JP2016160072A - 剥離装置及び剥離ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】歩留り低下を抑制することが可能な剥離装置及び剥離ヘッドを提供する。【解決手段】ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置であって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラーと、前記第１ローラーに連動する第２ローラーと、を備え、前記第１ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラーを変位させるのに連動して前記粘着テープの周回方向と同じ方向に前記第２ローラーを変位させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離装置。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、剥離装置及び剥離ヘッドに関する。

ワーク部材の表面の保護などの目的で一時的にワーク部材に貼付されたフィルム材をワーク部材から剥離する剥離装置が提案されている。一例では、エンドレスループ化した粘着テープを設置した粘着テープ支持部材をワーク部材の端部に接触させ、粘着テープを周回動作させてフィルム材の端部をワーク部材から剥離させた後に、フィルム材の端部を把持してワーク部材から離れる方向に移動させてフィルム材の残りをワーク部材から剥離する技術が知られている。

特開２００６−１９３３０８号公報

本実施形態の目的は、歩留り低下を抑制することが可能な剥離装置及び剥離ヘッドを提供することにある。

本実施形態によれば、
ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置であって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、前記粘着テープと前記フィルム材を接着する第１ローラーと、前記粘着テープの周回方向と同じ方向に移動される第２ローラーと、を備え、前記フィルム材が前記ワーク部材から剥離されるときに、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させることを特徴とする剥離装置が提供される。

本実施形態によれば、
ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置であって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラー及び第２ローラーと、を備え、前記第１ローラー及び前記第２ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラー及び前記第２ローラーを前記支持部に接近させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離装置が提供される。

本実施形態によれば、
ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラーと、前記第１ローラーに連動する第２ローラーと、を備え、前記第１ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラーを変位させるのに連動して前記粘着テープの周回方向と同じ方向に前記第２ローラーを変位させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離ヘッドが提供される。

本実施形態によれば、
ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラー及び第２ローラーと、を備え、前記第１ローラー及び前記第２ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラー及び前記第２ローラーを前記支持部に接近させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離ヘッドが提供される。
本実施形態によれば、
剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、エンドレスループ状に形成された粘着テープと、前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、Ｌ字状に形成され回転軸の中心を支点として回転可能に支持されたローラー支持部材と、前記支点に対して前記ローラー支持部材の一端側で支持された第１ローラーと、前記支点に対して前記ローラー支持部材の他端側で支持された第２ローラーと、を備え、前記第１ローラー及び第２ローラーは、前記ローラー支持部材の回転に伴って、所定の方向に変位する剥離ヘッドが提供される。

図１は、第１実施形態に係る剥離装置の構成を示す側面図である。 図２は、第１実施形態に係る剥離装置の剥離動作を模式的に示した図である。 図３は、図２に示した剥離装置においてフィルム材をワーク部材から剥離するための適正な剥離角を示す図である。 図４は、第２実施形態に係る剥離装置の剥離動作を模式的に示した図である。 図５は、液晶表示パネルを模式的に示した図である。

以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。

図１は、第１実施形態に係る剥離装置１の構成を示す側面図である。剥離装置１は、ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材をワーク部材から剥離する剥離装置である。

剥離装置１は、移動機構２、剥離ヘッドＨＤを備えている。剥離ヘッドＨＤは、本体ＢＤ、第１支持部ＳＰ１、第２支持部ＳＰ２、ローラー支持部材ＲＳ、第１ローラーＲＬ１、第２ローラーＲＬ２、及び、粘着テープＡＴを備えている。

第１支持部ＳＰ１及び第２支持部ＳＰ２は、本体ＢＤの内部に備えられている。第１支持部ＳＰ１及び第２支持部ＳＰ２は、例えば、本体ＢＤに回転可能に支持されたローラーであるが、本体ＢＤに固定されたガイドピンなどであっても良い。

