JP2015012138A

JP2015012138A - シート貼付装置および貼付方法

Info

Publication number: JP2015012138A
Application number: JP2013136527A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下; Yoshiaki Sugishita
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-06-28
Filing date: 2013-06-28
Publication date: 2015-01-19

Abstract

【課題】被着体と接着シートとの間に異物が挟み込まれることを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該接着シートＡＳを繰り出して被着体としてのウエハＷＦの被着面に臨む位置に供給する供給手段２と、接着シートＡＳを押圧しながら被着面の一端から他端に向かって移動することで、当該接着シートＡＳを被着面に貼付する押圧手段３とを備え、供給手段２は、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された状態のまま当該接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面に臨む位置に供給可能に設けられているとともに、押圧手段３の移動に合わせて剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離可能に設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、セパレータに仮着された粘着テープ（接着シート）を供給するテープ供給部と、粘着テープからセパレータを剥離して当該セパレータを回収するセパレータ回収部と、ウエハ（被着体）に粘着テープを貼付する貼付けユニットとを備え、セパレータから剥離された粘着テープをウエハの被着面に臨む位置に供給し、当該被着面に粘着テープを貼付するように構成されている。

特開２００７−２２７５５２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、被着体の被着面に臨む位置に接着シートの接着面を露出させた状態で当該接着シートの貼付が行われるため、接着面に塵埃等の異物が付着してしまい、異物を挟んだ状態で被着面と接着シートとが貼付されてしまうという不都合がある。

本発明の目的は、被着面と接着シートとの間に異物が挟み込まれることを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反から当該接着シートを繰り出して被着体の被着面に臨む位置に供給する供給手段と、前記接着シートを押圧しながら前記被着面の一端から他端に向かって移動することで、当該接着シートを前記被着面に貼付する押圧手段とを備え、前記供給手段は、前記剥離シートに前記接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを前記被着体の前記被着面に臨む位置に供給可能に設けられ、前記押圧手段の移動に合わせて前記剥離シートを前記接着シートから剥離可能に設けられていることを特徴とする。

本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記接着シートから剥離される剥離シートの剥離縁を検出可能な剥離縁検出手段を備え、前記供給手段は、前記剥離縁検出手段の検出結果を基に前記剥離シートを前記接着シートから剥離可能に設けられていることが好ましい。

本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを繰り出して被着体の被着面に臨む位置に供給する工程と、前記接着シートを押圧手段で押圧しながら当該押圧手段を前記被着面の一端から他端に向かって移動することで、当該接着シートを前記被着面に貼付する工程と、前記押圧手段の移動に合わせて前記接着シートを前記剥離シートから剥離する工程とを実施することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、剥離シートに接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを被着体の被着面に臨む位置に供給し、押圧手段の移動に合わせて剥離シートを接着シートから剥離するので、接着シートの接着面が露出する時間や領域を少なくすることができ、異物を挟んだ状態で被着面と接着シートとが貼付されてしまうことを防止することができる。
また、剥離縁検出手段を設けることで、押圧ローラで接着シートを被着面に押圧する際の当該押圧ローラの位置から剥離縁までの剥離貼付間距離を一定に保つことができる。

本発明の位置実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。シート貼付装置の動作を説明するための説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって紙面手前方向、「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該接着シートＡＳを繰り出して被着体としてのウエハＷＦの被着面ＷＦ１に臨む位置に供給する供給手段２と、接着シートＡＳを押圧しながら被着面ＷＦ１の一端としての右端から他端としての左端に向かって移動することで、接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に貼付する押圧手段３とを備え、接着シートＡＳを所定形状に切断可能な切断手段４およびウエハＷＦを支持する支持手段５の近傍に配置されている。ここで、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤ＡＤ層が積層された構成である。

供給手段２は、駆動機器として回動モータ２１Ａによって駆動され、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としてのリニアモータ２３のスライダ２３Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２４Ａによって回動する駆動ローラ２４と、駆動ローラ２４との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ２５と、駆動機器としての回動モータ２６Ａによって駆動され、接着シートＡＳの切断により生じた不要シートＵＳを回収する回収ローラ２６と、駆動機器としての回動モータ２７Ａによって駆動する駆動ローラ２７との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２８と、駆動機器としての回動モータ２９Ａによって駆動され、剥離シートＲＬを巻き取る巻取ローラ２９とを備えている。

