JP6476027B2 - シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 - Google Patents

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置に関する。

従来、第１接着シートに貼付された半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）を第２接着シートに転写する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−２１６６０６号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、ウエハから第１接着シートを剥離する際、当該第１接着シートが貼付された被着面の面方向に加え、当該被着面に交差する方向にもウエハを移動させるため、当該ウエハに対してその厚み方向（被着面に交差する方向）に負荷をかけてストレスを与えてしまい、その結果、半導体装置の歩留まりを低下させてしまうという致命的な不都合が発生する。

本発明の目的は、被着面に接着シートが貼付された被着体に対し、当該被着面に交差する方向の負荷をかけることなく当該接着シートを剥離することができるシート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して保持する第１保持手段と、前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第２保持手段と、前記第１保持手段と第２保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記第１保持手段は、前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、前記剥離手段は、前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離することを特徴とする。

前記目的を達成するために、本発明のシート転写装置は、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して保持する第１保持手段と、前記被着体の他方の面に第２接着シートを貼付する貼付手段と、前記第２接着シートを介して前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第２保持手段と、前記第１保持手段と第２保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記第１保持手段は、前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、前記剥離手段は、前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離することを特徴とする。

本発明において、前記貼付手段は、前記被着体とフレームとに前記第２接着シートを貼付可能に設けられ、前記第２保持手段は、前記被着体に対応した領域を保持する第１保持部と、前記フレームに対応した領域を保持する第２保持部とを備え、前記第１保持手段は、前記フレームの移動を妨げるギャップ部にスロープを形成するスロープ形成手段を有していることが好ましい。

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離方法は、一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して第１保持手段で保持する工程と、前記被着体の他方の面側から当該被着体を第２保持手段で保持する工程と、前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持する工程と、前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とする。

以上のような本発明によれば、第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させて当該第１接着シートを剥離するため、被着面に接着シートが貼付された被着体に対し、当該被着面に交差する方向の負荷をかけることなく当該接着シートを剥離することができる。
スロープ形成手段を設けた場合、フレームがギャップ部で引っ掛かり、接着シートが剥離できなくなることを防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート転写装置を示す正面図。 シート転写装置の動作を説明するための説明図。 シート転写装置の変形例を示す図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中手前に向かう方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート転写装置１０は、一方の面としての下面に第１接着シートＡＳ１が貼付され、第１リングフレームＲＦ１と一体化された被着体としてのウエハＷＦを当該第１接着シートＡＳ１を介して保持する第１保持手段２０と、ウエハＷＦと第１リングフレームＲＦ１との間で第１接着シートＡＳ１を切断する切断手段３０と、ウエハＷＦの他方の面としての上面とフレームとしての第２リングフレームＲＦ２とに第２接着シートＡＳ２を貼付する貼付手段４０と、第２接着シートＡＳ２を介してウエハＷＦの上面側から当該ウエハＷＦを保持する第２保持手段５０と、第１保持手段２０と第２保持手段５０とを所定の剥離方向に相対移動させてウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離する剥離手段６０とを備えている。なお、第１保持手段２０と、第２保持手段５０と、剥離手段６０とで本発明のシート剥離装置が構成される。

第１保持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された支持テーブル２２と、ウエハＷＦに対する第１接着シートＡＳ１の剥離開始部ＲＰよりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シートＡＳ１部分を保持可能な剥離用保持手段２３と、第２リングフレームＲＦ２の移動を妨げるギャップ部２２ＤにスロープＳＰ（図２（Ｇ）参照）を形成するスロープ形成手段２４とを備えている。
支持テーブル２２は、第１リングフレームＲＦ１を減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で保持可能なフレーム支持部２２Ａと、当該フレーム支持部２２Ａの内側で、ウエハＷＦに対応した第１接着シートＡＳ１部分を前記同様の減圧手段で保持可能なウエハ支持部２２Ｂと、それらフレーム支持部２２Ａとウエハ支持部２２Ｂとの間に形成された環状の溝部２２Ｃとを備えている。
剥離用保持手段２３は、ウエハ支持部２２Ｂの内部に設けられた駆動機器としての直動モータ２３Ａの出力軸２３Ｂに支持されたチャック部材２３Ｃを備えている。
スロープ形成手段２４は、フレーム支持部２２Ａの内部に傾斜して設けられた駆動機器としての直動モータ２４Ａの出力軸２４Ｂに支持されたスロープ形成片２４Ｃを備え、フレーム支持部２２Ａとウエハ支持部２２Ｂとの段差で形成されたギャップ部２２ＤにスロープＳＰを形成するようになっている。