ローラー支持部材ＲＳは、Ｌ字形状に形成され、回転軸Ｓの中心を支点として本体ＢＤによって回転可能に支持されている。より具体的には、ローラー支持部材ＲＳは、第１部分ＲＳ１及び第２部分ＲＳ２を有している。第１部分ＲＳ１及び第２部分ＲＳ２は、それぞれ直線状に形成され、互いに異なる方向に延出している。回転軸Ｓは、第１部分ＲＳ１及び第２部分ＲＳ２の交差する部分の近傍に位置している。ローラー支持部材ＲＳは、支点に対して、その一端側で第１ローラーＲＬ１を回転可能に支持し、他端側で第２ローラーＲＬ２を回転可能に支持している。第１ローラーＲＬ１は、第１部分ＲＳ１に支持されている。第２ローラーＲＬ２は、第２部分ＲＳ２に支持されている。第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２は、ローラー支持部材ＲＳの回転に伴って所定の方向に移動される。第２ローラーＲＬ２は、第１ローラーＲＬ１に連動して移動される。第１支持部ＳＰ１、第２支持部ＳＰ２、第１ローラーＲＬ１、及び、第２ローラーＲＬ２は、筒状に形成され、それぞれの回転軸が平行となるように配置されている。第１ローラーＲＬ１は、回転軸ａ１を有しており、回転軸ａ１の中心を支点として回転する。第２ローラーＲＬ２は、回転軸ａ２を有しており、回転軸ａ２の中心を支点として回転する。回転軸Ｓの中心から回転軸ａ１の中心までの第１距離Ｌ１は、回転軸Ｓの中心から回転軸ａ２の中心までの第２距離Ｌ２より短い。一例では、第１距離Ｌ１は、第２距離Ｌ２の約半分である。

粘着テープＡＴは、エンドレスループ状に形成されている。粘着テープＡＴは、第１支持部ＳＰ１、第２支持部ＳＰ２、第１ローラーＲＬ１、第２ローラーＲＬ２によって周回可能に支持されている。図示した例では、粘着テープＡＴは、矢印Ｒで示した時計回りに周回可能である。粘着テープＡＴは、第１支持部ＳＰ１、第２支持部ＳＰ２、第１ローラーＲＬ１、及び、第２ローラーＲＬ２と接している側の内面と、この内面と反対側の外面とを有している。内面は粘着力を有しておらず、外面は粘着力を有している。なお、粘着テープＡＴの幅については詳述しないが、フィルム材ＦＬの幅と同等である必要はない。

移動機構２は、剥離ヘッドＨＤを保持し、フィルム材の剥離動作を行うために剥離ヘッドＨＤを移動させる。一例では、移動機構２は、剥離ヘッドＨＤを図中の矢印ａ及びｂで示す方向に移動させることが可能である。矢印ａは、例えば第１移動方向に相当し、剥離ヘッドＨＤをフィルム材に対して接離する方向を示している。矢印ｂは、例えば第２移動方向に相当し、フィルム材をその面に沿って引きはがす方向を示している。なお、移動機構２の詳細については説明を省略するが、移動機構２は、例えば、剥離ヘッドＨＤを矢印ａの方向に移動させる昇降機構、及び、剥離ヘッドＨＤを矢印ｂの方向に移動させるスライド機構などを備えて構成されている。

図２は、第１実施形態に係る剥離装置１の剥離動作を模式的に示した図である。図２の剥離ヘッドＨＤは、図１の剥離ヘッドＨＤを模式的に示したものであり、ここでは主要な構成のみが示されている。

図２（ａ）は、剥離動作の第１ステップを示している。剥離動作の初期状態において、剥離ヘッドＨＤは、フィルム材ＦＬが貼付されたワーク部材Ｗから離間している。その後、剥離ヘッドＨＤは、図１に示した移動機構２によって、第１ローラーＲＬ１に支持された部分の粘着テープＡＴがフィルム材ＦＬに接するように矢印ｃの方向へ移動される。また、初期状態においては、粘着テープＡＴにテンションがかかった状態が保たれている。

