JPH04336428A - ウエハのテープ貼合わせ剥離装置 - Google Patents

ウエハのテープ貼合わせ剥離装置

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JPH04336428A
JPH04336428A JP3138342A JP13834291A JPH04336428A JP H04336428 A JPH04336428 A JP H04336428A JP 3138342 A JP3138342 A JP 3138342A JP 13834291 A JP13834291 A JP 13834291A JP H04336428 A JPH04336428 A JP H04336428A
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tape
peeling
adhering
protection tape
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雨谷　稔
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Nitto Denko Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハにバックグライ
ンド処理を施す際のウエハ表面を保護するためにウエハ
表面に保護テープを貼合わせ、かつ、バックグラインド
処理後に保護テープをウエハ表面から剥離するための装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】保護テープの貼合わせ装置は、所定位置
に装填されたカセットからウエハ搬送機構を用いて一枚
づつウエハを取出して位置合わせ機構に搬入し、ここで
センター合わせ、およびオリエンテーションフラットの
位置合わせを行ったのち、再びウエハ搬送機構でテープ
貼合わせ機構に搬入するよう構成され、又、保護テープ
の剥離装置は、所定位置に装填されたカセットからバッ
クグラインド済みのウエハを一枚づつ取出して位置合わ
せを行った後、再びウエハ搬送機構でテープ剥離機構に
搬入するよう構成され、テープ貼合わせ処理とテープ剥
離処理とは独立した装置で行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たように個別の装置でテープ貼合わせ処理とテープ剥離
処理を行う従来例によれば、２種類の装置を設置するた
めのスペースが大きくなるとともに、設備コストがかさ
むという問題点がある。
【０００４】本発明は、これら各装置には共通した機能
の機構が組込まれている点に着目してなされたものであ
って、テープ貼合わせ処理及びテープ剥離処理を行える
小型で安価な装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成を採る。すなわち、本発明
に係るウエハのテープ貼合わせ剥離装置は、カセット装
填部と、単一のウエハ位置決め機構と、バックグライン
ド用の保護テープをウエハ表面に貼合わせるテープ貼合
わせ機構と、ウエハ表面の保護テープを強粘着性の剥離
テープを用いてウエハ表面から剥離するテープ剥離機構
と、これら各機構にわたってウエハを搬入搬出する単一
のウエハ搬送機構とを備えたものである。
【０００６】
【作用】本発明によれば、カセット装填部、ウエハ位置
決め機構、及びウエハ搬送機構をテープ貼合わせ機構及
びテープ剥離機構に対して共通の機構として運転するこ
とができる。
【０００７】
【実施例】
＜第１実施例＞図１は本発明に係るウエハのテープ貼合
わせ剥離装置の一実施例を示す平面図、また図２はその
正面図である。
【０００８】この装置は、基本的には複数（実施例では
４箇所）のカセット装填部１と、単一のウエハ位置決め
機構２と、テープ貼合わせ機構３と、テープ剥離機構４
と、単一のウエハ搬送機構５とを備えている。
【０００９】各カセット装填部１は、多数のウエハＷを
多段に差込み収容したカセット６を、ウエハ出入れ用開
口を共通の中心Ｐに向けて装填するよう構成されている
。
【００１０】ウエハ搬送機構５は、前記中心Ｐ周りに回
転自在、かつ、上下動可能な搬送フレーム７に直進前後
動可能な搬送アーム８を備えたものに構成され、各カセ
ット６における任意の段のウエハＷを搬送アーム８の先
端で吸着保持して搬出及び搬入することができるように
なっている。
【００１１】ウエハ位置決め機構２は、中央上面にチャ
ック９を備えた支持台１０を備え、前記チャック９が軸
心Ｑを中心にして自転旋回するとともに、水平移動可能
に構成されている。支持台１０には、ウエハ外周縁の位
置検出用のＣＣＤカメラ１１が固定配備されており、前
記ウエハ搬送機構５によってチャック９上にウエハＷが
搬入されると、チャック９を旋回させてウエハＷの中心
ズレとオリエンテーションフラットの位相ズレを検出し
、これを修正してウエハＷのセンター合わせ及びオリエ
ンテーションフラットの位置合わせを行うようになって
いる。
【００１２】そして、位置合わせの完了したウエハＷは
再びウエハ搬送機構５の搬送アーム８に支持されてテー
プ貼合わせ機構３、あるいはテープ剥離機構４に送り込
まれる。
【００１３】テープ貼合わせ機構３は、中央にチャック
１２を備えた支持台１３、テープ貼合わせユニット１４
、テープカッタ１５、余剰テープ除去ユニット１６を備
えている。そして、テープリール１７からウエハ径より
広幅の弱粘着性の保護テープ１８が繰出され、セパレー
タ１９を除去させた後、テープ貼合わせユニット１４の
貼合わせローラ２０に導かれ、更に余剰テープ除去ユニ
ット１６のローラ２１群に案内されて余剰テープ巻取り
リール２２に導かれる。前記両ユニット１４，１６はそ
