JPS6038897A - 薄板とリングの貼着方法 - Google Patents
薄板とリングの貼着方法Info
- Publication number
- JPS6038897A JPS6038897A JP58148550A JP14855083A JPS6038897A JP S6038897 A JPS6038897 A JP S6038897A JP 58148550 A JP58148550 A JP 58148550A JP 14855083 A JP14855083 A JP 14855083A JP S6038897 A JPS6038897 A JP S6038897A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- ring
- thin plate
- adhesive tape
- film
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Adhesive Tape Dispensing Devices (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば集積回路形成用の基盤となるシリコン
・クエハのような円形状など−の１ＬＩｆ ｌかと、こ
の薄板のキャリヤ治具となる円形環状などのリングを１
枚の粘着フィルムに貼着する方法に関するものである。
・クエハのような円形状など−の１ＬＩｆ ｌかと、こ
の薄板のキャリヤ治具となる円形環状などのリングを１
枚の粘着フィルムに貼着する方法に関するものである。
従来では上記のようなリング状のキャリヤ冶具に対する
フィルムの貼着と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は手作業で行ない、リングの周囲からはみ出し
たフィルムの切り取りも手作業で行なっていたのできわ
めて手数かかかり、かつ皺ができないように張ることは
回置（て、熟練を一要するなどの問題があった。
フィルムの貼着と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は手作業で行ない、リングの周囲からはみ出し
たフィルムの切り取りも手作業で行なっていたのできわ
めて手数かかかり、かつ皺ができないように張ることは
回置（て、熟練を一要するなどの問題があった。
この発明は上記のようなリングにフィルムを貼着すると
ともに薄板をフィルムに貼着する作業およびフィルムを
リングに沿って１ＪＪＩｌｔする作業なとを連続して能
率よく行なう方１去を提供することを目的とするもので
、フィルム状の粘着テープを一定のピッチで間欠的に移
動する間に薄４かおよびリングを順次貼着し、かつテー
プをリングに沿って切取っていく一連の工程からなるも
のである。
ともに薄板をフィルムに貼着する作業およびフィルムを
リングに沿って１ＪＪＩｌｔする作業なとを連続して能
率よく行なう方１去を提供することを目的とするもので
、フィルム状の粘着テープを一定のピッチで間欠的に移
動する間に薄４かおよびリングを順次貼着し、かつテー
プをリングに沿って切取っていく一連の工程からなるも
のである。
以下にこの発明の方法を添付図面に示す実施例に基つい
て説明する。
て説明する。
図において、１はシリコンウニ／１のような薄板で第２
図の例では円板状であるが、その他に円板の一部を直線
状に切除したものや四角形、三角形などのものがある。
図の例では円板状であるが、その他に円板の一部を直線
状に切除したものや四角形、三角形などのものがある。
このような薄板１を第１図のようにマガジン２に一定の
間隔て積上ける。このマガジン２は受台３上に載ってお
り、受台３はユニット化されたスクリュージヤツキ式、
ラックピニオン式、シリンダ式なとの昇降機構４により
一定のピッチで間欠的に下降し、最下端のものから１枚
づつ送出し手段５により取出される。
間隔て積上ける。このマガジン２は受台３上に載ってお
り、受台３はユニット化されたスクリュージヤツキ式、
ラックピニオン式、シリンダ式なとの昇降機構４により
一定のピッチで間欠的に下降し、最下端のものから１枚
づつ送出し手段５により取出される。
送出し手段５は駆動プーリ６により第１図矢印方向に連
続駆動される無端車送ベルト７を有し、マガジン２が１
ピツチ下ると最下段の薄板１がベルト７」二に載って取
出されるものであるが、図示以外の機構のものを用いて
もよい。
続駆動される無端車送ベルト７を有し、マガジン２が１
ピツチ下ると最下段の薄板１がベルト７」二に載って取
出されるものであるが、図示以外の機構のものを用いて
もよい。