切断手段３０は、駆動機器としての多関節ロボット３１と、当該多関節ロボット３１の先端部（作業アーム）３１Ａに延長アーム３１Ｂを介して支持された切断部材としてのカッター刃３２とを備えている。多関節ロボット３１は、その作業範囲内において先端部３１Ａに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

貼付手段４０は、第２接着シートＡＳ２が帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ４２と、剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する貼付用剥離手段としての剥離板４３と、剥離された第２接着シートＡＳ２をウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４４と、駆動機器としての回動モータ４５Ａによって駆動する駆動ローラ４５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ４６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ４７とを備えている。

第２保持手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持された支持部材５２と、支持部材５２に支持され減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段でウエハＷＦに対応した領域を保持する第１保持部５３と、前記同様の減圧手段で第２リングフレームＲＦ２に対応した領域を保持する第２保持部５４とを備えている。
第２保持部５４は、支持部材５２に対して昇降可能な軸部材５４Ａと、当該軸部材５４Ａの下端に支持された吸着パッド等の吸着部材５４Ｂと、軸部材５４Ａを下方に付勢するコイルばね等の弾性部材５４Ｃとを備えている。

剥離手段６０は、スライダ６１Ａで第２保持手段５０を支持する駆動機器としてのリニアモータ６１を備えている。

以上のシート転写装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート転写装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段、または、第２保持手段５０によって、第１接着シートＡＳ１を介してウエハＷＦと第１リングフレームＲＦ１とが一体化された一体物ＷＫ１が図２（Ａ）に示すように支持テーブル２２上に載置される。すると、第１保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、第１リングフレームＲＦ１およびウエハＷＦに対応した領域を吸着保持する。その後、切断手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦと第１リングフレームＲＦ１との間で第１接着シートＡＳ１を切断する。これにより、第１接着シートＡＳ１は、図１中のＡＡ矢視図中に二点鎖線で示すように、第１リングフレームＲＦ１に貼付された外側シートＡＳ１１と、ウエハＷＦに貼付され当該ウエハＷＦの外縁から当該外縁の形状に対して異形に突出した突出領域ＰＡを有する内側シートＡＳ１２とに分割される。そして、第１保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、第１リングフレームＲＦ１の吸着保持を解除する。

次いで、第２保持手段５０が直動モータ５１および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、吸着部材５４Ｂで外側シートＡＳ１１付きの第１リングフレームＲＦ１を吸着保持し、剥離手段６０がリニアモータ６１を駆動し、保持した第１リングフレームＲＦ１を所定の回収場所に移載する。その後、図２（Ｄ）に示すように、第２保持手段５０および剥離手段６０が直動モータ５１およびリニアモータ６１を駆動し、第２リングフレームＲＦ２を支持テーブル２２上に載置し、第１保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、当該第２リングフレームＲＦ２を吸着保持する。次いで、第１保持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、支持テーブル２２を左方に移動させ、当該支持テーブル２２が所定の位置に移動したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、貼付手段４０が回動モータ４５Ａを駆動し、支持テーブル２２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、図２（Ｅ）に示すように、剥離板４３で剥離シートＲＬから剥離された第２接着シートＡＳ２が、押圧ローラ４４によって第２リングフレームＲＦ２およびウエハＷＦの上面に押圧されて貼付される。その後、第１保持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、支持テーブル２２を初期位置に復帰させる。

