JPS59113636A - 全自動ウエ−ハ−のテ−プ貼着機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体用シリコンウェーへの表面にテープを自
動的に貼着する全自動ウェーハのテープ貼着機に係る。

従来、Ｉ　Ｃ，Ｌ　８　ＩＪ、ルイ＆！Ｖ　Ｌ　Ｓ　Ｉ
　ノｖ造は、不純物金属を高温炉中におい℃ガス化して
、この炉中でシリコンウェーハ中に拡散させて接合を作
って、このウェーノ・を使用目的に合った形状のチップ
に切断して造られる。このチップの大きさは１〇−前後
、あるいはそれ以下の非常に小さなもので、例えば直径
三インチのウェーハ表面な経横に各１ｍｓ＋もしくはそ
れ以下の幅に基盤Ｈ状の切溝な切断砥石で入れて切断す
るが、切断によって各チップが分離散乱しな〜＼ように
、あらかじめウェー７１表面に紙テープを貼着しておく
ことが知られており、そのチー１貼着は一枚づつ人手に
よって貼着されており、従って能率が悪く、かつ均等に
密着させることは非常に困難で熟糾乞を要するもので、
技術の最先端を行く半導体産業における難点の一つであ
った。

本発明はこれら従来の難点を一挙に解決する全自動テー
プ貼着機を提供することを目的としており、次のように
構成している。すなわち、テーブル上にウェーノーとそ
の周縁にマウント７レームとを自動的に順次連続して載
置する機構と、該テーブル上のマウントフレームとウエ
ーへ面にテープを重置貼着して一体とし、貼着テープを
マウントフレームから切断する機構と、テープを貼着し
たマウントフレームとウェーハとをテーブル外に送出す
機構とを有し、上記各ａ！構は循環状に自動連続作動す
ることを特徴とする全自動ウェーハのテープ貼着機に係
る。

上記のように構成した本発明によると、中央部に位置し
たテーブル上にウェーハを半転して一面を上にして載置
する機構があり、その作動カ終ると続いてマウントフレ
ームをウェーハの外周部に位置してテーブル上に載置す
る機構がある。次いでテーブル上のマウントフレームと
ウェーハ上面にテープを貼着して一体にすると共にテー
プから貼着部分のテープを切断する機構があり、テープ
を貼着し一体にしたマウントフレームとウェーハをテー
ブル上から外方へ送り出す機構があり、これらの各機構
は連続的に循環状に作動をくり返すので、人手はウェー
ハとマウント７レームを一定時間ごとに供給するだけで
能率的にしかも正確にウェーハにテープを貼着すること
ができる効果がある。

以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。各図面
は本発明に係り第１図はウェーハとマウントフレームの
平面図、第２図はテープ貼着機の正面図、第３図はテー
ブル部分平面図である。

機台部１は前面に開閉扉１ａを有する箱形状に構成し、
内部には図示しない動力機、電子作動機器等を内股しで
ある。前記機台部１上面中央部には上下に摺動するラム
２上端にテーブル３を載設してあり、該テーブル３の四
隅には支柱孔３　ａ−を貫設して各支柱孔３ａ・・・に
支持柱４を遊嵌立設している。痢記ラム２は下端に図示
しないクランクを連結して電動機によって上下運動する
。

前記４本の支持柱４・・・上部には上台５を水平状に装
着してその中央部は前記テーブル３の大きさに切欠いて
その切欠部端縁に貼着装置６を装着している。また上台
５上の正面における両端部にはチー１リール７＊７’Ｙ
！Ｊ−ル支持体７ａを介して装着している。該テープリ
ール７゜７１　　の一方には裏面に糊剤を塗付したテー
プ８を回巻してあり、他のリール７１　　は巻取リール
として回転するよう構成しである。