また、図示省略しであるが、薄Ｖｊ１に方向決定用の切
欠がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒など
からなる位置決め手段を設けて切欠を前向きなとの一定
の方向に修正する。
欠がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒など
からなる位置決め手段を設けて切欠を前向きなとの一定
の方向に修正する。
１０は前記昇降機構４、送出し手段５などを取付けた機
台て、その」二部側かには機箱１１を設ける。
台て、その」二部側かには機箱１１を設ける。
１２．１３は機箱１１と機台１０に設＋５だ」二部のロ
ーラて、第１図の矢印方向に間欠駆動される。
ーラて、第１図の矢印方向に間欠駆動される。
また、第４図のように機台１０に設けた巻軸１４から引
出された粘着テープ１５かカイトローラ１６を経てロー
ラ１３」ニへ導かれる。このテープ１５は片面に粘着面
を設けたポリエチレンなどのフィルムで、粘着面を」二
にしてローラ１３」二に向かう。
出された粘着テープ１５かカイトローラ１６を経てロー
ラ１３」ニへ導かれる。このテープ１５は片面に粘着面
を設けたポリエチレンなどのフィルムで、粘着面を」二
にしてローラ１３」二に向かう。
また、機箱１１には巻軸１８と巻取軸１９を設け、ポリ
エチレンフィルムなと７Ｊ）らなる保護テープ２０を巻
軸１８に巻き、巻ｌｉｍｂ １８から引出した保護テー
プ２ｏをローラ１２の下側；こ巻いて巻取軸１９に巻取
らせるが、前記のローラ１２は機箱１１に設けた揺動レ
バーなどに取（Ｎｊけてバネによりローラ１３上へ押し
付りる。
エチレンフィルムなと７Ｊ）らなる保護テープ２０を巻
軸１８に巻き、巻ｌｉｍｂ １８から引出した保護テー
プ２ｏをローラ１２の下側；こ巻いて巻取軸１９に巻取
らせるが、前記のローラ１２は機箱１１に設けた揺動レ
バーなどに取（Ｎｊけてバネによりローラ１３上へ押し
付りる。
前記送出し手段５により送出された薄オル１は口・−ラ
１３」二の粘着テープ１５とローラ１２の下部の保護テ
ープ２０て挾まれてテープ１５上に貼着される。ローラ
１３，１２はゴムローラであるから、保護テープ２０が
ない場合、万一薄板１が割れるとその破片がローラ１２
の表面に突きささり、つきの薄板１の表面に傷をつける
おそれがある。しかし実施例のように保護テープ２０が
あれは破片は保護テープ２０に耐着して巻取られるので
上記のようなおそれはない。
１３」二の粘着テープ１５とローラ１２の下部の保護テ
ープ２０て挾まれてテープ１５上に貼着される。ローラ
１３，１２はゴムローラであるから、保護テープ２０が
ない場合、万一薄板１が割れるとその破片がローラ１２
の表面に突きささり、つきの薄板１の表面に傷をつける
おそれがある。しかし実施例のように保護テープ２０が
あれは破片は保護テープ２０に耐着して巻取られるので
上記のようなおそれはない。
第２図の平面図において、２２はキャリヤ治具のような
リング２３のマガジンで、図示省略しであるが、第１図
に示す薄板のマガジン２とほぼ同様の構造であり、受台
３と同様の受台に載って１ピツチ毎に間欠的に下降する
もので、図示省略しである駆動機構で駆動される押出部
材２４により最下端のものから間欠的に矢印方向に押出
されてａの位置となる。
リング２３のマガジンで、図示省略しであるが、第１図
に示す薄板のマガジン２とほぼ同様の構造であり、受台
３と同様の受台に載って１ピツチ毎に間欠的に下降する
もので、図示省略しである駆動機構で駆動される押出部
材２４により最下端のものから間欠的に矢印方向に押出
されてａの位置となる。
ａの位置のリング２３は例えば第３図のような移送手段
２５によりテープ切断手段２６上へ移送する。
２５によりテープ切断手段２６上へ移送する。
この移送手段２５は機箱１１に固定したがイドアーム２
７に沿って送りネジなとて進退する移送台２９と、この
台２９にエアシリンダなどにより昇降するよう取付けた
吸引器３０からなっている。
７に沿って送りネジなとて進退する移送台２９と、この
台２９にエアシリンダなどにより昇降するよう取付けた
吸引器３０からなっている。
この吸引器３０は中空でリング状の底部突出部に多数の
吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキシブルチューブ（
図示省略）により、図示省略しである真空吸引装置に連
結して、第３図のように機台１０上のリング２３を吸着
して一ト昇し、鎖線の位置へ移動して下降し、テープ切
断手段２６−１−のテープ１５上へリング２３を下降さ
せて吸引・２解除して上昇し、元の位置・＼復帰する運
動分行なうようにする。