次に、第１保持手段２０が直動モータ２４Ａを駆動し、図２（Ｆ）に示すように、スロープ形成片２４Ｃを突出させ、その先端をウエハ支持部２２Ｂの外周に当接させてギャップ部２２ＤにスロープＳＰを形成する。その後、第２保持手段５０が直動モータ５１および図示しない減圧手段を駆動し、第１保持部５３でウエハＷＦに対応した領域を吸着保持し、吸着部材５４Ｂで第２リングフレームＲＦ２に対応した領域を吸着保持する。また、第１保持手段２０が直動モータ２３Ａを駆動し、図２（Ｇ）に示すように、チャック部材２３Ｃとウエハ支持部２２Ｂとで、第１接着シートＡＳ１部分である突出領域ＰＡを保持する。次いで、第１保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側シートＡＳ１２および第２リングフレームＲＦ２の吸着保持を解除し、剥離手段６０がリニアモータ６１を駆動し、第２保持手段５０をウエハＷＦの下面の面方向である左方のみに移動させて当該ウエハＷＦから内側シートＡＳ１２を剥離する。この剥離動作において、第２リングフレームＲＦ２の右側の内円部がギャップ部２２Ｄを通過する際、当該第２リングフレームＲＦ２は、弾性部材５４Ｃの付勢力に抗してスロープ形成片２４Ｃに沿って上昇を伴って移動する。

内側シートＡＳ１２の剥離が完了すると、第２保持手段５０および剥離手段６０が直動モータ５１およびリニアモータ６１を駆動し、第２接着シートＡＳ２を介してウエハＷＦと第２リングフレームＲＦ２とが一体化された一体物ＷＫ２を所定の移載位置まで移載する。次に、各手段が各駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、人手または図示しない回収手段でウエハＷＦから剥離された内側シートＡＳ１２を回収した後、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような本実施形態によれば、第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦの面の面方向のみに第１保持手段２０と第２保持手段５０とを相対移動させて当該第１接着シートＡＳ１（内側シートＡＳ１２）を剥離するため、被着面（下面）に第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦに対し、当該被着面に交差する方向の負荷をかけることなく当該第１接着シートＡＳ１を剥離することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

第１保持手段２０は、第１リングフレームＲＦ１がなく、一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付されたウエハＷＦを当該第１接着シートＡＳ１を介して保持する構成でもよく、この場合、第１接着シートＡＳ１が当初から剥離用保持手段２３で保持可能な大きさまたは形状であればよい。
第１保持手段２０は、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力、クーロン力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦや第１リングフレームＲＦ１を保持する構成でもよい
剥離用保持手段２３としては、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力、クーロン力、ベルヌーイ吸着等で第１接着シートＡＳ１部分を保持する構成でもよい。
第１保持手段２０は、図３に示すように、ウエハ支持部２２Ｂの外縁に設けた傾斜面部２２Ｅにてスロープ形成手段２４を構成してもよい。
スロープ形成手段２４はなくてもよく、この場合、ウエハ支持部２２Ｂの支持面とフレーム支持部２２Ａの支持面とが同一面上に位置するか、ウエハ支持部２２Ｂの支持面がフレーム支持部２２Ａの支持面よりも下方に位置することが望ましい。
第１保持手段２０は、フレーム支持部２２Ａおよびウエハ支持部２２Ｂの少なくとも一方を昇降可能に設け、ギャップ部２２Ｄがなくなるように、または、ウエハ支持部２２Ｂの支持面がフレーム支持部２２Ａの支持面よりも下方に位置するように構成してもよい。
第１保持手段２０は、チャック部材２３Ｃとウエハ支持部２２Ｂとで突出領域ＰＡを保持するときに、駆動機器やエアの吹き付け等によって突出領域ＰＡを下方に押し下げたり、駆動機器やエアの吸引等によって突出領域ＰＡを下方に引き付けたりする図示しない保持補助手段を設けてもよい。

切断手段３０は、切断部材としてレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター、内側シートＡＳ１２の外形に対応する環状の切断刃等を有していてもよく、それら切断部材の構成に応じて、第１保持手段２０は、支持テーブル２２の溝部２２Ｃを省略したり、溝部２２Ｃに代わる他の構成を採用したりしてもよい。
本願発明のシート転写装置１０において、切断手段３０はなくてもよく、この場合、第１接着シートＡＳ１が当初から剥離用保持手段２３で保持可能な大きさまたは形状であればよい。