押圧手段３は、リニアモータ２３のスライダ２３Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ３１と、リニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持された押圧ローラ３２と、リニアモータ３１にブラケット３３を介して支持されるとともに、接着シートＡＳから剥離される剥離シートＲＬの剥離縁ＲＬ１を検出可能な光学センサや撮像手段等の剥離縁検出手段３４とを備えている。なお、剥離縁検出手段３４は、剥離縁ＲＬ１を上方や側方等剥離縁ＲＬ１を検出可能な位置に配置される。

切断手段４は、駆動機器としての多関節ロボット４１と、多関節ロボット４１の先端部（作業アーム）に着脱自在に設けられ、カッター刃４２を有するカッターツール４３とを備えている。多関節ロボット４１は、その作業範囲内において先端部に装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

支持手段５は、上面５１Ａから凹んだ凹部５２を有する外側テーブル５１と、凹部５２内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面５３Ａを有する内側テーブル５３とを備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを支持ローラ２１に支持させ、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬを図２（Ｂ）中実線で示すようにセットした後、運転開始の信号を入力するとシート貼付装置１がスタンバイ状態となる。

その後、人手や図示しない搬送手段等によって内側テーブル５３の支持面５３Ａ上にウエハＷＦが載置されると、支持手段５が図示しない減圧手段を駆動し、支持面５３ＡでウエハＷＦを吸着保持する。次に、回動モータ２４Ａの駆動を停止させた状態で、供給手段２が回動モータ２１Ａ、２６Ａ、２７Ａ、２９Ａおよびリニアモータ２３を駆動し、図１中実線で示すように、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された状態のまま当該接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＦ１に臨む位置に供給する。さらに、押圧手段３がリニアモータ２３を駆動し、押圧ローラ３２を図１中実線で示す位置に移動させる。

そして、押圧手段３がリニアモータ３１を駆動し、押圧ローラ３２を図１中二点鎖線で示す位置に下降させることで、当該押圧ローラ３２で外側テーブル５１の上面５１Ａに接着シートＡＳを押圧する。次いで、押圧手段３がリニアモータ２３を駆動し、押圧ローラ３２を左方向に移動させると、剥離縁検出手段３４が剥離縁ＲＬ１を検出するので、供給手段２が剥離縁検出手段３４の検出結果を基に、回動モータ２７Ａ、２９Ａを駆動し、図２（Ａ）に示すように、剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離する。これにより、押圧ローラ３２で接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に押圧する際の当該押圧ローラ３２の位置から剥離縁ＲＬ１までの剥離貼付間距離ＤＡが一定に保たれ、押圧ローラ３２の移動に合わせて剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離し、当該剥離シートＲＬが剥離されたそばから押圧ローラ３２で接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に押圧して貼付することができる。なお、剥離シートＲＬに仮着された状態の接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＦ１に臨む位置に供給する際は、押圧ローラ３２で接着シートＡＳを外側テーブル５１の上面５１Ａに押圧したときのことを考慮して、剥離縁ＲＬ１が平面視でウエハＷＦの右側よりも右側に位置するように供給するとよい。この場合、供給手段２が回動モータ２１Ａ、２４Ａ、２６Ａ、２７Ａおよび２９Ａ等を駆動し、剥離縁検出手段３４で剥離縁ＲＬ１を検出するまで原反ＲＳを繰り出し、検出とともにそれらの駆動を停止することができる。

そして、図２（Ｂ）中実線で示すように、剥離シートＲＬをガイドローラ２２の位置まで剥離し、押圧ローラ３２を図２（Ｂ）中二点鎖線で示す位置まで移動させると、供給手段２および押圧手段３がリニアモータ２３および回動モータ２７Ａ、２９Ａの駆動を停止する。次に、切断手段４が多関節ロボット４１を駆動し、カッター刃４２をウエハＷＦの外周に沿って移動させ、接着シートＡＳを所定形状に切断する。