吸引孔を設け、吸引器３０内をフレキシブルチューブ（
図示省略）により、図示省略しである真空吸引装置に連
結して、第３図のように機台１０上のリング２３を吸着
して一ト昇し、鎖線の位置へ移動して下降し、テープ切
断手段２６−１−のテープ１５上へリング２３を下降さ
せて吸引・２解除して上昇し、元の位置・＼復帰する運
動分行なうようにする。
切断手段２６は第３図のように機箱１１に取付けたエア
シリンダ３３て昇降するアーム３４端に設ける。アーム
３４端の下部にギヤモータ３５を固定し、このモータ３
５で旋回される旋回枠３６上に軸３７を支点として揺動
するカッタアーム３８を取付け、このアーム３８の先端
に自由回転の円板状カッタ３９を取付けたもので、アー
ム３８の先端はバネ４０により押上する。
シリンダ３３て昇降するアーム３４端に設ける。アーム
３４端の下部にギヤモータ３５を固定し、このモータ３
５で旋回される旋回枠３６上に軸３７を支点として揺動
するカッタアーム３８を取付け、このアーム３８の先端
に自由回転の円板状カッタ３９を取付けたもので、アー
ム３８の先端はバネ４０により押上する。
また、旋回枠３６の中心に固定した垂直の軸４１の」二
端に円板状の押え板４２を回動自在に取イリけ、この押
え板４２の外周上面に円形環状のゴム４３を数句けて旋
回枠３６の下部周囲に設けた複数の脚に押え板４２の下
部周面に接するローラ４４を設ける。
端に円板状の押え板４２を回動自在に取イリけ、この押
え板４２の外周上面に円形環状のゴム４３を数句けて旋
回枠３６の下部周囲に設けた複数の脚に押え板４２の下
部周面に接するローラ４４を設ける。
従って薄板１を上面に貼着したテープ１５の移動に伴い
、１１が切断手段２６上にきて停止すると、前記のよう
に移送手段２５が作動してリング２３をテープ１５」二
へ載せた条件で、エアシリング３３が作用し、アーム３
４が上昇して押え板４２」二のゴム４３と吸引器３０で
リング２３とテープ１５を挾み、カッタ３９がテープ１
５に切込むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠３
６が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断する
。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完全に切断し
たとき、モータ３５が停止し、シリング３３によりアー
ム３４が下り、吸引器３０も復帰する。
、１１が切断手段２６上にきて停止すると、前記のよう
に移送手段２５が作動してリング２３をテープ１５」二
へ載せた条件で、エアシリング３３が作用し、アーム３
４が上昇して押え板４２」二のゴム４３と吸引器３０で
リング２３とテープ１５を挾み、カッタ３９がテープ１
５に切込むとともにモータ３５により軸４１、旋回枠３
６が回転してリング２３の下面でテープ１５を切断する
。旋回枠３６が約２回転してテープ１５を完全に切断し
たとき、モータ３５が停止し、シリング３３によりアー
ム３４が下り、吸引器３０も復帰する。
切断後のテープ１５は第１図、第４図のように切断手段
２６の前方てローラ４５に誘導され、ガイドローラ４６
を経て巻取軸４７に巻取られる。
２６の前方てローラ４５に誘導され、ガイドローラ４６
を経て巻取軸４７に巻取られる。
従って巻取られる粘着テープ１５には第４図のよう；こ
切断により孔３２がおいており、薄板１を貼着したフィ
ルム１５を張ったリング２３はテープ１５から離れてロ
ーラ４８の下を通り、コンベヤ４９上へ移動するが、ロ
ーラ４８やコンベヤ４９は機箱１１や機台１０に取付け
たものである。
切断により孔３２がおいており、薄板１を貼着したフィ
ルム１５を張ったリング２３はテープ１５から離れてロ
ーラ４８の下を通り、コンベヤ４９上へ移動するが、ロ
ーラ４８やコンベヤ４９は機箱１１や機台１０に取付け
たものである。
第１図の５１は前記のように薄（ル１、フィルム１ｇを
張ったリング２３を収納するマガジンである。このマガ
ジン５１は前記各マｉｆシン２ 、２２とほぼ類似する
もので、適宜のユニット化された昇降機構５２により昇
降される受台５３」二に載り、コンベヤ４９上を移動し
てきたリング２３がマガジン５１内に１牧人る毎に受台
５３が１ピツチ上昇する。
張ったリング２３を収納するマガジンである。このマガ
ジン５１は前記各マｉｆシン２ 、２２とほぼ類似する
もので、適宜のユニット化された昇降機構５２により昇
降される受台５３」二に載り、コンベヤ４９上を移動し
てきたリング２３がマガジン５１内に１牧人る毎に受台
５３が１ピツチ上昇する。
この発明は上記のようにフィルム状の粘着テープを粘着
