JP5996347B2 - シート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法 - Google Patents
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本発明の目的は、板状部材の外縁からはみ出す大きさを有する第1接着シートのはみ出し部の位置若しくは姿勢を一定位置に保って第1接着シート同志の接着を回避可能なシート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、第1接着シートを介して貼付された第2接着シートを第3接着シートに貼り替える際に、第1接着シートを確実に保持して第2接着シートのみの剥離を可能とするシート剥離装置及び剥離方法、並びに、シート貼替装置及び貼替方法を提供することにある。
また、第2接着シートの剥離後、板状部材保持手段を貼付手段側に移動させる構成としても、その移動に伴う空気流によってはみ出し部が捲れ上がることはなく、第1接着シート同志の接着も回避可能となる。
更に、吸着部材を板状部材保持手段の保持面に対して変位可能とすることで、板状部材の厚みが変わってもはみ出し部を吸着保持して所定位置に保つことができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
先ず、第1接着シートAS1が貼付され、第2接着シートAS2を介してリングフレームRFに一体化されたウエハWFが図示しない搬送手段によりテーブル20に移載されると、板状部材保持手段11が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハ保持面20A及びフレーム保持面20BでウエハWF及びリングフレームRFをそれぞれ吸着保持する。また、シート保持手段12が直動モータLM1及び図示しない減圧手段を駆動し、吸着部材26をはみ出し部AS1Aに当接させて当該はみ出し部AS1Aを吸着保持する。
そして、剥離用テープ貼付手段14がエアシリンダ47を駆動し、ヒートブロック46を上昇させた後、剥離手段16が直動モータLM2駆動し、テーブル20を左方向へ移動させる。これにより、図3(A)に示すように、剥離された第2接着シートAS2が折り返され、当該第2接着シートAS2がリングフレームRF及び第1接着シートAS1から剥離される。
この際、はみ出し部AS1Aは、吸着部材26によって吸着保持されているので、第2接着シートAS2との界面で確実に分離でき、はみ出し部AS1Aが第2接着シートAS2に付随して剥離してしまうような不都合は生じない。
図示しないセンサによりテーブル20が所定位置に到達したことが検出されると、貼付手段15が回動モータDM2を駆動し、原反RSを所定長さ繰り出すことで第3接着シートAS3が剥離シートRLから剥離される。そして、図3(B)に示すように、繰出方向先端側が押圧ローラ56でリングフレームRFに貼付され、更なる原反RSの繰り出しと、テーブル20の移動とにより第3接着シートAS3がリングフレームRF及び第1接着シートAS1に貼付される。このとき、吸着部材26によってはみ出し部AS1Aが所定位置(例えば、第1接着シートAS1の上面とフラットな状態)で保持されているので、当該はみ出し部AS1Aが第3接着シートAS3に接着しない、又は、押圧力が不足して剥がれ易くなるような不都合を排除することができる。そして、第3接着シートAS3の貼付が完了すると、板状部材保持手段11及びシート保持手段12が図示しない減圧手段を停止し、ウエハWF、はみはみ出し部AS1A及びリングフレームRFの吸着を解除する。その後、ウエハWFは、図示しない搬送手段により、次工程に搬送され、以後同様の動作が行われる。
また、第2接着シートAS2が剥離され、第1接着シートAS1のみが貼付されたウエハWFを保持したテーブル20を移動させる際に、はみ出し部AS1Aの位置若しくは姿勢を一定位置に保つことができるので、空気流によりはみ出し部AS1A捲れ上がり、第1接着シートAS1同志が接着することを回避することができる、という効果を得る。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加え、以下に示す種々の構成を採用することができる。
また、吸着部材26は、第2接着シートAS2をリングフレームRFから剥離した後に下降させ、第3接着シートAS3がリングフレームRFに完全に貼付された後に、吸着部材26を上昇させてはみ出し部AS1Aを第3接着シートAS3に貼付するようにしてもよい。
更に、実施形態ではウエハWFがリングフレームRFに一体化される状態で貼り替えを行う構成を示しているが、リングフレームRFを含まないウエハ単体の場合であってもよい。
また、板状部材保持手段11が直動モータLM2を介して移動可能に設けられた構成に限らず、接着シート貼付手段15が板状部材保持手段11上で移動可能であってもよいし、双方を移動可能であってもよい。
11 板状部材保持手段
12 シート保持手段
13 繰出手段
14 剥離用テープ貼付手段
15 貼付手段
16 剥離手段
20A 保持面
26 吸着部材
AS1 第1接着シート
AS1A はみ出し部
AS2 第2接着シート
AS3 第3接着シート
WF 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (6)
- 一方の面に外縁からはみ出す大きさの第1及び第2接着シートが順次貼付された板状部材から、前記第2接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記板状部材を他方の面側から保持する板状部材保持手段と、
剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付する剥離用テープ貼付手段と、
前記板状部材と剥離用テープとを相対移動させて第2接着シートを第1接着シートから剥離する剥離手段とを備え、
前記板状部材保持手段の保持面に対して変位して前記板状部材の外縁からはみ出した第1接着シートのはみ出し部を保持するシート保持手段を更に備えたことを特徴とするシート剥離装置。 - 前記シート保持手段は、前記はみ出し部に沿う吸着面を有する吸着部材を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 一方の面に外縁からはみ出す大きさの第1及び第2接着シートが順次貼付された板状部材から、前記第2接着シートを剥離して第1接着シートに第3接着シートを貼付するシート貼替装置において、
前記板状部材を他方の面側から保持する板状部材保持手段と、
剥離用テープを繰り出す繰出手段と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付する剥離用テープ貼付手段と、
前記板状部材と剥離用テープとを相対移動させて第2接着シートを第1接着シートから剥離する剥離手段と
前記第3接着シートを前記第1接着シートに貼付する接着シート貼付手段とを備え、
前記板状部材の外縁からはみ出した第1接着シートのはみ出し部を保持するシート保持手段を更に備えていることを特徴とするシート貼替装置。 - 前記シート保持手段は、前記はみ出し部に沿う吸着面を有する吸着部材を備え、当該吸着部材は前記板状部材保持手段の保持面に対して変位可能に設けられていることを特徴とする請求項3記載のシート貼替装置。
- 一方の面に外縁からはみ出す大きさの第1及び第2接着シートが順次貼付された板状部材から、前記第2接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記板状部材を他方の面側から保持する工程と、
前記板状部材を保持する保持手段の保持面に対して変位して前記板状部材の外縁からはみ出した第1接着シートのはみ出し部をシート保持手段で保持する工程と、
剥離用テープを繰り出す工程と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付する工程と、
前記板状部材と剥離用テープとを相対移動させて第2接着シートを第1接着シートから剥離する剥離して剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。 - 一方の面に外縁からはみ出す大きさの第1及び第2接着シートが順次貼付された板状部材から、前記第2接着シートを剥離して第1接着シートに第3接着シートを貼付するシート貼替方法において、
前記板状部材を他方の面側から保持する工程と、
前記板状部材の外縁からはみ出した第1接着シートのはみ出し部を保持する工程と、
剥離用テープを繰り出す工程と、
前記剥離用テープを前記第2接着シートに貼付する工程と、
前記板状部材と剥離用テープとを相対移動させて第2接着シートを第1接着シートから剥離する剥離工程と、
前記第3接着シートを前記第1接着シートに貼付する貼付工程とを備えていることを特徴とするシート貼替方法。
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