れぞれ上下２段のねじ送り機構２３によって独立に左右
移動可能となっている。
【００１４】次に保護テープ１８の貼合わせ処理を図３
及び図４に基づいて説明する。図２に示す初期状態で支
持台１３上にウエハＷが位置決め装填されると、図３に
示すように先ずテープ貼合わせユニット１４が右方に移
動してウエハＷの表面に保護テープ１８が貼合わされる
。次にテープ切断カッタ１５が下降し、ウエハＷの外周
縁に沿って保護テープ１８を切断する。カッタ１５が上
昇退避した後、図４に示すように余剰テープ除去ユニッ
ト１６が右方に移動し、ウエハＷからはみ出ているテー
プ部分をめくり取る。その後、両ユニット１４，１６が
同時に左方に移動し初期状態の位置に戻る。尚、これら
の処理に際して、余剰テープ部分１８ａは巻取りモータ
２５の作動によって、また、セパレータ１９は巻取りモ
ータ２４の作動によってそれぞれ巻き取られる。テープ
リール１７に連結するモータ２３は、余剰テープ１８ａ
を巻き取った後、保護テープ１８を所要距離だけ逆方向
に巻き戻すためのものである。
【００１５】テープ剥離機構４は、中央にチャック２６
を備えた支持台２７、テープ接着ユニット２８、テープ
剥離ユニット２９を備えている。そして、テープリール
３０からはウエハ径より小幅の強粘着性の剥離用テープ
３１が繰出され、テープ接着ユニット２８の接着ローラ
３３およびテープ剥離ユニット２９のローラ３２群に巻
回案内されて巻取りリール３４に導かれる。両ユニット
２８，２９はそれぞれ上下２段のねじ送り機構３５によ
って独立して左右移動可能となっている。
【００１６】次に、ウエハ表面から保護テープを剥離す
る処理を図５及び図６に基づいて説明する。図２に示す
初期状態で、支持台２７上にバックグラインド処理を経
たウエハＷが装填されると、図５に示すように、先ずテ
ープ接着ユニット２８が左方に移動してウエハ表面の保
護テープ上に剥離用テープ３１が接着される。次に、テ
ープ剥離ユニット２９が同じく左方に移動して剥離用テ
ープ３１が捲り上げられ、剥離用テープ３１に強力に接
着された保護テープがウエハＷの表面から剥離されてゆ
く。尚、これらの処理に際して繰出しモータ３６及び巻
取りモータ３７が作動されて剥離用テープ３１の繰出し
および保護テープを接着したのちの剥離用テープ部分３
１ａの巻取りが適宜行われる。
【００１７】上述の実施例では、ウエハ搬送機構５に１
つの搬送アーム８を配備したが、それぞれ独立に駆動さ
れる上下あるいは左右に２つの搬送アームを配備しても
よい。このような２つの搬送アームを配備すれば、第１
の搬送アームで処理前のウエハを保持した状態で、第２
の搬送アームで処理済みのウエハを取り出し、その後、
第１の搬送アームでウエハをテープ貼合わせ機構３ある
いはテープ剥離機構４に搬入することができるので、処
理効率を向上することができる。
【００１８】＜第２実施例＞図７は本発明の第２実施例
の平面図である。本実施例に係る装置は、上下動可能な
カセット装填部１が装置の前部に横一列状に設けられる
とともに、旋回及び屈伸可能な搬送アーム８を備えた単
一のウエハ搬送機構５が左右移動可能に配備され、かつ
、テープ貼合わせ機構３とテープ剥離機構４の間に単一
のウエハ位置決め機構２が設置された機構となっている
。機能的には先の実施例と同様で、搬送アーム８が水平
移動することによって所定のカセット装填部１から取り
出したウエハＷをウエハ位置決め機構２に搬送して位置
合せをした後、搬送アーム８で位置合わせ済みのウエハ
をテープ貼合わせ機構３に搬送して保護テープを貼り付
けたり、あるいは搬送アーム８で位置合わせ済みのウエ
ハをテープ剥離機構４に搬送して保護テープを剥離した
りする。
【００１９】なお、本実施例においても、搬送アーム８
は１本のものに限らず、２本あるいは３本のアームを配
備し、アームにθ方向の回転軸を持たせて任意のアーム
を選択できるようにすることにより、処理効率を上げる
ことが可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カセット装填部、ウエハ搬送機構、及びウエハ位置決め
機構を共用機構としたので、保護テープの貼合わせ、及
びウエハ表面からの保護テープの剥離の両処理を行うこ
とのできる装置を小型かつ安価なものに構成することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例の平面図である。
【図２】第１実施例の正面図である。
【図３】保護テープ貼合わせ行程を示す要部の正面図で
ある。
【図４】余剰テープ除去行程を示す要部の正面図である
。
【図５】剥離用テープ接着行程を示す要部の正面図であ
る。
【図６】保護テープ剥離行程を示す要部の正面図である
。
【図７】第２実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１…カセット装填部 ２…ウエハ位置決め機構 ３…テープ貼合わせ機構 ４…テープ剥離機構 ５…ウエハ搬送機構

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　カセット装填部と、単一のウエハ位置
    決め機構と、バックグラインド用の保護テープをウエハ
    表面に貼合わせるテープ貼合わせ機構と、ウエハ表面の
    保護テープを強粘着性の剥離テープを用いてウエハ表面
    から剥離するテープ剥離機構と、これら各機構にわたっ
    てウエハを搬入搬出する単一のウエハ搬送機構とを備え
    たことを特徴とするウエハのテープ貼合わせ剥離装置。
JP3138342A 1991-05-13 1991-05-13 ウエハのテープ貼合わせ剥離装置 Pending JPH04336428A (ja)

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