面を上にして長手方向に間欠的に移動させ、送出し手段
により１枚一つつ送出される薄板を、ｔ’＋ｉＪ記粘着
テープとその上方に右いて、粘着テープと同様に間欠的
に移動している保護テープ間に挾み、この両テープを上
下のローラにより圧着して、粘−６テープトに薄板を貼
着したのち、保護フィルムはテープおよＯ薄板から剥離
して巻取ローラにより巻取る工程と、薄板を貼着した粘
着テープ上にリングを供給して、乙のリングを薄板の外
側を囲む位置として粘着テープ上に貼着し、ついで、リ
ングの下面において、テープをリングに沿って切り離し
、薄イ加を貼着したフィルムを張ったリングは適宜回収
し、残りの孔あきテープは適宜巻取る工程とからなるも
のであるから、送出し手段から送出された薄板の粘着テ
ープ上への貼着や、こうして貼着された薄板を囲むリン
グの貼着が人手によらず自動的に行なえるが、薄４ルの
貼着時には保護フィルムを用いて薄板が割れたさいに破
片がローラにささらないようにしたので、その後に続く
薄板に疵が付かないという効果がある。さらに、これら
の貼着はローラ間に張られたテープ上において行なわれ
、しかもリングの下面において、切断手段が作用してテ
ープをリングに張ったまま切断するので切断がきわめて
正確に行なえ、かつフィルムに皺が生じない。さらに切
断１糸のｒＬのあいたテープは巻取りローラにより在数
られるのて切断液のテープの処分が容易であるなどの効
果かある。
面を上にして長手方向に間欠的に移動させ、送出し手段
により１枚一つつ送出される薄板を、ｔ’＋ｉＪ記粘着
テープとその上方に右いて、粘着テープと同様に間欠的
に移動している保護テープ間に挾み、この両テープを上
下のローラにより圧着して、粘−６テープトに薄板を貼
着したのち、保護フィルムはテープおよＯ薄板から剥離
して巻取ローラにより巻取る工程と、薄板を貼着した粘
着テープ上にリングを供給して、乙のリングを薄板の外
側を囲む位置として粘着テープ上に貼着し、ついで、リ
ングの下面において、テープをリングに沿って切り離し
、薄イ加を貼着したフィルムを張ったリングは適宜回収
し、残りの孔あきテープは適宜巻取る工程とからなるも
のであるから、送出し手段から送出された薄板の粘着テ
ープ上への貼着や、こうして貼着された薄板を囲むリン
グの貼着が人手によらず自動的に行なえるが、薄４ルの
貼着時には保護フィルムを用いて薄板が割れたさいに破
片がローラにささらないようにしたので、その後に続く
薄板に疵が付かないという効果がある。さらに、これら
の貼着はローラ間に張られたテープ上において行なわれ
、しかもリングの下面において、切断手段が作用してテ
ープをリングに張ったまま切断するので切断がきわめて
正確に行なえ、かつフィルムに皺が生じない。さらに切
断１糸のｒＬのあいたテープは巻取りローラにより在数
られるのて切断液のテープの処分が容易であるなどの効
果かある。
第１図はこの発明方法を実１血する装置の一例を示す正
面図、第２図は同上の侶面図、第３図は第１図Ａ−Ａ線
の拡大縦断側１１ｆｉ図、第４図は要部の斜視図である
。 １・・・薄板、５・・・送出し手段、１４． 、１８・
・・巻軸。 １５・・・テープ、１５・・・フィルム １９．４７・
・巻取軸、２０・・・保護テープ、２３・・・リング、
２６・・・テープ切断手段。 特許出願人 日東電気工業株式会化 同 代理人 鎌 ［」」 文 二
面図、第２図は同上の侶面図、第３図は第１図Ａ−Ａ線
の拡大縦断側１１ｆｉ図、第４図は要部の斜視図である
。 １・・・薄板、５・・・送出し手段、１４． 、１８・
・・巻軸。 １５・・・テープ、１５・・・フィルム １９．４７・
・巻取軸、２０・・・保護テープ、２３・・・リング、
２６・・・テープ切断手段。 特許出願人 日東電気工業株式会化 同 代理人 鎌 ［」」 文 二
Claims (1)
- フィルム状の粘着テープを粘着面を」二にして長手方向
に間欠的に移動させ、送出し手段により１枚つつ送出さ
れる薄板を、前記粘着テープとその上方において、粘着
テープと同様に間欠的に移動している保換テープ間に挾
み、この両テープを上下のロー ラにより圧着して、粘
着テープ上に薄板を貼着したのち、保、獲フィルムはテ
ープおよび薄板から剥離して巻取ローラにより巻取る工
程と、薄板を貼着した粘着テープ上にリングを供給して
、このリングを薄板の外側を囲む位置として粘着テープ
−１−に貼着し、ついでリングの下面において、テープ
をリングに沿って切り離し、薄板を貼着したフィルムを
張ったリングは適宜回収し、残りの孔あきテープは適宜
