JP2015082619A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、被着体WFを臨む位置に接着シートASを供給する供給手段と、供給手段で供給された接着シートASと被着体WFとの間に設けられた閉ループ状の切断刃41を有する切断手段と、供給手段で供給された接着シートASに対して切断刃41の反対側から被着体WF側に向かって移動することで、接着シートASを切断刃41に押し当てて当該接着シートASから貼付用シートAS1を形成する押圧部材62を有するとともに、当該貼付用シートAS1を押圧部材62の押圧面62Aで被着体WFに押圧して貼付する切断押圧手段とを備え、押圧面62Aは、切断刃41に押し当てられる接着シートASが切断刃41の刃先41C全体に同時に当接しないように形成されている。
【選択図】図1
Description
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が図1に示すように接着シートASをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、切断押圧手段6が接着増強手段63を駆動し、押圧部材62の押圧面62Aを加熱する。次に、供給手段3が回動モータ32A、34Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、ウエハWFの被着面WF1に接着シートASの未使用部分が臨むように当該接着シートを所定長さ繰り出して、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。その後、人手または図示しない搬送手段によってウエハWFを支持面22A上に載置すると、支持手段2が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFを吸着保持する。次いで、支持手段2が直動モータ23を駆動し、内側テーブル22を上昇させ、図1中二点鎖線で示すように、検知手段24で被着面WF1が検知されると、直動モータ23の駆動を停止する。このように、被着面WF1の位置を所定の位置とすることで、ウエハWFの厚みが異なる場合にでも、直動モータ61の昇降ストロークを変更しなくてもよくなる。
外側テーブル21の平面視の外形は、矩形状の多角形や円形、楕円形等、他の形状でもよい。
支持手段2は、直動モータ23を設けなくてもよい。
切断刃41は、平面視形状が三角形や四角形以上の多角形、あるいは楕円等、真円以外の閉ループ状にその刃先41Cを形成してもよい。
供給手段3が供給する接着シートASは、枚葉のものでもよい。
押圧部材62は、静電チャックや粘着剤等によって接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持する構成であってもよいし、接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持するまでもなく貼付用シートAS1をウエハWFに貼付できる場合、接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持しない構成としてもよい。
接着増強手段63は、貼付用シートAS1が形成された後に加熱を行ったり、当該貼付用シートAS1がウエハWFに当接するまでの間に加熱を行ったり、貼付用シートAS1をウエハWFに押圧してから加熱したりしてもよい。
例えば、検知手段24、逃げ部41D、接着増強手段63、変位抑制手段7等、本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
3…供給手段
4…切断手段
6…切断押圧手段
41…切断刃
41C…刃先
62、65、66、81、82、83、84、85、86、87…押圧部材
62A、65A、66A、81A、82A、83A、84A、85A、86A、87A …押圧面
AS…接着シート
AS1…貼付用シート
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
Claims (3)
- 被着体を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された接着シートと前記被着体との間に設けられた閉ループ状の切断刃を有する切断手段と、
前記供給手段で供給された接着シートに対して前記切断刃の反対側から前記被着体側に向かって移動することで、前記接着シートを前記切断刃に押し当てて当該接着シートから貼付用シートを形成する押圧部材を有するとともに、当該貼付用シートを前記押圧部材の押圧面で前記被着体に押圧して貼付する切断押圧手段とを備え、
前記押圧面は、前記切断刃に押し当てられる前記接着シートが前記切断刃の刃先全体に同時に当接しないように形成されていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記切断押圧手段は、前記被着体の被着面と平行に前記押圧面を変位可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 被着体を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
供給された前記接着シートを切断押圧手段で閉ループ状の切断刃に押し当てて当該接着シートから貼付用シートを形成する工程と、
前記切断押圧手段で前記貼付用シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを備え、
前記接着シートから貼付用シートを形成する工程において、前記切断押圧手段によって押し当てられる前記接着シートが前記切断刃の刃先全体に同時に当接しないように設けられた押圧面を有する押圧部材を用いて前記貼付用シートを形成する工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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