JP2003059862A

JP2003059862A - 剥離装置

Info

Publication number: JP2003059862A
Application number: JP2001242076A
Authority: JP
Inventors: Keiichiro Higuchi; 計一郎樋口; Kenji Kobayashi; 賢治小林
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2001-08-09
Filing date: 2001-08-09
Publication date: 2003-02-28

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な装置構成で転写体を支持体に確実に保
持させ、保護テープの剥離を確実に行うこと。【解決手段】保護テープＣを所定の一端側から他端側
に向かって次第にウェハＷから剥離する剥離装置１０
は、保護テープＣが回路面に貼着されたウェハ転写体Ｈ
を支持する支持体１２を備えており、この支持体１２
は、ウェハ転写体Ｈを支持した状態で、保護テープＣよ
りも外側に位置するウェハ転写体Ｈの外側部分に接触可
能な押え部材３１を含んで構成されている。押え部材３
１は、保護テープＣの剥離時にウェハ転写体Ｈの外側部
分を押圧することで、ウェハ転写体Ｈを略一定位置に保
つことが可能となっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は剥離装置に係り、更
に詳しくは、より簡単な装置構成で、支持体上の転写体
の保持を確実に行うことのできる剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、表面側が回路面となる略円盤
状の半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という）が知
られている。このウェハは、一般的に、前記回路面に保
護テープを貼着した後で、裏面側をグラインダー等によ
り切削加工することで厚みが調整される。そして、円環
状のリングフレームの内側で表出するダイシングテープ
に前記ウェハを保持させて転写体を形成し、その後、ウ
ェハに貼着された保護テープを剥がした上でウェハを賽
の目状に切断することにより半導体チップが形成され
る。

【０００３】ところで、本出願人は、ダイシングテープ
に保持されたウェハから保護テープを剥離する作業を自
動化できる剥離装置を提案した（特願２０００−１０６
８２７号等参照）。この剥離装置は、転写体をテーブル
に吸着保持した状態で、ウェハに貼着された保護テープ
の一端側に剥離テープを熱融着し、当該剥離テープを剥
がしヘッド部で把持して当該剥がしヘッド部とテーブル
とを相対移動させることにより、保護テープの一端側か
ら他端側に向かって当該保護テープを次第にウェハから
剥離させるようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記剥
離装置にあっては、テーブル上の転写体の保持を吸着に
よって行っているため、その吸着力によっては、前記保
護テープをウェハから剥離する際に、前記転写体がテー
ブルから持ち上げられてしまい、保護テープをウェハか
ら剥離できなくなる場合がある。また、テーブルに吸着
機能を付与させるために、バキュームポンプやそれに繋
がる配管類が必要となる他、テーブルの構成も複雑にな
る等、装置全体の複雑化、高コスト化を招来するという
問題もある。

【０００５】

【発明の目的】本発明は、既提案の構造上の問題に鑑み
て更にこれを改良したものであり、その目的は、簡単な
装置構成で転写体を支持体に確実に保持させ、保護テー
プの剥離を確実に行うことができる剥離装置を提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、保護テープが貼着された被着体を含む転
写体を支持する支持体を備え、前記保護テープを所定の
一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する
剥離装置であって、前記支持体は、前記転写体を支持し
た状態で、前記保護テープよりも外側に位置する転写体
の外側部分に接触可能な押え部材を含み、この押え部材
は、前記保護テープの剥離時に前記転写体の外側部分に
押圧することで、前記転写体を略一定位置に保つ、とい
う構成を採っている。このような構成によれば、転写体
を支持体に吸着しなくても、転写体の外側部分への押え
部材の押圧力によって転写体が略一定位置に保持される
ため、簡単な構造で転写体を支持体に確実に保持させる
ことができ、ひいては、保護テープの剥離を確実に行う
ことができる。

【０００７】また、本発明において、前記押え部材は、
前記転写体を支持体に受け入れ可能な開放位置と、前記
転写体の外側部分を押圧可能なセット位置との間で変位
する、という構成を採ることが好ましい。このように構
成することで、保護テープを剥離する前後において、前
記開放位置に押え部材を配置することにより、その際に
おける支持体への転写体の設置及び取り出しを難なく行
うことができる。

【０００８】更に、前記押え部材には、前記転写体の外
側部分を受容する段部が形成される、という構成を採る
ことにより、保護テープの剥離時において転写体をより
強固に保持することができ、保護テープの剥離を一層確
実に行うことができる他、転写体の位置決め（センター
リング）をも確実に行うことができる。