図２（ｂ）は、剥離動作の第２ステップを示している。なお、図中の破線は、図２（ａ）に示した初期状態のローラー支持部材ＲＳに相当する。剥離ヘッドＨＤが矢印ｃの方向に移動するのに伴い、第１ローラーＲＬ１は、粘着テープＡＴをフィルム材ＦＬの端部に接着する。第１ローラーＲＬ１が粘着テープＡＴを介してフィルム材ＦＬに突き当たった状態で、剥離ヘッドＨＤがさらに矢印ｃの方向に移動するのに伴い、ローラー支持部材ＲＳは、初期状態よりも、回転軸Ｓを支点として時計回りに回転する。このとき、第１ローラーＲＬ１は矢印ｄの方向に変位し、また、第２ローラーＲＬ２も第１ローラーＲＬ１に連動して矢印ｅの方向に変位する。なお、矢印ｄ及びｅは、いずれも回転軸Ｓを中心として時計回りの方向であり、図１に示した粘着テープＡＴの周回方向を示す矢印Ｒと同じ方向である。このような変位により、第１ローラーＲＬ１は第２支持部ＳＰ２から離間する側に移動し、第２ローラーＲＬ２は第１支持部ＳＰ１に接近する側に移動する。第１ローラーＲＬ１は、第２ローラーＲＬ２よりも回転軸Ｓから近い距離に位置しているため、第１ローラーＲＬ１の変位量（あるいは時計回りの回転量）は第２ローラーＲＬ２の変位量（あるいは時計回りの回転量）より小さい。このような第１ローラーＲＬ１と第２ローラーＲＬとの変位量の差により、テンションがかかっていた状態の粘着テープＡＴに撓みが形成される。

図２（ｃ）は、剥離動作の第３ステップを示している。剥離ヘッドＨＤは、図２（ｂ）の状態から、固定されたフィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗに対して矢印ｆの方向へ移動される。このとき、第１ローラーＲＬ１は、粘着テープＡＴをフィルム材ＦＬに押し付けながら回転し、矢印ｆの方向へ移動される。これにより、粘着テープＡＴとフィルム材ＦＬとの接着面が拡張される。粘着テープＡＴは、その一部がフィルム材ＦＬに接着されているため、剥離ヘッドＨＤの移動に伴って、撓みが形成されていた粘着テープＡＴにテンションがかかり、剥離角θが形成される。ここで、剥離角θは鋭角に形成されるのが望ましい。フィルム材ＦＬの先端付近の粘着テープＡＴには作用点Ａが生じる。剥離ヘッドＨＤの移動に伴い、作用点Ａと第２ローラーＲＬ２との間の粘着テープＡＴは第１ローラーＲＬ１から離間する。そのため、剥離角θを鋭角に形成することが可能である。なお、剥離角θとは、粘着テープのうち、作用点Ａからフィルム材ＦＬに接着された部分と、作用点Ａと第２ローラーＲＬ２との間の部分とのなす角度に相当する。

図２（ｄ）は、剥離動作の第４ステップを示している。剥離ヘッドＨＤは、図２（ｃ）の状態から、フィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗに対してさらに矢印ｆの方向へ移動される。このとき、第１ローラーＲＬ１は、粘着テープＡＴをフィルム材ＦＬに押し付けながら回転する。テンションのかかった状態の粘着テープＡＴは、第１ローラーＲＬ１の回転に伴って矢印Ｒの方向に周回する。これにより、粘着テープＡＴはフィルム材ＦＬの端部を巻き上げ、さらに粘着テープＡＴが周回することでフィルム材ＦＬはワーク部材Ｗから剥離される。フィルム材ＦＬとワーク部材Ｗとが互いに接着される接着力は、粘着テープＡＴとフィルム材ＦＬとが互いに接着される接着力より弱いため、粘着テープＡＴがフィルム材ＦＬを巻き上げることが可能となる。

図３は、図２に示した剥離装置においてフィルム材ＦＬをワーク部材Ｗから剥離するための適正な剥離角を示す図である。ここでは、第１方向Ｘはフィルム材ＦＬの面（あるいはフィルム材ＦＬと粘着テープＡＴとの接着面）に沿った方向とし、第２方向Ｙは第１方向Ｘに直交する方向である。

