JP6476027B2 - シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 - Google Patents
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Description
スロープ形成手段を設けた場合、フレームがギャップ部で引っ掛かり、接着シートが剥離できなくなることを防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中手前に向かう方向で「後」がその逆方向とする。
支持テーブル22は、第1リングフレームRF1を減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で保持可能なフレーム支持部22Aと、当該フレーム支持部22Aの内側で、ウエハWFに対応した第1接着シートAS1部分を前記同様の減圧手段で保持可能なウエハ支持部22Bと、それらフレーム支持部22Aとウエハ支持部22Bとの間に形成された環状の溝部22Cとを備えている。
剥離用保持手段23は、ウエハ支持部22Bの内部に設けられた駆動機器としての直動モータ23Aの出力軸23Bに支持されたチャック部材23Cを備えている。
スロープ形成手段24は、フレーム支持部22Aの内部に傾斜して設けられた駆動機器としての直動モータ24Aの出力軸24Bに支持されたスロープ形成片24Cを備え、フレーム支持部22Aとウエハ支持部22Bとの段差で形成されたギャップ部22DにスロープSPを形成するようになっている。
第2保持部54は、支持部材52に対して昇降可能な軸部材54Aと、当該軸部材54Aの下端に支持された吸着パッド等の吸着部材54Bと、軸部材54Aを下方に付勢するコイルばね等の弾性部材54Cとを備えている。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート転写装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段、または、第2保持手段50によって、第1接着シートAS1を介してウエハWFと第1リングフレームRF1とが一体化された一体物WK1が図2(A)に示すように支持テーブル22上に載置される。すると、第1保持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、第1リングフレームRF1およびウエハWFに対応した領域を吸着保持する。その後、切断手段30が多関節ロボット31を駆動し、図2(B)に示すように、ウエハWFと第1リングフレームRF1との間で第1接着シートAS1を切断する。これにより、第1接着シートAS1は、図1中のAA矢視図中に二点鎖線で示すように、第1リングフレームRF1に貼付された外側シートAS11と、ウエハWFに貼付され当該ウエハWFの外縁から当該外縁の形状に対して異形に突出した突出領域PAを有する内側シートAS12とに分割される。そして、第1保持手段20が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第1リングフレームRF1の吸着保持を解除する。
第1保持手段20は、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力、クーロン力、ベルヌーイ吸着等でウエハWFや第1リングフレームRF1を保持する構成でもよい
剥離用保持手段23としては、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力、クーロン力、ベルヌーイ吸着等で第1接着シートAS1部分を保持する構成でもよい。
第1保持手段20は、図3に示すように、ウエハ支持部22Bの外縁に設けた傾斜面部22Eにてスロープ形成手段24を構成してもよい。
スロープ形成手段24はなくてもよく、この場合、ウエハ支持部22Bの支持面とフレーム支持部22Aの支持面とが同一面上に位置するか、ウエハ支持部22Bの支持面がフレーム支持部22Aの支持面よりも下方に位置することが望ましい。
第1保持手段20は、フレーム支持部22Aおよびウエハ支持部22Bの少なくとも一方を昇降可能に設け、ギャップ部22Dがなくなるように、または、ウエハ支持部22Bの支持面がフレーム支持部22Aの支持面よりも下方に位置するように構成してもよい。
第1保持手段20は、チャック部材23Cとウエハ支持部22Bとで突出領域PAを保持するときに、駆動機器やエアの吹き付け等によって突出領域PAを下方に押し下げたり、駆動機器やエアの吸引等によって突出領域PAを下方に引き付けたりする図示しない保持補助手段を設けてもよい。
本願発明のシート転写装置10において、切断手段30はなくてもよく、この場合、第1接着シートAS1が当初から剥離用保持手段23で保持可能な大きさまたは形状であればよい。
貼付手段40は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジやエアの吹き付け等による押圧手段を採用することができる。
貼付手段40は、押圧ローラ44の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、供給された第2接着シートAS2を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって保持し、ウエハWFに押圧して貼付する構成でもよい。
貼付手段40は、ローラで構成された貼付用剥離手段を採用してもよい。
第2保持手段50は、第2接着シートAS2が貼付されていても貼付されていなくてもウエハWFの他方の面側から当該ウエハWFを保持可能であればよい。
弾性部材54Cはゴムや樹脂等の部材で構成してもよい。
突出領域PAは、ウエハWFの外縁の形状に対して矩形形状に突出していたり、その他、例えば、三角形状、半円形状、半長円形状、台形状等、内側シートAS12の剥離し易さや、突出領域保持手段での保持し易さを勘案して任意の形状としたりすることができる。
内側シートAS12における突出領域PA以外の形状は、ウエハWFの外縁と全く同じ形状でもよいし、ウエハWFの下面よりも小さな形状でもよいし、当該下面よりも大きな形状でもよい。
突出領域の数も任意であり、複数設けていてもよいし、突出領域はなくてもよい。
20…第1保持手段
22D…ギャップ部
23…剥離用保持手段
24…スロープ形成手段
40…貼付手段
50…第2保持手段
53…第1保持部
54…第2保持部
60…剥離手段
AS1…第1接着シート
AS2…第2接着シート
RF2…第2フレーム(フレーム)
RP…剥離開始部
SP…スロープ
WF…ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 一方の面に第1接着シートが貼付された被着体を当該第1接着シートを介して保持する第1保持手段と、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第2保持手段と、
前記第1保持手段と第2保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第1接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記第1保持手段は、前記被着体に対する前記第1接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第1接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、
前記剥離手段は、前記第1接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第1保持手段と第2保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第1接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。 - 一方の面に第1接着シートが貼付された被着体を当該第1接着シートを介して保持する第1保持手段と、
前記被着体の他方の面に第2接着シートを貼付する貼付手段と、
前記第2接着シートを介して前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第2保持手段と、
前記第1保持手段と第2保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第1接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記第1保持手段は、前記被着体に対する前記第1接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第1接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、
前記剥離手段は、前記第1接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第1保持手段と第2保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第1接着シートを剥離することを特徴とするシート転写装置。 - 前記貼付手段は、前記被着体とフレームとに前記第2接着シートを貼付可能に設けられ、
前記第2保持手段は、前記被着体に対応した領域を保持する第1保持部と、前記フレームに対応した領域を保持する第2保持部とを備え、
前記第1保持手段は、前記フレームの移動を妨げるギャップ部にスロープを形成するスロープ形成手段を有していることを特徴とする請求項2に記載のシート転写装置。 - 一方の面に第1接着シートが貼付された被着体を当該第1接着シートを介して第1保持手段で保持する工程と、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を第2保持手段で保持する工程と、
前記被着体に対する前記第1接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第1接着シート部分を保持する工程と、
前記第1接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第1保持手段と第2保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第1接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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