【０００９】また、前記転写体は、前記被着体よりも外
側位置で所定の隙間を隔てて配置されるフレームと、こ
れら被着体及びフレームの裏面側に貼着される粘着シー
トとを更に備え、前記押え部材は、前記転写体の外周方
向に沿う複数箇所に設けられ、そのうち前記保護テープ
の剥離開始位置の近傍に設けられている押え部材には、
前記保護テープの剥離時に、前記隙間に表出する粘着シ
ートの面部分に接触する接触部が形成される、という構
成を併用するとよい。これにより、保護テープの剥離時
に粘着シートが支持体側に押し付けられることになり、
保護テープの剥離による粘着シート及び被着体の持ち上
がりを防止することができ、保護テープの被着体からの
剥離をより確実に行うことができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。

【００１１】［第１実施例］図１には、第１実施例に係
る剥離装置１０に適用される転写体としてのウェハ転写
体Ｈの概略斜視図が示されており、図２には、図１のＡ
−Ａ線矢視拡大縦断面図が示されている。これらの図に
おいて、ウェハ転写体Ｈは、被着体としての略円盤状の
ウェハＷと、このウェハＷの表面側となる回路面に貼着
される保護テープＣと、ウェハＷの裏面側に貼着される
とともに、ウェハＷよりも大きな平面積となる粘着シー
トとしてのダイシングテープＴと、このダイシングテー
プＴの外周部分に沿って配置されるフレームとしてのリ
ングフレームＲとにより構成されている。リングフレー
ムＲの一部には、直線状端面部分ＦがリングフレームＲ
の周方向四箇所に略等間隔毎に形成されている。また、
リングフレームＲの内周縁側とウェハＷの外周縁側との
間には、略円環状の隙間Ｄが形成されるようになってお
り、当該隙間ＤからダイシングテープＴの粘着面Ｓが表
出する。ここで、保護テープＣが貼着されたウェハＷよ
りも外側に位置するウェハ転写体Ｈの部分、すなわち、
前記隙間Ｄから表出する粘着面Ｓ及びリングフレームＲ
が、ウェハ転写体Ｈの外側部分を構成する。

【００１２】剥離装置１０は、図示しないグラインダー
等で裏面が切削された後のウェハＷから保護テープＣを
剥離する装置である。すなわち、この剥離装置１０は、
図３に模式的に示されるように、保護テープＣの所定の
一端側に剥離テープＡを接着して、当該剥離テープＡの
一端側を把持した状態で、その他端側に向かってウェハ
Ｗとの間で相対移動させることにより保護テープＣをウ
ェハＷから剥離可能に構成したものである。ここで、剥
離テープＡは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
フィルム等の耐熱性フィルムに感熱性接着剤層を設けた
もの、或いは、感熱性フィルムによって全体を構成した
ものが例示できる。要するに、剥離テープＡとしては、
保護テープＣのウェハＷへの貼着力よりも高い接着力を
確保し、保護テープＣの剥離時に剥離テープＡが保護テ
ープＣから外れない限りにおいて、種々の材質のものを
採用することができる。

【００１３】剥離装置１０は、図４に示されるように、
ウェハ転写体Ｈを支持する支持体１２と、この支持体１
２を略水平方向（図４中左右方向）に移動させる移動手
段１３と、支持体１２に支持されたウェハ転写体Ｈにお
ける保護テープＣの一端側に剥離テープＡを接着するテ
ープ接着切断手段２３と、保護テープＣに接着された剥
離テープＡの端部を把持可能な把持手段２５とを備えて
構成されている。

【００１４】前記支持体１２は、図５及び図６に示され
るように、ウェハ転写体Ｈが載置される略円盤状のテー
ブル２７と、このテーブル２７の外周に沿って略等間隔
毎に複数配置される（本実施例では四箇所）押え部材３
１と、この押え部材３１をテーブル２７に相対移動可能
に支持する押え部材支持手段３３と、テーブル２７及び
押え部材支持手段３３を下方から支持するベース体２９
とを備えて構成されている。

【００１５】テーブル２７は、特に限定されるものでは
ないが、載置面となる上面の直径がリングフレームＲの
直径よりも大径に設定されており、これにより、ウェハ
転写体Ｈは、テーブル２７の外周縁よりも内側領域で支
持されることとなる。なお、本実施例では、テーブル２
７を円盤状としたが、これに限定されず、矩形状若しく
は方形状としてもよい。

