JP2015056612A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、被着体WFの被着面WF1を臨む位置に接着シートASを供給する供給手段3と、被着面WF1に接着シートASを押圧して貼付する押圧手段4と、接着シートASを所定形状に切り抜く切断手段5とを備え、切断手段5の切り抜きによって形成された接着シートASの切抜孔を次の被着体WFの外縁WF2に隣接させ、当該次の被着体WFの被着面WF1に接着シートASを貼付可能に設けられている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウエハ(被着体)に対向させて粘着テープ(接着シート)を供給するテープ供給部と、ウエハに粘着テープを貼付する貼付けユニットと、ウエハの外形に沿って粘着テープを切り抜くテープ切断機構とを備え、粘着テープの切抜孔部分を巻き取って当該粘着テープの未使用部分をウエハに供給し、当該ウエハに粘着テープを貼付するように構成されている。
また、支持手段が被着体を位置決め可能な構成とすれば、接着シートを被着面に貼付する際の切抜孔に対する被着体の位置精度を向上させることができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図2(A)に示すように、剥離ローラ39および押圧ローラ42が左方に位置する初期状態において、作業者が接着シートASを同図の実線で示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段3がリニアモータ35を駆動し、剥離ローラ39と押圧ローラ42とで接着シートASを押圧して挟み込み、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。
また、切抜孔CUが次のウエハWFの外縁WF2に隣接したときに、当該切抜孔CUが凹部22上に位置するため、接着シートASを切断する際に当該接着シートASにカッター刃53を突き刺す必要がなく、平坦、曲線、鈍角、鋭角等の任意の先端形状を有するカッター刃53を使用することができ、汎用性を拡大することができる。
さらに、2回目以降の繰出工程において、支持手段2がリニアモータ23、24および回動モータ25を駆動し、先の切断工程の切り抜きによって形成された接着シートASの切抜孔CUを次のウエハWFの外縁WF2に隣接させるように調整したり、先の切断工程の切り抜きによって形成された接着シートASの切抜孔CUを次のウエハWFの被着面WF1上に位置させるように調整したりしてもよい。
また、2回目以降の繰出工程において、支持手段2、供給手段3および押圧手段4がリニアモータ23、24、回動モータ33A、37Aおよび42Aを駆動し、先の切断工程の切り抜きによって形成された接着シートASの切抜孔CUを上述と同様の位置となるように調整してもよい。
検出手段27は、ウエハWFの上方や側方からウエハWFの外縁WF2を検知する構成でもよい。
押圧手段4は、押圧ローラ42にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよい。
接着シートASは、枚葉のものでもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2…支持手段
3…供給手段
4…押圧手段
5…切断手段
AS…接着シート
CU…切抜孔
WF…ウエハ(被着体)
WF1…被着面
WF2…外縁
Claims (5)
- 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く切断手段とを備え、
前記切断手段の切り抜きによって形成された前記接着シートの切抜孔を次の被着体の外縁に隣接させ、当該次の被着体の被着面に前記接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く切断手段とを備え、
前記切断手段の切り抜きによって形成された前記接着シートの切抜孔を次の被着体の外縁よりも内側の被着面上に位置させ、当該次の被着体の被着面に前記接着シートを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記被着体を支持する支持手段を備え、
前記支持手段は、前記被着体の外縁が前記切抜孔に対して所定の位置となるように当該被着体を位置決め可能に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。 - 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く切断工程とを備え、
前記切断工程の切り抜きによって形成された前記接着シートの切抜孔を次の被着体の外縁に隣接させ、当該次の被着体の被着面に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。 - 被着体の被着面を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
前記被着面に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、
前記接着シートを所定形状に切り抜く切断工程とを備え、
前記切断工程の切り抜きによって形成された前記接着シートの切抜孔を次の被着体の外縁よりも内側の被着面上に位置させ、当該次の被着体の被着面に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017220548A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | 株式会社ディスコ | 保護部材形成装置 |
JP2020096201A (ja) * | 2020-03-17 | 2020-06-18 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
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JP2011192850A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Omiya Kogyo Kk | 貼付装置及び貼付方法 |
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