前記上台５０巻取りテープリール７１　　の下方には作
動部９を介してテーブル方向に摺動するフレーム搬送ア
ーム１０を装設してあり、前記機台１正面での右方端縁
部にはフレーム位置決め部１１及びそれに前後する前後
フレーム補給部１２　、１２’　　を形成している。前
記フレーム補給部１２　、１２’　　からフレーム位置
決め部１１上に配置されるマウントフレーム１３はフレ
ーム位置決め部１１で定位置に規制され、フレーム搬送
アーム１０はその上部に位置していて下降し、下端部の
吸着部１０ａでフレーム１３を吸着して前記テーブル３
上まで搬送するよう構成している。

前記機台１上の正面における左方部にはウェーハマウン
トフレーム収納部１４．１４’　　をフレーム配置部２
０の前後に配設しである。しかして該フレーム配置部２
０の上部にあたる前記上台５下部には作動部１５を介し
てウェーハマウントフレーム搬送アーム１６を垂設して
あり、該ウェーハマウントフレーム搬送アーム１６は上
下摺動及び左右移動をし、前記テーブル３上からテープ
８を貼着したウェーハマウントフレームをその吸着部１
６ａで吸着してフレーム配置部２０に搬送配置するよう
構成してあり、ベルトコンベア２１で前記ウェーハマウ
ント７レーム収納部１４，１４に収納される。前記機台
１の平面においてテーブル３の前方にはウェーハアライ
メント部１７、その左右にはウェーハカセット部１８　
、１８’　、を装設してあり、前記テーブル３とウェー
ハアライメント部１７との中間にウェーハ反転部１９を
装設している。

前記ウェーハカセット部１８．１８’には数１０段の棚
が形成してあり、上下に摺動する。

該ウェーハカセット部１８．１８’　　とウェーハアラ
イメント部１７との間には各々ベルトコンベア２２・・
・が配設してあり、ウエーハカセット部１８，１８’　
　の一方のウェーハは一枚スつベルトコンベア２２によ
ってウェーハアライメント部１７へ搬送される。

前記ウェーハアライメント部１７は円形座台状に形成さ
れ、その内芯部に回転座台１７ａをその上端を突出させ
て装設している。また前記座台に近接して図示しない光
センサーを設置し、回転停台１７ａ上で回転するウェー
ノ１２３のオリフラ２３ａを検出して定位置に回して回
転座台１７ａの回転を停止させるよう構成しである。

前記テーブル３とウェーハアライメント部１７との中間
にはウェーハ反転アーム２４を軸支体２４ａを介して機
台１に軸着してあり、該ウェーハ反転アーム２４はその
先端部をウェーハアライメント部１７０回転座台１７ａ
に近接平置され、前記ベルトコンベア２２によって搬送
されて回転座台１７ａ上にあるウェーハを下から持ちあ
げてテーブル３上に反転させるよう構成しである。

前記テープ“貼着装置６は筒体部６ａン形成し、筒内円
芯部にカッター軸２５を介して水平回転をするカッター
２６を装設しである。前記筒体部６８下端部にはテープ
８０貫通部６ｂが形成され、該テープ貫通部６ｂにテー
プ゛８を水平状忙貫通させる。しかして、前記テーブル
３上にウェーハ２３及びマウントフレーム１３を載置し
てテープ／Ｌ／３を上昇させるとテープ８がウェーハ及
びマウントフレーム１３に接着し、それと同時にカッタ
ー２６がカッター軸２５を中心に一回転してテープ８を
マウントフレーム１３上で円形に切断する。

上記のように構成した本願発明の作用について述べる。

先ずウエーノ＼カセット部１８　、１８’にウェーハを
セットする。次にフレーム補給部１２　、１２’　　に
マウントフレームを載置する。

次に始動スイッチ（図示しない）をオンにすると、送り
出し機構（図示しない）によってフレーム補給部１２　
、１２’　　の倒れからかマウントフレーム１３がフレ
ーム位置決め部１１に配送され、ウェーハアライメント
部１７にウェーノーがベルトコンベア２２によってウエ
ーノ１カセット部１８から搬送配置されろ。