【００１６】前記押え部材３１は、平面視で略矩形状を
なし、押え部材支持手段３３を構成する後述の昇降シリ
ンダー３５の駆動によって、ウェハ転写体Ｈの外側部分
となるリングフレームＲを押圧し固定するようになって
いる。また、押え部材３１におけるテーブル２７寄りの
先端部３１Ａには、前記リングフレームＲの直線状端面
部分Ｆを受容可能な段部３４が形成されている。この段
部３４は、押え部材３１の下側に形成され、直線状端面
部分Ｆを受容した状態で、前記先端部３１Ａが直線状端
面部分Ｆの上面側に覆い被さって当該直線状端面部分Ｆ
に接触するようになっており、これによって、リングフ
レームＲを含むウェハ転写体Ｈの位置決め（センターリ
ング）が可能となる。なお、この段部３４は、ウェハ転
写体Ｈの位置決めが可能な限りにおいて省略することも
できる。

【００１７】前記押え部材支持手段３３は、押え部材３
１を昇降させる昇降シリンダー３５と、当該昇降シリン
ダー３５を水平方向に移動させる水平移動機構３６とか
らなる。水平移動機構３６は、特に限定されるものでは
ないが、図示しないシリンダーの動力によって昇降シリ
ンダー３５をテーブル２７の軸心方向（図５中左右方
向）に延びるレール部材３７に沿って移動可能な構成が
採用されている。従って、昇降シリンダー３５及び水平
移動機構３６の駆動により、押え部材３１は、テーブル
２７に対して相対的に移動し、ウェハ転写体Ｈをテーブ
ル２７に受け入れ可能な開放位置Ｐ１（図５中二点鎖線
参照）と、ウェハ転写体Ｈの外側部分の一部となるリン
グフレームＲの直線状端面部分Ｆを押圧可能なセット位
置Ｐ２（同実線参照）との間で変位可能となっている。
なお、本実施例では、押え部材３１の段部３４をリング
フレームＲの直線状端面部分Ｆに接触するようにした
が、リングフレームＲの他の外周部分に接触可能な構成
としてもよい。

【００１８】前記移動手段１３は、ベース体２９の下方
位置で図５中左右方向に延びるレール部材３８と、この
レール部材３８に沿って摺動可能に設けられるととも
に、ベース体２９を支持する摺動部材３９と、当該摺動
部材３９をレール部材３８に沿って摺動させる駆動装置
４２とによって構成されている。このため、駆動装置４
２が駆動すると、ベース体２９が略水平方向に移動し、
当該ベース体２９に載置支持されるテーブル２７と押え
部材３１が一体的に図５中左右方向に移動できるように
なっている。

【００１９】図４に示されるテープ接着切断手段２３及
び把持手段２５は、例えば、前記特願２０００−１０６
８２７号で既に提案された構造が主に採用されており、
本明細書では、以下に簡単に説明する。

【００２０】テープ接着切断手段２３は、全体が支持体
１２に離間接近可能に設けられており、剥離テープＡの
接着時に支持体１２に接近するようになっている。この
テープ接着切断手段２３は、前記剥離テープＡをテープ
保持体４５から繰り出すテープ繰出部５４と、テープ繰
出部５４によって繰り出された剥離テープＡをウェハＷ
上の保護テープＣの端部に熱融着するとともに、当該融
着後の剥離テープＡをテープ繰出部５４側から切り離す
ヒーターカッター部５６とを備えて構成されている。

【００２１】前記把持手段２５は、剥離テープＡを把持
可能な剥がしヘッド部７２を備えている。この剥がしヘ
ッド部７２は、図示しない移動機構によって、昇降可能
に設けられるとともに、図４中左右方向に移動可能に設
けられている。また、剥がしヘッド７２の先端側には、
内向きのチャック７３（図３、図５参照）が設けられて
おり、剥離テープＡの端部を挟み込み可能となってい
る。

【００２２】次に、剥離装置１０の全体的作用につい
て、主として図５を用いながら以下に説明する。

【００２３】先ず、図示しないグラインダー等によっ
て、所定の厚みに裏面が研削されたウェハＷをリングフ
レームＲの内側のダイシングテープＴに貼着してなるウ
ェハ転写体Ｈをテーブル２７上に載置する。この際、押
え部材３１は、前記開放位置Ｐ１にあり、押え部材３１
に干渉することなくウェハ転写体Ｈをテーブル２７に載
置可能となる。この際、ウェハ転写体Ｈは、リングフレ
ームＲの各直線状端面部分Ｆが各押え部材３１の先端部
３１Ａに対向する向きでテーブル２７に載置される。こ
の状態から、押え部材３１が前記セット位置Ｐ２に変位
し、昇降シリンダー３５が下降してリングフレームＲを
押圧する。また、同時に、各段部３４に各直線状端面部
分Ｆが受容されてウェハ転写体Ｈがテーブル２７上の一
定位置に保持される。そして、図４に示されるテープ接
着切断手段２３により、ウェハＷの上面側に貼着された
保護テープＣの一端側（同図中右端側）に剥離テープＡ
を熱融着し、当該熱融着された剥離テープＡを図示しな
いテープ切断部で切断し、テープ保持体４５側から切り
離して片状にする。

