JP2011138917A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWに貼付された接着シートSに剥離用テープPTを貼付し、当該剥離用テープPTを介して接着シートSを剥離するシート剥離装置10。この装置は、半導体ウエハWから剥離される直前の接着シートS領域を半導体ウエハW側に押圧するプレート部材24を含む。プレート部材24は、第1及び第2プレート部材25、26により先端24Aを形成する。第1及び第2プレート部材25、26は、第1及び第2直動モータ17A、17Bに支持され、プレート部材24の先端24Aの幅が変更できる方向に相対移動可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
また、図4(A)に示されるように、リングフレームRFにマウント用テープTを介して一体化されたウエハWから接着シートSを剥離する場合、通常ウエハWはリングフレームRFの厚みよりも薄く研削されているため、接着シートSの上面位置はリングフレームRFの上面位置よりも低い位置となっている。従って、ウエハWの直径D以上の幅D1を備えたエッジ部材P1を用いて図4(A)中A点からB点に向かって剥離を行う場合、A地点近傍の剥離開始領域や、B地点近傍の剥離終了領域では、エッジ部材P1の先端がリングフレームRFに乗り上がってしまい、図4(B)に示されるように、エッジ部材P1の先端と接着シートSとの間に隙間Gが生じることとなる。そのため、エッジ部材P1の先端で剥離される直前の接着シートS領域をウエハW側に押圧しつつ当該接着シートSを折り返して剥離することができなくなり、ウエハWが接着シートSと共に持ち上げられて破損してしまう。ここで、リングフレームRFの内側に入り込みが可能な幅D2を備えたエッジ部材P2を用いて上記同様の剥離を行う場合、接着シートSの剥離が進むに連れて、エッジ部材P2の先端で押圧されることのないウエハW部分と接着シートS部分(領域D3)が出現し、この領域D3のウエハW部分が接着シートSと共に持ち上げられて破損してしまう、とう不都合を招来する。
本発明の目的は、被着体から剥離される直前の接着シート領域の幅が変化しても、その幅変化に対応した押圧を確実に行って接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、剥離姿勢形成手段が複数のプレート部材によってその先端幅が変更可能に設けられた構成では、簡単な構成でプレート部材を相対移動させて先端幅調整を行うことができる。
更に、各プレート部材の先端が一直線上に位置する構成とすることで、直線上に接着シートの剥離縁を形成して確実な剥離を達成することができる。
また、駆動手段を介して複数のプレート部材を移動させる構成では、駆動手段によるプレート部材の先端幅の調整を自動化することができるので、剥離によって生じる剥離縁の幅に合わせて剥離姿勢形成の先端幅を変更し、接着シートを剥離することができ、被着体が接着シートと共に持ち上げられて破損してしまうような不都合を解消することができる。
更に、リングフレームに一体化されたウエハを対象とし、当該ウエハから接着シートを剥離する構成に適用した場合には、接着シートの上面がリングフレームの上面よりも低い位置にあっても、当該リングフレームの上面にプレート部材の先端が乗り上がってしまうような不都合はない。すなわち、剥離開始領域から接着シートの中心を通過するまで次第にプレート部材の先端幅を拡大させ、中心を過ぎた位置から剥離終了領域にかけて次第にプレート部材の先端幅を縮小させることで、プレート部材の先端で剥離される直前の接着シート領域をウエハ側に押圧しつつ、当該接着シートを折り返して剥離縁を形成し、当該接着シートをウエハから剥離することができ、ウエハの破損や割れを確実に防止することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、前記実施形態では、ウエハWと同形状の接着シートSを剥離する場合を例示したが、図3(A)に示されるように、被着体W1に当該被着体W1よりも平面積が大きい接着シートS1が貼付されたものや、図3(B)に示されるように、被着体W2に当該被着体W2よりも平面積が小さい接着シートS2が貼付されたものから接着シートS2を剥離することもでき、被着体や接着シートのサイズや形状に何ら限定されることはない。例えば、図3(A)の場合は、少なくとも剥離縁PEの最大幅である被着体W1の最大幅D4よりも幅広にプレート部材24の先端24Aの幅が拡がれば足り、図3(B)の場合は、少なくとも剥離縁PEの最大幅である接着シートS2の最大幅D5よりも幅広にプレート部材24の先端24Aの幅が広がれば足りる。
また、プレート部材24で剥離用テープを接着シートに押圧する押圧力は、押圧手段14を構成する直動モータ23を所定制御して、被着体の硬度や剥離用テープの性質等を考慮して適宜設定することができる。特に、被着体が脆い性質の場合、プレート部材24の先端24Aで剥離用テープPTを接着シートSの左端に押圧した後、直動モータ23の作動によって、プレート部材24が接着シートSに押圧力を付与するかしないか程度に調整し、上記実施形態と同様に接着シートSを被着体から剥離するように制御するとよい。
更に、前記特許文献1と同様に、押圧手段を貼付けローラで構成し、剥離用テープを接着シートの径方向に亘って貼付した後、上記実施形態と同様に、接着シートを被着体側に押圧しつつ当該接着シートを折り返して被着体から剥離するようにしてもよい。
13 繰出手段
14 押圧手段
15 張力付与手段
16 剥離姿勢形成手段
17 駆動手段
24 プレート部材
24A 先端
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
PE 剥離縁
Claims (5)
- 被着体に貼付された接着シートを、剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を加えることで前記被着体から接着シートを剥離する張力付与手段と、
前記張力付与手段によって前記被着体から剥離される直前の接着シート領域を被着体側に押圧して当該接着シートを折り返すことで剥離縁を形成可能な先端を有し、前記剥離縁を形成する先端の幅が変更可能に設けられた剥離姿勢形成手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離姿勢形成手段は、相対移動可能な複数のプレート部材を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記剥離姿勢形成手段の先端は、前記接着シートの面と平行な面内で同一直線上に位置することを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 前記プレート部材を相対移動させる駆動手段を含み、前記剥離縁の幅に対応して前記先端の幅が変更可能に設けられていることを特徴とする請求項2又は3記載のシート貼付装置。
- 被着体に貼付された接着シートを、剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記繰り出された剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープに張力を加えることで前記被着体から接着シートを剥離する工程と、
前記被着体から剥離される直前の接着シート領域を剥離姿勢形成手段の先端で被着体側に押圧して当該接着シートを折り返すことで剥離縁を形成する工程と、
前記剥離姿勢形成手段の先端幅を変更させて前記被着体から接着シートを剥離する工程と、を備えたことを特徴とするシート剥離方法。
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JP2006100728A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nitto Denko Corp | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
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