次にウェーノ・反転アーム２４の上方で力・つ前記回転
座台１７ａ上でウェーノ・の位置が定位置にセットされ
、ウェーノー反転アーム２４が反転してウェーノーをテ
ーブル３上に裏側を上にして配置する。次にフレーム搬
送アーム１０が下降してその吸着部１０ａでマウントフ
レーム１３を吸着し、テーブル３上まで摺動搬送して、
第１図に示すようにウェーノー２３の外周をマウントフ
レーム１３が囲むように水平配置する。

次にテーブル３がラム２に伴って上昇し、テープ８下面
にマウントフレーム１３及びウェーハ２３上面が接し、
貼着装置の筒体部６ａ内Ｃ）気体加圧によつ℃テープ８
はマウントフレーム及びウェーノ・３２に接着される。

次に前記筒体部６ａ内のカッター軸２５が回転してカッ
ター２６が円状にマウントフレーム２３上σつテープ８
を切断する。次にテーブル３か下降し、ウェーハマウン
トフレーム搬送アーム１６がテープ。

ル３上に移動して゛ト降、その吸着部１６ａでウェーハ
をテープで接着一体としたマウントフレームを吸着して
フレーム配置部２０まで搬送する。フレーム配置部２０
に配置［￥されたマウントフレームはコンベア２１でウ
ェーハマウントフレーム収納部１４Ｋ［送、収納される
。

上記一工程が終ると丹びウェーハアライメント部１７に
ウェーハが配置されて上記工程が目勅循珈的に縦続作動
する。

上述の構成及び作用の本願発明にあってはウェーハとマ
ウントフレームの供給さえしておけば全自動でウェーハ
にテープ゛を貼着することかできるので、前記ウェー・
ハマウントフレーム収納部１４を上下動させた段階で別
設コンベアによって送り田し、半導体チップ切削機へと
回送させることができるようになり、かつ半導体テラ１
切削機は複数台並列しておき、その複数台の牛導体チッ
プ切削機ヘウエーハを目動供給をすることができる効果
を有している。

【図面の簡単な説明】

図面は不発明に猟り、第１図はウェー／Ｓとフレームを
テーブル上に配置した平面図、第２図はチーブ貼着機の
正面口、第３図はその要部平面図。 １・・・機台、２・・・ラム、３・・・テーブル、４・
・・支持柱、５・・・上台、６・・・貼着装置、　　７
，７’・・・チー７゛リール、７ａ・・・リール支持体
、８・・・テープ、９・・・作動部、１０・・・フレー
ム搬送アーム、１０ａ・・・吸着部、１１・・・フレー
ム泣置決め部、１２゜１２’・・・フレーム補給部、１
３・・・マウントフレーム、１４・・・ウェーハマウン
トフレーム収納部、１５・・・作動部、１６・・・ウェ
ーハマウントフレーム搬送部、１７・・・ウェーハアラ
イメント部、１７ａ・・・回転座台、１８．１８’・・
・ウェーハカセット部、１９・・・ウェーハ反転部、２
０・・・フレーム配置部、２１．２２・・・ベルトコン
ベア、２３・・・ウェーハ、２３ａ・・・オリフラ、２
４・・・ウェーハ反転アーム、２４ａ・・・軸支体、２
５・・・カッター軸、２６・・・カッター。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. テーブル上にウェーハとマウントフレームとを自動的に
   順次連続して載置する機構と、該テーブル上のマウント
   フレームとウェーハ面にテープを重合貼着して一体とし
   、貼着テープをマウントフレームから切断する機構と、
   テープを貼着したマウントフレームとウェーハとをテー
   ブル外圧送り出す機構とを有し、上記各機構は循環状に
   自動連続作動することを特徴とする全自動ウェーハのテ
   ープ貼着機。