JP4688728B2 - 表面保護フィルム剥離方法および表面保護フィルム剥離装置 - Google Patents
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Description
すなわち2番目の発明においては、剥離動作の途中において被覆手段が可動テーブル上のマウントフレームおよびウェーハに接触するのを防止できる。また、剥離動作の開始直後だけでなく剥離動作の途中においても、剥離テープがダイシングテープの露出した粘着面に接着するのを防止できる。
すなわち3番目の発明においては、剥離動作を行いつつ被覆手段を後退させることにより、剥離動作完了後にウェーハを次工程に直ちに移行することができる。なお、所定位置は、例えば剥離テープがダイシングテープの露出した粘着面に貼付きえない位置を表す。
すなわち5番目の発明においては、剥離動作の途中において被覆手段が可動テーブル上のマウントフレームおよびウェーハに接触するのを防止できる。また、剥離動作の開始直後だけでなく剥離動作の途中においても、剥離テープがダイシングテープの露出した粘着面に接着するのを防止できる。
すなわち6番目の発明においては、剥離動作を行いつつ被覆手段を後退させることにより、剥離動作完了後にウェーハを前記次工程に直ちに移行することができる。なお、所定位置は、例えば剥離テープがダイシングテープの露出した粘着面に貼付きえない位置を表す。
すなわち7番目の発明においては、ウェーハとマウントフレームとの間の粘着面に先端部分を容易に進入させられる。
すなわち8番目の発明においては、被覆手段の先端をマウントフレームの頂面よりも下方に位置決めできる。このため、裏面研削されたウェーハの厚さがマウントフレームの厚さよりもかなり小さい場合であっても、被覆手段の先端をウェーハの位置まで容易に下降させられる。
すなわち9番目の発明においては、被覆手段の先端部分によって剥離テープの幅部分全体を受容することができる。
すなわち10番目の発明においては、剥離テープが先端部分に接着したとしても、剥離テープは複数の隆起部の先端部にのみ接着するだけであるので、剥離テープが被覆手段に完全に貼付いてしまうのを防止できる。
すなわち11番目の発明においては、段部の高さ分だけ、先端部分をさらに下方に位置決めすることができる。
図1は本発明に基づく表面保護フィルム剥離装置の略図である。表面保護フィルム剥離装置10に供給されるウェーハ20は、バックグラインドによりその裏面が表面側の面取部26まで研削されており、ウェーハ20の厚さは例えば100マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ20の表面には、回路パターンを保護する表面保護フィルム11が既に貼付けられているものとする。さらに、図9を参照して説明したように、ウェーハ20の研削面22にはダイシングテープ3が貼付けられており、ウェーハ20はダイシングテープ3によってマウントフレーム36と一体化されているものとする。
3a 環状露出面
4 剥離テープ
4a ループ
10 表面保護フィルム剥離装置
11 表面保護フィルム
20 ウェーハ
22 研削面(裏面)
28 一端
29 他端
31 支持テーブル
36 マウントフレーム
36a 頂面
39 後端
42 供給部
43 巻取部
46 貼付部材
46a 先端
47、65 ガイドロール
61 モータ
62 シャフト
63 カバーガイド部
66 連結ユニット
67 ホルダ
70 被覆板ユニット
71a、71b モータ
72、76 スライダ
73、77 カバーガイド部
74、78 案内レール
75a、75b ブラケット
76a、76b 延長部
80 被覆板
81 ベース部分
81a 下面
82 先端部分
83 縁部
84 下面
85 隆起部
86 頂部
87 側端部
88 溝
89 ネジ孔
90 段部
91 位置センサ
93 後端
95 制御部
P1 第一位置
P2 第二位置
Claims (10)
- ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離方法であって、前記ウェーハの裏面にダイシングテープが貼付けられていて前記ウェーハがマウントフレームと一体化されている、表面保護フィルム剥離方法において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハおよび前記マウントフレームを可動テーブル上に支持し、
前記ウェーハの一端において前記マウントフレームと前記ウェーハとの間に露出している前記ダイシングテープの粘着面を被覆手段により被覆し、前記被覆手段の上面には前記可動テーブルの移動方向に延びる複数の隆起部が前記被覆手段の幅に沿って形成されており、
剥離テープを前記ウェーハの前記一端において前記表面保護フィルムに貼付け、
前記可動テーブルを前記ウェーハの他端から前記一端に向かう方向に移動させて、前記表面保護フィルムを前記ウェーハの表面から剥離する表面保護フィルム剥離方法。 - 前記可動テーブルの移動時には、前記被覆手段を前記可動テーブルと一体的に移動させるようにした請求項1に記載のフィルム剥離方法。
- 前記ウェーハ上に貼付けられた前記表面保護フィルムが所定位置まで剥離されると、前記ダイシングテープを被覆しない後退位置まで前記被覆手段を後退させるようにした請求項2に記載のフィルム剥離方法。
- ウェーハの表面に貼付けられた表面保護フィルムを剥離する表面保護フィルム剥離装置であって、前記ウェーハの裏面にダイシングテープが貼付けられていて前記ウェーハがマウントフレームと一体化されている、表面保護フィルム剥離装置において、
前記表面保護フィルムを上方に向けて前記ウェーハおよび前記マウントフレームを支持すると共に水平方向に移動可能な可動テーブルと、
前記ウェーハの一端において前記マウントフレームと前記ウェーハとの間に露出している前記ダイシングテープの粘着面を被覆する被覆手段と、を具備し、前記被覆手段の上面には前記可動テーブルの移動方向に延びる複数の隆起部が前記被覆手段の幅に沿って形成されており、
さらに、
剥離テープを前記ウェーハの前記一端において前記表面保護フィルムに貼付ける貼付手段を具備し、
前記剥離テープの貼付後に前記可動テーブルを前記ウェーハの他端から前記一端に向かう方向に移動させることにより、前記表面保護フィルムを前記ウェーハの表面から剥離する表面保護フィルム剥離装置。 - 前記被覆手段は、前記可動テーブルの移動時に該可動テーブルと一体的に移動する請求項4に記載のフィルム剥離装置。
- 前記ウェーハ上に貼付けられた前記表面保護フィルムが所定位置まで剥離されると、前記ダイシングテープを被覆しない後退位置まで前記被覆手段を後退させる請求項5に記載のフィルム剥離装置。
- 前記被覆手段は、断面が次第に先細になる先端部分を含む請求項4から6のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。
- 前記被覆手段は水平面に対して下方に傾斜している請求項4から7のいずれか一項に記載のフィルム剥離装置。
- 前記被覆手段の幅は前記剥離テープの幅以上である請求項4から8のいずれかに一項に記載のフィルム剥離装置。
- 前記被覆手段の下面には段部が形成されており、前記先端部分は前記被覆手段のベース部分よりも前記段部の分だけ下方に位置している請求項7に記載のフィルム剥離装置。
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