ワーク部材Ｗからフィルム材ＦＬを剥離するための剥離力は、第２方向Ｙに係る力のベクトルに相当する。また、ワーク部材Ｗが曲がらないように保持する保持力は、第１方向Ｘに係る力のベクトルに相当する。ワーク部材Ｗへのダメージを抑えつつ、フィルム材ＦＬをワーク部材Ｗから剥離するためには、剥離力と保持力のバランスが保たれる必要がある。そのため、剥離角θは第１方向Ｘに対して鋭角に形成されることが望ましく、より適正な剥離角θは１０〜８０度の範囲で形成されるのが望ましい。

第１実施形態によれば、ワーク部材Ｗからフィルム材ＦＬが剥離される直前に、粘着テープＡＴに撓みが形成された状態で、粘着テープＡＴとフィルム材ＦＬが接着されている。このため、剥離ヘッドＨＤが移動することにより、撓んでいた粘着テープＡＴにテンションがかかり、粘着テープＡＴに剥離角θが形成される。この時、ワーク部材Ｗ及びフィルム材ＦＬが薄く、柔軟であったとしても、剥離角θは、ワーク部材Ｗへのダメージを減らす保持力と、フィルム材ＦＬを剥離するための剥離力とのバランスが適正に保たれる範囲内に形成されている。このため、ワーク部材Ｗの破損を抑制しつつ、フィルム材ＦＬを確実に剥離することが可能となる。したがって、歩留り低下を抑制することが可能な剥離装置及び剥離ヘッドを提供することができる。

また、剥離ヘッドＨＤは、エンドレスループ状の粘着テープＡＴと、第１支持部ＳＰ１、第２支持部ＳＰ２、第１ローラーＲＬ１、第２ローラーＲＬ２、ローラー支持部材ＲＳ等の部材により形成されている。このため、剥離ヘッドＨＤ自体は電気的に駆動される部材を備える必要がなく、剥離ヘッドＨＤの構成の簡素化及び小型化が可能である。

また、粘着テープＡＴはエンドレスループ状に形成されているため、複数回にわたって再利用することが可能となる。このため、剥離したフィルム材ＦＬとともに粘着テープを巻き取る方式と比較して、装置の小型化が可能となるとともに、コストの削減が可能である。発明者が第１実施形態の剥離装置を用いてフィルム材ＦＬを剥離する実験を行ったところ、１本のエンドレスループ状の粘着テープＡＴにおいて、２０００枚のフィルム材ＦＬを剥離できることが確認された。

また、テンションがかかった状態の粘着テープＡＴは、第１ローラーＲＬ１の回転に伴って周回するため、粘着テープＡＴにかかる摩擦抵抗を低減することが可能となる。

次に第２実施形態について説明する。
図４は、第２実施形態に係る剥離装置の剥離動作を模式的に示した図である。ここでは主要な構成のみが示されている。

図４（ａ）は、剥離動作の第１ステップを示している。ここで、図４（ａ）を参照しながら第２実施形態に係る剥離ヘッドＨＤについて簡単に説明する。剥離ヘッドＨＤは、支持部ＳＰ、ローラー支持部材ＲＳ、第１ローラーＲＬ１、第２ローラーＲＬ２、及び、粘着テープＡＴを備えている。

支持部ＳＰは、ローラー支持部材ＲＳによって回転可能に支持されている。第１ローラーＲＬ１は、弾性体ＥＬ１を介してローラー支持部材ＲＳに回転可能に支持されている。第２ローラーＲＬ２は、弾性体ＥＬ２を介してローラー支持部材ＲＳに回転可能に支持されている。弾性体ＥＬ１及びＥＬ２は、例えばばねである。第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２は、フィルム材ＦＬと平行な面内に並んで配置されている。粘着テープＡＴは、エンドレスループ状に形成されている。粘着テープＡＴは、支持部ＳＰ、第１ローラーＲＬ１、及び、第２ローラーＲＬ２によって周回可能に支持されている。

