JP2005129829A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウエハWの面に貼付されたシートSを、これより幅狭の接着テープTを用いて剥離するシート剥離装置10であり、当該装置は、接着テープTを前記シートの端部に接着した状態で鈍角方向に引っ張ってシートSを剥離する剥がしヘッド部15(第2の剥離手段)と、接着テープTをシートSを横断する方向に接着した状態で、相対的に緩やかな剥離角度方向に引っ張ってシートSを剥離する第1及び第2のローラ21,22(第1の剥離手段)とを備えている。これら剥離手段は、シートSの種別に応じて何れか一方を選択して利用される。
【選択図】 図13
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離角度が相違する複数の剥離手段を用いて保護シートの材質や、肉厚等の相違に応じて最適な条件で剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記シートの外面に沿って相対移動可能な第1のローラと、この第1のローラの近傍に配置されるとともに、当該第1のローラと共に相対移動可能な第2のローラとを含み、
前記第2のローラは前記第1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置するとともに、前記シートの面に対して第1のローラよりも離れた位置に配置される、という構成を採っている。
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に利用可能に設ける、という構成を採っている。
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に利用可能に設ける、という構成を採ることができる。
前記シートの外面に沿って相対移動可能な第1のローラと、この第1のローラの近傍に配置されるとともに、当該第1のローラと共に相対移動可能な第2のローラとを含み、
前記第2のローラを、前記第1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置させるとともに、前記シートの面に対して第1のローラよりも離れた位置に配置させた状態としておき、
前記第1及び第2のローラと前記シートとを、当該シートの外面に沿って同時に相対移動させることでシートを剥離する、という方法を採っている。
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に用いて前記シートを剥離する、という方法を採っている。
ここで、第1のローラは、その直径が異なるものに変更することが可能であり、例えば、直径が大きなものを採用した場合には、相対的に小さな直径のローラを用いた場合に比べて外周面が滑らかな曲面となり、剛性の高い保護シートの場合に特に適合させることができる。
また、前記第1の剥離手段と第2の剥離手段によるシート剥離角度が異なるため、例えば、ウエハ等の板状部材に、鈍角な方向に折り返した状態で引っ張ることが困難となる厚みを備えた保護シートが貼付されている場合、すなわち、シートに腰があるため、鈍角に折り返すことができない場合には、略直角若しくは鋭角となる剥離角度に設定された第1の剥離手段を用いることでスムースな剥離を行うことが可能となる。この一方、保護シートを鈍角な方向に引っ張って剥離することに支障がない厚み若しくは材質である場合には、前記第2の剥離手段を用いて剥離を行うことができ、接着テープの使用量を抑制することが可能となる。
なお、本明細書における剥離角度は、図7及び図13中θ1,θ2で示される角度について用いられる。
図1には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示されている。この図において、シート剥離装置10は、基台11と、当該基台11上に配置されるとともに、図1中左右方向に移動可能に設けられ、上面側に板状部材としての略円盤状のウエハWを保持するウエハ保持機構12と、ウエハWの表面に貼付されたシートすなわち保護シートSを剥がすための接着テープTの繰出部14と、接着テープTを保持した状態で前記保護シートSを引っ張る剥がしヘッド部15(第2の剥離手段)と、接着テープTを保護シートSの端部に融着して接着するとともに、当該融着領域よりも僅かに上流側位置で接着テープTを切断する機能を備えたヒーターカッター部16と、前記剥がしヘッド部15の図1中左側領域に配置された板材若しくはフレーム等からなる支持部材19の前面側(図1中手前側)に配置された第1の剥離手段を構成する第1及び第2のローラ21,22とを備えて構成されている。ここで、前記接着テープTは前記ウエハWの回路面側(図1中上面側)に貼付された保護シートSの直径よりも小さな幅寸法となる帯状のものが用いられている。
剥がしヘッドを用いた剥離動作は、前述した特開平11−16862号公報に記載された装置の場合と実質的に同様であり、ここでは、説明を簡略にする。
この方法の実施に際し、接着テープTは片面に感圧性接着剤層が設けられたテープが採用される。そして、図8に示されるように、保護シートS側に接着剤層が臨むように接着テープTを繰出部14にセットし、これを所定長さ引き出して先端部を巻取ローラ64に固定するようにテープ掛け回し作業を初期作業として行っておく。この際、前記剥がしヘッド部15は、繰出部14よりも右側の退避位置に移動させられる。なお、接着剤面が掛け回されるローラには、接着剤が着かないような表面処理が施されている。
また、前記剥離方法を選択するに際し、繰出部14を共用できるため、既提案の装置に第1の剥離手段を併設するだけで最適剥離を実現することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材料などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、第1及び第2のローラ21,22により保護シートSを剥離する際に、これらローラ21,22がウエハWの径方向に沿って横断するように移動する構成としたが、ローラ21,22を移動させずにテーブル23を移動させて保護シートSの剥離を行うようにしてもよい。この際、テープ押さえローラ60は接着テープTを押さえ付ける状態を維持するように設定すればよい。
15 剥がしヘッド部(第2の剥離手段)
21 第1の剥離ローラ(第1の剥離手段)
22 第2の剥離ローラ(第1の剥離手段)
T 接着テープ
W 半導体ウエハ(板状部材)
S 保護シート
Claims (8)
- 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、
前記シートの外面に沿って相対移動可能な第1のローラと、この第1のローラの近傍に配置されるとともに、当該第1のローラと共に相対移動可能な第2のローラとを含み、
前記第2のローラは前記第1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置するとともに、前記シートの面に対して第1のローラよりも離れた位置に配置されていることを特徴とするシート剥離装置。 - 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に利用可能に設けたことを特徴とするシート剥離装置。 - 略円盤状の半導体ウエハの面をカバーするように貼付されたシートを、当該シートの直径よりも小さい幅となる接着テープを用いて剥離するシート剥離装置において、
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に利用可能に設けたことを特徴とするシート剥離装置。 - 前記第1の剥離手段は前記板状部材の面に対して略直角若しくは鋭角方向に向かって前記シートを剥離することを特徴とする請求項2又は3記載のシート剥離装置。
- 前記第2の剥離手段は前記第1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離することを特徴とする請求項2,3又は4記載のシート剥離装置。
- 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法において、
前記シートの外面に沿って相対移動可能な第1のローラと、この第1のローラの近傍に配置されるとともに、当該第1のローラと共に相対移動可能な第2のローラとを含み、
前記第2のローラを、前記第1のローラの剥離動作時の移動方向とは反対側に位置させるとともに、前記シートの面に対して第1のローラよりも離れた位置に配置させた状態としておき、
前記第1及び第2のローラと前記シートとを、当該シートの外面に沿って同時に相対移動させることでシートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。 - 板状部材に貼付されたシートを接着テープを用いて剥離するシート剥離方法において、
前記接着テープを、前記シートを横断する方向に沿って当該シートに接着した状態で引っ張ることで所定の剥離角度でシートを剥離する第1の剥離手段と、
前記接着テープを、前記シートの端部に接着した状態で引っ張ることで前記剥離角度とは異なる剥離角度でシートを剥離する第2の剥離手段とを備え、
前記第1及び第2の剥離手段を選択的に用いて前記シートを剥離することを特徴とするシート剥離方法。 - 前記第1の剥離手段は前記板状部材の面に対して略直角若しくは鋭角方向に向かって前記シートを剥離する一方、前記第2の剥離手段は前記第1の剥離手段による剥離角度よりも大きい剥離角度で前記シートを剥離することを特徴とする請求項7記載のシート剥離方法。
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