次いで、支持手段５が図示しない減圧手段の駆動を停止し、ウエハＷＦが人手や図示しない搬送手段等によって内側テーブル５３上から取り去られると、押圧手段３がリニアモータ３１を駆動し、押圧ローラ３２を上昇させた後、供給手段２が回動モータ２４Ａおよびリニアモータ２３を駆動し、スライダ２３Ａを図２（Ｂ）中実線で示す位置まで移動させ、不要シートＵＳを外側テーブル５１の上面５１Ａから剥離し、剥離完了後回動モータ２４Ａおよびリニアモータ２３の駆動を停止する。その後上述同様の動作を繰り返す。

以上のような実施形態によれば、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された状態のまま当該接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＦ１に臨む位置に供給し、押圧手段３の移動に合わせて剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離するので、接着シートＡＳの接着面（接着材ＡＤ層）が露出する時間や領域を少なくすることができ、異物を挟んだ状態でウエハＷＦの被着面ＷＦ１と接着シートＡＳとが貼付されてしまうことを防止することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、剥離縁検出手段３４を設けることなく、供給手段２および押圧手段３がリニアモータ２３および回動モータ２７Ａ、２９Ａを同期駆動し、押圧ローラ３２の移動に合わせて剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離し、当該剥離シートＲＬが剥離されたそばから押圧ローラ３２で接着シートＡＳを被着面ＷＦ１に押圧して貼付するように構成してもよい。なお、剥離縁検出手段３４を設けることで、被着面ＷＦ１と接着シートＡＳとの間に異物を挟んでしまう剥離貼付間距離ＤＡが長すぎる場合の不都合と、剥離縁ＲＬ１を押圧ローラ３２で押圧してしまい、剥離シートＲＬを接着シートＡＳから剥離できなくなる剥離貼付間距離ＤＡが短すぎる場合の不都合とを高次元でバランスさせてそれらを解消することができる。
さらに、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置においても、押圧ローラの移動に合わせて剥離シートを接着シートから剥離し、当該剥離シートが剥離されたそばから押圧ローラで接着シートを被着面に押圧して貼付するように構成してもよい。

また、接着シートＡＳを所定形状に切断する方法は、レーザー切断などであってもよく、接着シートＡＳ等の材質を勘案し、その実施にあたって任意に決めることができる。
さらに、剥離貼付間距離ＤＡは、使用者が任意で設定することができる。
また、剥離縁検出手段３４をリニアモータ２３のスライダ２３Ｂに支持させてもよい。

さらに、接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、基材シートＢＳと接着剤ＡＤ層との間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートＢＳを接着剤ＡＤ層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層または複層の中間層を有するものや、中間層のない単層または複層のものであってよい。また、被着体ＷＦとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

また、本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、剥離シートに接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを被着体の被着面に臨む位置に供給可能に設けられ、押圧手段の移動に合わせて剥離シートを接着シートから剥離可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内で限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
さらに、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１シート貼付装置
２供給手段
３押圧手段
３４剥離縁検出手段
ＡＳ接着シート
ＲＳ原反
ＲＬ剥離シート
ＲＬ１剥離縁
ＷＦウエハ（被着体）
ＷＦ１被着面

Claims

帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反から当該接着シートを繰り出して被着体の被着面に臨む位置に供給する供給手段と、
前記接着シートを押圧しながら前記被着面の一端から他端に向かって移動することで、当該接着シートを前記被着面に貼付する押圧手段とを備え、
前記供給手段は、前記剥離シートに前記接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを前記被着体の前記被着面に臨む位置に供給可能に設けられ、前記押圧手段の移動に合わせて前記剥離シートを前記接着シートから剥離可能に設けられている
ことを特徴とするシート貼付装置。
前記押圧手段は、前記接着シートから剥離される剥離シートの剥離縁を検出可能な剥離縁検出手段を備え、
前記供給手段は、前記剥離縁検出手段の検出結果を基に前記剥離シートを前記接着シートから剥離可能に設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
帯状の剥離シートに接着シートが仮着された状態のまま当該接着シートを繰り出して被着体の被着面に臨む位置に供給する工程と、
前記接着シートを押圧手段で押圧しながら当該押圧手段を前記被着面の一端から他端に向かって移動することで、当該接着シートを前記被着面に貼付する工程と、
前記押圧手段の移動に合わせて前記接着シートを前記剥離シートから剥離する工程とを実施する
ことを特徴とするシート貼付方法。