第２実施形態においても第１実施形態と同様に、剥離ヘッドＨＤは、図示しない移動機構によって移動可能である。つまり、剥離ヘッドＨＤは、移動機構によって、フィルム材ＦＬに対して接離する第１移動方向、また、フィルム材ＦＬをその面に沿って引きはがす第２移動方向へ移動される。

図４（ａ）に示すように、剥離動作の初期状態において、剥離ヘッドＨＤは、フィルム材ＦＬが貼付されたワーク部材Ｗから離間している。その後、剥離ヘッドＨＤは、移動機構によって、第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２に支持された部分の粘着テープＡＴがフィルム材ＦＬに接するように、図４（a）中の矢印ｇの方向へ移動される。なお、初期状態においては、弾性体ＥＬ１及びＥＬ２が伸長した状態であり、粘着テープＡＴにテンションがかかった状態が保たれている。

図４（ｂ）は、剥離動作の第２ステップを示している。剥離ヘッドＨＤが矢印ｇの方向に移動するのに伴い、第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２は、粘着テープＡＴをフィルム材ＦＬに接着する。第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２が粘着テープＡＴを介してフィルム材ＦＬに突き当たった状態で、剥離ヘッドＨＤがさらに矢印ｇの方向に移動するのに伴い、弾性体ＥＬ１及びＥＬ２が収縮する。これにより、第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２が支持部ＳＰに接近し、テンションがかかっていた状態の粘着テープＡＴに撓みが形成される。

図４（ｃ）は、剥離動作の第３ステップを示している。剥離ヘッドＨＤは、図４（ｂ）の状態から、固定されたフィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗに対して矢印ｈの方向へ移動される。このとき、第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２は、粘着テープＡＴをフィルム材ＦＬに押し付けながら回転し、矢印ｈの方向へ移動される。粘着テープＡＴは、その一部がフィルム材ＦＬに接着されているため、剥離ヘッドＨＤの移動に伴って、撓みが形成されていた粘着テープＡＴにテンションがかかり、剥離角θが形成される。ここで、剥離角θは鋭角に形成されるのが望ましい。また、適正な剥離角の範囲は第１実施形態と等しい。

図４（ｄ）は、剥離動作の第４ステップを示している。剥離ヘッドＨＤは、図４（ｃ）の状態から、さらに矢印ｈの方向へ移動される。テンションのかかった状態の粘着テープＡＴは、第１ローラーＲＬ１及び第２ローラーＲＬ２の回転に伴って矢印Ｒの方向に周回する。これにより、粘着テープＡＴはフィルム材ＦＬの端部を接着して巻き上げ、さらに粘着テープＡＴが周回することでフィルム材ＦＬはワーク部材Ｗから剥離される。

このような第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様の効果が得られる。

なお、上記の第１及び第２実施形態においては、フィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗが固定され、剥離ヘッドＨＤが、フィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗに対して移動していたが、剥離ヘッドＨＤと、フィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗとが相対的に移動していればよく、フィルム材ＦＬ及びワーク部材Ｗが固定された剥離ヘッドＨＤに対して移動してもよいし、双方が移動してもよい。

次に、ワーク部材の一例について説明する。
図５は、液晶表示パネルＰＮＬを模式的に示した図である。液晶表示パネルＰＮＬは、互いに貼り合わせられた第１基板ＳＵＢ１及び第２基板ＳＵＢ２を備えている。第１光学素子ＯＤ１は、第１基板ＳＵＢ１に接着されている。第２光学素子ＯＤ２は、第２基板ＳＵＢ２に接着されている。これらの第１光学素子ＯＤ１及び第２光学素子ＯＤ２は、それぞれ偏光板を含んでおり、必要に応じてさらに位相差板などの他の光学部材を含んでいても良い。上記のワーク部材Ｗは、例えば、第１光学素子ＯＤ１及び第２光学素子ＯＤ２であり、液晶表示パネルＰＮＬに接着される前のこれらの接着面がフィルム材で保護されている。