【００２４】そして、テープ接着切断手段２３が全体的
に上昇し、その後、図５に示されるように、保護テープ
Ｃの同図中右端側に熱融着された剥離テープＡの端部を
把持する剥がしヘッド部７２が同図中左方（矢印Ｘ１方
向）に移動するとともに、ベース体２９が同図中右方
（矢印Ｘ２方向）に移動し、テーブル２７及び押え部材
３１が一体的に剥がしヘッド部７２と反対方向に移動す
る。これによって、押え部材３１がウェハ転写体Ｈの外
側部分に接触した状態を維持しながら、保護テープＣが
同図中右端側から左端側に向かってウェハＷから次第に
剥離されることになる。このように、剥離テープＡによ
ってウェハＷから剥離された保護テープＣは、剥がしヘ
ッド部７２の移動により廃棄ボックス７５（図４参照）
上に送られた後で、チャック７３が開放し、上方からの
エアブローによって廃棄ボックス７５内に落下される。
そして、押え部材３１がテーブル２７に相対移動するこ
とによって前記開放位置Ｐ１に変位した後、保護テープ
Ｃの剥離後のウェハＷを保持してなるウェハ転写体Ｈ
が、図示しないロボットアーム等によってテーブル２７
より搬出されて、図示しない収納ボックス内に収納さ
れ、或いは、ウェハを賽の目状に切断するダイシング工
程を行うダイサー等に搬送される。その後、ウェハ転写
体Ｈが搬出されたテーブル２７上には、新しいウェハ転
写体Ｈが図示しないロボットアームにより載置されて、
上記工程が繰り返し行われる。

【００２５】従って、このような実施例によれば、保護
テープＣをウェハＷから剥離する際に、押え部材３１に
よりリングフレームＲが押圧されるため、ウェハ転写体
Ｈがテーブル２７から持ち上がることを簡単な構造で確
実に防止でき、更に、押え部材３１に段部３４が形成さ
れ、この段部３４が直線状端面部分Ｆと係合することに
より、リングフレームＦをセンターリングして位置決め
可能になるという効果を得る。

【００２６】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。なお、以下の説明において、前記第１実施例と同一
若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるも
のとし、説明を省略若しくは簡略にする。

【００２７】［第２実施例］第２実施例は、前記第１実
施例で四箇所に設けられた押え部材３１のうち一箇所の
形状を他の三箇所の形状と相違させたところに特徴を有
し、その他の構成は第１実施例と実質的に同一となって
いる。すなわち、図７及び図８に示されるように、保護
テープＣの剥離開始位置Ｎの近傍に設けられる押え部材
７７は、他の三箇所に設けられた前記押え部材３１と異
なる形状をなす。押え部材７７は、略平板形状をなす本
体片７９と、この本体片７９の上部からテーブル２７に
向かって略水平に延びる先端形成片８０と、この先端形
成片８０のテーブル２７寄り先端側から下方に延びる側
面視略Ｌ字状のＬ字片８１とによって構成されている。
この際、前記Ｌ字片８１の下面８１Ａは、ウェハＷの剥
離開始位置Ｎのすぐ外側となる前記隙間Ｄから表出する
ダイシングテープＴの粘着面Ｓに接触するようになって
おり、当該粘着面Ｓの接触部として機能する。なお、下
面８１Ａには、特殊剥離コーティング（株式会社トシカ
製のトシカル表面処理）が施されており、粘着面Ｓに対
して剥離し易くなっている。

【００２８】従って、このような第２実施例によれば、
保護テープＣの剥離時に、当該剥離方向と反対側に位置
する隙間Ｄに表出する粘着面Ｓを押えることができ、保
護テープＣの剥離によるダイシングテープＴの上方への
湾曲を抑制しすることで、当該ダイシングテープＴを略
平面状に保持し、より確実な保護テープＣの剥離が可能
となる。これによって、極薄のウェハＷが貼着されたウ
ェハ転写体Ｈであっても、保護テープＣの剥離時におけ
るウェハＷの反りや傷付きを防止することができる。

