABを保持し、当該保持部材で保持した接着シート基材ABを被着体WKに押圧して貼付する構成の押圧手段を採用してもよいし、剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLを回収してもよいし、剥離シートRLを回収しなくてもよいし、支持テーブル12を移動させずにまたは移動させつつ、剥離板43、押圧ローラ44、駆動ローラ45等を移動させて被着体WKに接着シート基材ABを貼付してもよいし、剥離シートRLが仮着されていない接着シート基材ABを繰り出して被着体WKに貼付してもよいし、本発明の切断装置EAやシート貼付装置EA1に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
接着シート基材ABは、案内プレート31に貼付されてもよいし、貼付されなくてもよい。
本発明の切断装置EAは、シート貼付装置EA1以外に、例えば、接着シートASを積層するシート積層装置や、接着シートASに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置EA1や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
本発明における接着シート基材AB、接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ABや接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ABや接着シートASが採用された場合は、当該接着シート基材ABや接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ABや接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ABや接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
EA 切断装置
10 支持手段
20 移動手段
23 切断刃(切断手段)
23A 外側部分
30 案内手段
AB 接着シート基材
AC 助走路
AS 接着シート
CU 切込
RC 正規軌道
WK 被着体

Claims (3)

  1. 接着シート基材が貼付された被着体を支持する支持手段と、
    前記接着シート基材を切断可能な切断手段を移動させ、前記接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成する移動手段と、
    前記支持手段で支持された前記被着体の外側に位置し、前記移動手段で移動される前記切断手段を案内する案内手段とを備え、
    前記案内手段は、前記切込によって形成される前記接着シートの反対側となる前記切断手段の外側部分を当接させ、当該切断手段を案内する案内部を備えていることを特徴とする切断装置。
  2. 前記案内手段は、前記移動手段による前記切断手段の移動によって形成される前記接着シートの外縁を通る軌道を正規軌道としたとき、当該正規軌道よりも前記被着体から離れた位置から、前記切断手段を前記正規軌道に導く助走路を備えていることを特徴とする請求項1に記載の切断装置。
  3. 接着シート基材が貼付された被着体を支持手段で支持する支持工程と、
    前記接着シート基材を切断可能な切断手段を移動させ、前記接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に所定形状の接着シートを形成する移動工程と、
    前記支持手段で支持された前記被着体の外側に位置する案内手段で、前記移動工程で移動される前記切断手段を案内する案内工程とを実施し、
    前記案内工程では、前記切込によって形成される前記接着シートの反対側となる前記切断手段の外側部分を前記案内手段の案内部に当接させ、当該切断手段を案内することを特徴とする切断方法。
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