JP2008210883A - 基板へのテープの貼付方法及び装置 - Google Patents
基板へのテープの貼付方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008210883A JP2008210883A JP2007044426A JP2007044426A JP2008210883A JP 2008210883 A JP2008210883 A JP 2008210883A JP 2007044426 A JP2007044426 A JP 2007044426A JP 2007044426 A JP2007044426 A JP 2007044426A JP 2008210883 A JP2008210883 A JP 2008210883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- separator
- tension arm
- substrate
- protective tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】例えば、保護テープ2を供給路の途中でセパレータ13を剥離してからウエハ1に貼り付ける基板へのテープの貼付方法において、加わる力の大きさに応じて揺動するテンションアーム14に設けたバランスローラ15に供給途中の保護テープ2を架け、テンションアーム14の角度を読み取ってテンションアーム14を所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能としておき、テープ貼付作業時に保護テープ2に加わる張力はバランスローラ15の荷重をほぼ0とするようにテンションアーム14を強制駆動すると共に、テンションアーム14の揺動角度に従いテープ供給量を制御することで緩和する。
【選択図】図2
Description
1′ 貼付済ウエハ
1a ノッチ
2 保護テープ
2′ 廃棄テープカス
3 機台
4 ウエハ供給カセット
5 アライメント部
6 機枠
7 貼付済ウエハ収納カセット
8 吸着ハンド
9 多関節ロボット
10 吸着テーブル
11 センサ
12 保護テープ供給ロール
13 セパレータ
14 テンションアーム
15 バランスローラ
16 軸ローラ
17 分離板
18 テンションアーム
19 セパレータ巻き取りロール
20 吸着テーブル
21 貼付ローラ
22 剥離ローラ
23 テープチャック
24 ガイドローラ
25 保護テープ巻き取りロール
26 固定枠
27 ガイド
28 レール
29 昇降シリンダ
30 外周テーブル
31 レール
32 ガイド
33 外周テーブル昇降シリンダ
34 レール
35 ガイド
36 昇降シリンダ
37 モータ
38 カッター刃
39 冷却風
40 冷却装置
41 圧縮空気供給管
42 バルブ
43 テンションアーム固定軸
44 回転軸
45 連結杆
46 回転軸
47 シリンダ
48 軸
49 支持枠
50 ガイド
51 テープチャック
52 シリンダ
53 ガイドローラ
54 固定枠
55 天板
56 底板
57 固定板
58 軸
59 ガイド
60 支持板
61 シリンダ
62 ストッパ
63 緩衝部材
64 ガイドローラ
Claims (6)
- 片面にセパレータが貼着されたテープを供給路の途中でセパレータを剥離してから基板に貼り付ける基板へのテープの貼付方法において、加わる力の大きさに応じて揺動するテンションアームに設けたバランスローラに供給途中のテープを架け、テンションアームの角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能としておき、テープ貼付作業時にテープに加わる張力はバランスローラの荷重をほぼ0とするようにテンションアームを強制駆動すると共に、テンションアームの揺動角度に従いテープ供給量を制御することで緩和することを特徴とする基板へのテープの貼付方法。
- テープの供給路に沿って移動自在な分離板をテープとセパレータの剥離部に接するように位置させ、セパレータを分離板の鋭角状の先端部で略180°方向に折り返してテープから引き剥がしながら、分離板を剥離部に追従させて移動させるようにすることを特徴とする請求項1に記載の基板へのテープの貼付方法。
- 供給路のセパレータ剥離前のテープに冷却風を吹き付けることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板へのテープの貼付方法。
- 片面にセパレータが貼着された長尺状のテープの供給機構と、テープ供給路にてセパレータを剥離する剥離機構と、基板にテープを貼り付ける貼付機構とを有する基板へのテープの貼付装置において、供給途中のテープを架けるバランスローラを有する揺動自在のテンションアームを設け、該テンションアームはテープにかかる張力の大きさに応じて揺動角度が変化するようにし、該揺動角度を読み取ってテンションアームを所定の角度に維持するようにテープ供給量を制御可能とし、バランスローラの荷重をほぼ0とするようにテンションアームを強制駆動可能としたことを特徴とする基板へのテープの貼付装置。
- 剥離機構が剥離するセパレータとテープとの剥離部に接してセパレータを略180°の方向に折り返す鋭角状の先端部を有し、セパレータの引き剥がしによる剥離部の移動に追従してテープの供給路に沿った移動が自在となった分離板を設けたことを特徴とする請求項4に記載の基板へのテープの貼付装置。
- セパレータ剥離前のテープへ冷却風を吹き付ける冷却装置を設けたことを特徴とする請求項4又は5に記載の基板へのテープの貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007044426A JP4868591B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 基板へのテープの貼付方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007044426A JP4868591B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 基板へのテープの貼付方法及び装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008210883A true JP2008210883A (ja) | 2008-09-11 |
JP2008210883A5 JP2008210883A5 (ja) | 2010-04-08 |
JP4868591B2 JP4868591B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=39786957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007044426A Active JP4868591B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 基板へのテープの貼付方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4868591B2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010272755A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Nitto Denko Corp | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 |
KR101031559B1 (ko) | 2010-10-15 | 2011-04-27 | 이은준 | 테이프 절단 장치 및 그 방법 |
JP2011129807A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ貼着装置 |
JP2011151199A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP2014101226A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Kanie Puropan Kk | 積層シート剥離装置及び積層シート剥離方法 |
JP2014101225A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Kanie Puropan Kk | 積層シート剥離装置及び積層シート剥離方法 |
JP2015012138A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
CN106335814A (zh) * | 2015-07-07 | 2017-01-18 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 胶带的粘附装置 |
CN110010540A (zh) * | 2017-12-18 | 2019-07-12 | 株式会社迪思科 | 带粘贴装置 |
CN110518292A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-11-29 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 贴胶设备 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0384949A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Nitto Denko Corp | ウエハと粘着テープの貼り合わせ方法 |