貼付手段４０は、第２リングフレームＲＦ２がなく、ウエハＷＦの他方の面に第２接着シートＡＳ２を貼付する構成でもよい。
貼付手段４０は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジやエアの吹き付け等による押圧手段を採用することができる。
貼付手段４０は、押圧ローラ４４の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、供給された第２接着シートＡＳ２を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって保持し、ウエハＷＦに押圧して貼付する構成でもよい。
貼付手段４０は、ローラで構成された貼付用剥離手段を採用してもよい。

第２保持手段５０は、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力、クーロン力、ベルヌーイ吸着等でウエハＷＦや第２リングフレームＲＦ２を保持する構成でもよい。
第２保持手段５０は、第２接着シートＡＳ２が貼付されていても貼付されていなくてもウエハＷＦの他方の面側から当該ウエハＷＦを保持可能であればよい。
弾性部材５４Ｃはゴムや樹脂等の部材で構成してもよい。

剥離手段６０は、内側シートＡＳ１２をウエハＷＦから剥離する場合、第２保持手段５０を固定しておき第１保持手段２０を移動させてもよいし、第１保持手段２０および第２保持手段５０の両方を移動させてもよい。

第１、第２リングフレームＲＦ１、ＲＦ２は、環状でない（外周がつながっていない）フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形、その他の形状であってよい。
突出領域ＰＡは、ウエハＷＦの外縁の形状に対して矩形形状に突出していたり、その他、例えば、三角形状、半円形状、半長円形状、台形状等、内側シートＡＳ１２の剥離し易さや、突出領域保持手段での保持し易さを勘案して任意の形状としたりすることができる。
内側シートＡＳ１２における突出領域ＰＡ以外の形状は、ウエハＷＦの外縁と全く同じ形状でもよいし、ウエハＷＦの下面よりも小さな形状でもよいし、当該下面よりも大きな形状でもよい。
突出領域の数も任意であり、複数設けていてもよいし、突出領域はなくてもよい。

本発明における第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、剥離用保持手段は、被着体に対する第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであれば何ら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

１０…シート転写装置
２０…第１保持手段
２２Ｄ…ギャップ部
２３…剥離用保持手段
２４…スロープ形成手段
４０…貼付手段
５０…第２保持手段
５３…第１保持部
５４…第２保持部
６０…剥離手段
ＡＳ１…第１接着シート
ＡＳ２…第２接着シート
ＲＦ２…第２フレーム（フレーム）
ＲＰ…剥離開始部
ＳＰ…スロープ
ＷＦ…ウエハ（被着体）

Claims (4)

1. 一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して保持する第１保持手段と、
   前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第２保持手段と、
   前記第１保持手段と第２保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
   前記第１保持手段は、前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、
   前記剥離手段は、前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
2. 一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して保持する第１保持手段と、
   前記被着体の他方の面に第２接着シートを貼付する貼付手段と、
   前記第２接着シートを介して前記被着体の他方の面側から当該被着体を保持する第２保持手段と、
   前記第１保持手段と第２保持手段とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記第１接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
   前記第１保持手段は、前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持可能な剥離用保持手段を有し、
   前記剥離手段は、前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離することを特徴とするシート転写装置。
3. 前記貼付手段は、前記被着体とフレームとに前記第２接着シートを貼付可能に設けられ、
   前記第２保持手段は、前記被着体に対応した領域を保持する第１保持部と、前記フレームに対応した領域を保持する第２保持部とを備え、
   前記第１保持手段は、前記フレームの移動を妨げるギャップ部にスロープを形成するスロープ形成手段を有していることを特徴とする請求項２に記載のシート転写装置。
4. 一方の面に第１接着シートが貼付された被着体を当該第１接着シートを介して第１保持手段で保持する工程と、
   前記被着体の他方の面側から当該被着体を第２保持手段で保持する工程と、
   前記被着体に対する前記第１接着シートの剥離開始部よりも剥離方向上流側に位置する当該第１接着シート部分を保持する工程と、
   前記第１接着シートが貼付された被着体の面の面方向のみに前記第１保持手段と第２保持手段とを相対移動させ、当該被着体から前記第１接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。

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