巻取る工程とからなる薄枦とリングの貼着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148550A JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58148550A JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6038897A true JPS6038897A (ja) | 1985-02-28 |
| JPS6337018B2 JPS6337018B2 (ja) | 1988-07-22 |
Family
ID=15455263
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58148550A Granted JPS6038897A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 薄板とリングの貼着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038897A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312563A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH01209262A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-23 | Shin Nippon Koki Kk | テープの横ずれ防止方法およびその装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339330A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-11 | Hitachi Ltd | Application of adherends to articles |
| JPS55128817A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-06 | Hitachi Ltd | Device for bonding piece on tape |
| JPS5839846U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-16 | 東芝機械株式会社 | テ−プ自動貼付装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL176785C (nl) * | 1974-03-05 | 1985-06-03 | Stamicarbon | Werkwijze voor het toevoegen van vaste toeslagstoffen aan thermoplastische kunststoffen. |
-
1983
- 1983-08-11 JP JP58148550A patent/JPS6038897A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5339330A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-11 | Hitachi Ltd | Application of adherends to articles |
| JPS55128817A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-06 | Hitachi Ltd | Device for bonding piece on tape |
| JPS5839846U (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-16 | 東芝機械株式会社 | テ−プ自動貼付装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312563A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH01209262A (ja) * | 1988-02-16 | 1989-08-23 | Shin Nippon Koki Kk | テープの横ずれ防止方法およびその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6337018B2 (ja) | 1988-07-22 |
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