第１実施形態及び第２実施形態で示した剥離装置は、例えば、第１光学素子ＯＤ１や第２光学素子ＯＤ２の保護用フィルム材を剥離するのに適用される。なお、剥離装置の適用例は、ここで説明した例に限られるものではなく、その他のワーク材からフィルム材を剥離するのに適用可能である。また、例えば、上記ワーク部材Ｗのサイズは、第１光学素子ＯＤ１及び第２光学素子ＯＤ２のサイズに等しい。

以上説明したように、本実施形態によれば、歩留り低下を抑制することが可能な剥離装置及び剥離ヘッドを提供することができる。

なお、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

Ｗ…ワーク部材 ＦＬ…フィルム材 １…剥離装置 ＡＴ…粘着テープ
ＳＰ１…第１支持部 ＳＰ２…第２支持部
ＲＬ１…第１ローラー ＲＬ２…第２ローラー
Ｓ…回転軸 ＲＳ…ローラー支持部材 Ｌ１…第１距離 Ｌ２…第２距離
ＨＤ…剥離ヘッド θ…剥離角

Claims (9)

1. ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置であって、
   エンドレスループ状に形成された粘着テープと、
   前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、
   前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラーと、
   前記第１ローラーに連動する第２ローラーと、を備え、
   前記第１ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラーを変位させるのに連動して前記粘着テープの周回方向と同じ方向に前記第２ローラーを変位させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離装置。
2. さらに、Ｌ字形状に形成され回転軸の中心を支点として回転可能に支持されたローラー支持部材を備え、前記ローラー支持部材は、前記支点に対して一端側で前記第１ローラーを支持し、前記支点に対して他端側で前記第２ローラーを支持する請求項１に記載の剥離装置。
3. 前記支点から前記第１ローラーまでの第１距離が、前記支点から前記第２ローラーまでの第２距離より短い請求項２に記載の剥離装置。
4. ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置であって、
   エンドレスループ状に形成された粘着テープと、
   前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、
   前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラー及び第２ローラーと、を備え、
   前記第１ローラー及び前記第２ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラー及び前記第２ローラーを前記支持部に接近させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離装置。
5. 前記粘着テープは、撓みが形成された後、前記ワーク部材に対して鋭角の剥離角が形成される請求項１または４に記載の剥離装置。
6. 前記粘着テープと、前記支持部と、前記第１ローラーと、前記第２ローラーと、を備える剥離ヘッドと、
   前記剥離ヘッドを前記フィルム材に対して接離する第１移動方向、及び、前記第１移動方向に交差する第２移動方向に移動させる移動機構と、を備える請求項１または４に記載の剥離装置。
7. ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、
   エンドレスループ状に形成された粘着テープと、
   前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、
   前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラーと、
   前記第１ローラーに連動する第２ローラーと、を備え、
   前記第１ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラーを変位させるのに連動して前記粘着テープの周回方向と同じ方向に前記第２ローラーを変位させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離ヘッド。
8. ワーク部材の表面に貼り付けられたフィルム材を前記ワーク部材から剥離させるフィルム材の剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、
   エンドレスループ状に形成された粘着テープと、
   前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、
   前記粘着テープと前記フィルム材とを接着する第１ローラー及び第２ローラーと、を備え、
   前記第１ローラー及び前記第２ローラーが前記フィルム材を前記ワーク部材から剥離させるときに、前記粘着テープを前記フィルム材に接着させた前記第１ローラー及び前記第２ローラーを前記支持部に接近させて、前記粘着テープに撓みを形成してから前記フィルム材を剥離させる剥離ヘッド。
9. 剥離装置に適用される剥離ヘッドであって、
   エンドレスループ状に形成された粘着テープと、
   前記粘着テープを周回可能に支持する支持部と、
   Ｌ字状に形成され回転軸の中心を支点として回転可能に支持されたローラー支持部材と、
   前記支点に対して前記ローラー支持部材の一端側で支持された第１ローラーと、
   前記支点に対して前記ローラー支持部材の他端側で支持された第２ローラーと、を備え、
   前記第１ローラー及び第２ローラーは、前記ローラー支持部材の回転に伴って、所定の方向に変位する剥離ヘッド。

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