【００２９】なお、前記各実施例において、保護テープ
Ｃの剥離終了位置の付近に設けられた図５及び図８中左
端側の押え部材３１は省略することも可能である。要す
るに、前記押え部材３１としては、前述の位置及び数に
限定されるものではなく、保護テープＣの剥離時にウェ
ハ転写体Ｈをテーブル２７上の略一定位置に保持できる
限りにおいて、位置の変更及び数の増減が可能である。

【００３０】また、図９に示されるように、テーブル２
７の外周部分に切欠部Ｕを設け、当該切欠部Ｕの内部に
押え部材支持手段３３が移動可能となる構成としてもよ
い。これにより、押え部材３１，７７をよりテーブル２
７の中央領域に近づける状態が可能となり、例えば、１
２インチ用のリングフレームＲ１と８インチ用のリング
フレームＲ２とのサイズ切換に対応可能となり、より多
くの平面サイズのウェハ転写体Ｈに対応可能となる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
前記支持体に前記転写体を支持した状態で、前記保護テ
ープよりも外側に位置する転写体の外側部分に押圧可能
な押え部材を設け、前記保護テープの剥離時に押え部材
を前記転写体の外側部分に押圧させることで、前記転写
体を略一定位置に保つ構成を採用したから、簡単な構造
で転写体を支持体に確実に保持させ、保護テープの剥離
を確実に行うことができる。

【００３２】また、本発明において、前記転写体を支持
体に受け入れ可能な開放位置と、前記転写体の外側部分
を押圧可能なセット位置との間で前記押え部材が変位す
る構成としたから、保護テープを剥離する前後における
支持体への転写体の設置及び取り出しを難なく行うこと
ができる。

【００３３】更に、前記押え部材に前記外側部分を受容
する段部を形成したから、保護テープの剥離時において
転写体をより強固に保持することができる他、転写体の
位置決めを確実に行うことができる。

【００３４】また、保護テープの剥離開始位置の近傍に
設けられている押え部材に、前記隙間に表出する粘着シ
ートの面部分に接触可能な接触部を形成したから、保護
テープの剥離による粘着シート及び被着体の持ち上がり
を防止することができ、保護テープの被着体からの剥離
をより確実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る剥離装置に適用されるウェハ
転写体の概略斜視図。

【図２】図１のＡ−Ａ線矢視拡大断面図。

【図３】前記剥離装置の要部を模式的に示した概略斜視
図。

【図４】前記剥離装置の概略正面図。

【図５】支持体の拡大断面正面図。

【図６】支持体の拡大平面図。

【図７】第２実施例に係る剥離装置の要部を模式的に示
した概略斜視図。

【図８】第２実施例に係る剥離装置に適用される支持体
の拡大断面正面図。

【図９】変形例に係る剥離装置に適用される支持体の拡
大平面図。

【符号の説明】

１０剥離装置１２支持体２７テーブル（支持体）３１７７押え部材（支持体）３４段部８１Ａ下面（接触部）Ｃ保護テープＤ隙間Ｆ直線状端面部分Ｈウェハ転写体（転写体）Ｐ１開放位置Ｐ２セット位置Ｒリングフレーム（フレーム）Ｓ粘着面Ｔダイシングテープ（粘着シート）Ｗウェハ（被着体）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】保護テープが貼着された被着体を含む転
写体を支持する支持体を備え、前記保護テープを所定の
一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する
剥離装置であって、前記支持体は、前記転写体を支持した状態で、前記保護
テープよりも外側に位置する転写体の外側部分に接触可
能な押え部材を含み、この押え部材は、前記保護テープ
の剥離時に前記転写体の外側部分を押圧することで、前
記転写体を略一定位置に保つことを特徴とする剥離装
置。
【請求項２】前記押え部材は、前記転写体を支持体に
受け入れ可能な開放位置と、前記転写体の外側部分を押
圧可能なセット位置との間で変位することを特徴とする
請求項１記載の剥離装置。
【請求項３】前記押え部材には、前記転写体の外側部
分を受容する段部が形成されていることを特徴とする請
求項２記載の剥離装置。
【請求項４】前記転写体は、前記被着体よりも外側位
置で所定の隙間を隔てて配置されるフレームと、これら
被着体及びフレームの裏面側に貼着される粘着シートと
を更に備え、前記押え部材は、前記転写体の外周方向に沿う複数箇所
に設けられ、そのうち前記保護テープの剥離開始位置の
近傍に設けられている押え部材には、前記保護テープの
剥離時に、前記隙間に表出する粘着シートの面部分に接
触する接触部が形成されていることを特徴とする請求項
１、２又は３記載の剥離装置。