JPH07196989A (ja) * | 1993-12-31 | 1995-08-01 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | カバーテープの剥離方法及び剥離装置 |
JP2000191203A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Sharp Corp | フィルム剥離方法並びに剥離装置 |
JP2002184809A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープ貼付方法及び装置 |
JP2002201439A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Dainippon Printing Co Ltd | セパレートフィルム剥離装置 |
JP2005236049A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Takatori Corp | テープ供給方法及び装置並びに基板へのテープ貼り付け方法及び装置 |
JP2006210464A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 緩衝材テープ供給装置およびこれを用いた電子部品圧着装置 |
JP2007019239A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007044426A patent/JP4868591B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0384949A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Nitto Denko Corp | ウエハと粘着テープの貼り合わせ方法 |
JPH07196989A (ja) * | 1993-12-31 | 1995-08-01 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | カバーテープの剥離方法及び剥離装置 |
JP2000191203A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Sharp Corp | フィルム剥離方法並びに剥離装置 |
JP2002184809A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テープ貼付方法及び装置 |
JP2002201439A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-19 | Dainippon Printing Co Ltd | セパレートフィルム剥離装置 |
JP2005236049A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-02 | Takatori Corp | テープ供給方法及び装置並びに基板へのテープ貼り付け方法及び装置 |
JP2006210464A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 緩衝材テープ供給装置およびこれを用いた電子部品圧着装置 |
JP2007019239A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010272755A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Nitto Denko Corp | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 |
JP2011129807A (ja) * | 2009-12-21 | 2011-06-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ貼着装置 |
JP2011151199A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
KR101031559B1 (ko) | 2010-10-15 | 2011-04-27 | 이은준 | 테이프 절단 장치 및 그 방법 |
JP2014101226A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Kanie Puropan Kk | 積層シート剥離装置及び積層シート剥離方法 |
JP2014101225A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Kanie Puropan Kk | 積層シート剥離装置及び積層シート剥離方法 |
JP2015012138A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
CN106335814A (zh) * | 2015-07-07 | 2017-01-18 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 胶带的粘附装置 |
CN106335814B (zh) * | 2015-07-07 | 2017-09-15 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 胶带的粘附装置 |
CN110010540A (zh) * | 2017-12-18 | 2019-07-12 | 株式会社迪思科 | 带粘贴装置 |
TWI779140B (zh) * | 2017-12-18 | 2022-10-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 膠帶黏貼裝置 |
CN110010540B (zh) * | 2017-12-18 | 2023-10-03 | 株式会社迪思科 | 带粘贴装置 |
CN110518292A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-11-29 | 广东利元亨智能装备股份有限公司 | 贴胶设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4868591B2 (ja) | 2012-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4868591B2 (ja) | 基板へのテープの貼付方法及び装置 | |
JP4054359B2 (ja) | フィルム剥離方法と装置 | |
JP5261522B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP4452549B2 (ja) | ウエハ処理装置 | |
KR20080006619A (ko) | 첩부장치 | |
JP2006278927A (ja) | ウエハへのテープ貼付方法と貼付装置 | |
JP5465944B2 (ja) | 保護テープ貼付け方法 | |
JP2010087265A5 (ja) | ||
JP2010087265A (ja) | 基板への接着テープ貼付装置 | |
JP6247075B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
JP2008004712A (ja) | 保護テープの剥離方法及び装置 | |
JP2017137115A (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6539523B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP5474221B1 (ja) | 貼付装置 | |
JP4886971B2 (ja) | 貼付装置 | |
JP2010114244A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2019145569A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP4773063B2 (ja) | 貼付テーブル | |
JP6600135B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP2019038673A (ja) | フィルム貼付装置 | |
JP7329958B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP4276049B2 (ja) | 貼合装置及び貼合方法 | |
JP6796952B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2008085176A (ja) | チップ部品分離装置 | |
JP7320696B2 (ja) | 粘着テープの供給装置及び供給方法並びにシート材の剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20100222 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110328 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110603 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111025 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4868591 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141125 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |