CN110010540B - 带粘贴装置 - Google Patents

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Abstract

提供带粘贴装置，能够对不同种类的粘合带进行切换从而有效利用粘合带。带粘贴装置(1)具有：第1辊单元(30)，其将带组合(3、3A)引导至工作台(10)；粘贴构件(50)，其将粘合带(4)从带组合(3、3A)剥离并粘贴在环状框架(F)和晶片(W)上；丢弃构件(60)，其收卷保护膜(5)并丢弃；第2辊单元(70)，其将保护膜(5)引导至丢弃构件(60)；定位构件(40)，其选择卷带(2、2A)中的任意卷带并将带组合(3、3A)拉出而定位于工作台(10)；带组合引导构件(80)，其对带组合(3、3A)的端部进行夹持并引导至丢弃构件(60)；以及切断构件(90)，其切断保护膜(5)，因此不使用连结用带也能够容易地切换不同种类的带组合(3、3A)，从而能够有效地利用粘合带(4)。

Description

带粘贴装置
技术领域
本发明涉及将粘合性的带粘贴于晶片的带粘贴装置。
背景技术
在对晶片等被加工物进行分割的情况下，例如在带粘贴装置(贴带机)中，通过将粘合带粘贴于具有开口部的环状框架并将晶片粘贴在从该开口部露出的粘合带上，使环状框架与晶片一体化，防止了在对晶片进行分割时的芯片的分散。在带粘贴装置中，根据分割晶片的加工条件，有时使用不同种类的粘合带。
通常，粘合带为基材与粘合剂层的双层构造。作为粘合带的材质，除了基材不同的情况(例如，具有较硬的基材的带、具有具备弹力的基材的带、具有热收缩的基材的带等)之外，还存在粘合剂层不同的情况(例如，具有紫外线硬化的粘合剂层的带、粘合剂层较厚的带等)。另外，为了防止灰尘附着于粘合剂层，在粘合剂层上粘贴保护膜，使粘合带被筒芯卷绕成卷状而成为卷带的形态。例如，存在使支承棒进入卷带的筒芯内并将卷带支承为旋转自如的带粘贴装置(例如，参照下述的专利文献1和专利文献2)。在该带粘贴装置中，能够从卷带的外侧将粘合带与保护膜一起拉出并通过多个辊后将粘合带从保护膜剥离，然后将粘合带粘贴于环状框架和晶片。
专利文献1：日本特开2014-27171号公报
专利文献2：日本特开2016-008104号公报
在上述那样的带粘贴装置中，在切换粘合带的种类时，必须使其它种类的粘合带通过多个辊，需要用于将切换带的种类之前的粘合带的末端与将要切换的新的粘合带的前端连结起来的连结用的带。
发明内容
本发明的目的在于，提供不使用连结用的带也能够进行不同种类的粘合带的切换从而能够有效利用粘合带的带粘贴装置。
本发明是一种带粘贴装置，其至少具有工作台，该工作台对具有开口的环状框架进行支承，并且对被定位于该开口的晶片进行支承，该带粘贴装置将粘合带粘贴在该工作台所支承的环状框架和晶片上而进行一体化，其中，该带粘贴装置至少具有：卷带支承部，其将卷带支承为能够旋转，该卷带是将带组合卷成卷状而得的，该带组合是将预先与该环状框架对应成型的多个该粘合带隔开间隔地配设在带状的保护膜上而形成的；卷带支承构件，其配设有两个以上的该卷带支承部；第1辊单元，其将从该卷带拉出的该带组合从该卷带支承构件引导至该工作台；粘贴构件，其将该粘合带从被引导至该工作台的该带组合中剥离，将该粘合带粘贴在该工作台所支承的该环状框架和晶片上；丢弃构件，其收卷被剥离了该粘合带的该保护膜并丢弃；第2辊单元，其将被剥离了该粘合带的该保护膜从该工作台引导至该丢弃构件；定位构件，其配设于该卷带支承构件与该第1辊单元之间，选择两个以上的该卷带支承部所支承的该卷带中的任意卷带，对该带组合的端部进行把持并拉出，从而定位于该工作台；带组合引导构件，其对该定位构件所定位的该带组合的端部进行把持而通过该第2辊单元引导至该丢弃构件；以及切断构件，其配设于该工作台与该丢弃构件之间，将被剥离了该粘合带的该保护膜切断，在利用该定位构件将新选择的该带组合从该卷带支承构件拉出时，能够利用该切断构件将当前使用的该带组合的该保护膜切断并利用该丢弃构件来收卷并丢弃，并且使当前使用的该卷带支承部进行动作而收卷该带组合。
本发明的带粘贴装置构成为至少具有：卷带支承部，其将卷带支承为能够旋转，该卷带是将带组合卷成卷状而得的；卷带支承构件，其配设有两个以上的卷带支承部；第1辊单元，其将从卷带拉出的带组合从卷带支承构件引导至工作台；粘贴构件，其将粘合带从被引导至工作台的带组合中剥离，将粘合带粘贴在工作台所支承的环状框架和晶片上；丢弃构件，其收卷被剥离了粘合带的保护膜并丢弃；第2辊单元，其将被剥离了粘合带的保护膜从工作台引导至丢弃构件；定位构件，其选择卷带中的任意卷带，对带组合的端部进行把持并拉出，从而定位于工作台；带组合引导构件，其对定位构件所定位的带组合的端部进行把持而通过第2辊单元引导至丢弃构件；以及切断构件，其配设于工作台与丢弃构件之间，将被剥离了粘合带的保护膜切断，在利用定位构件将新选择的带组合从卷带支承构件拉出时，利用切断构件将当前使用的带组合的保护膜切断并利用丢弃构件来收卷并丢弃，并且使当前使用的卷带支承部进行动作而收卷带组合，因此能够容易地将定位构件所拉出的带组合切换成不同种类的带组合，不需要利用连结用带将使用中的带组合的切口端与要新使用的带组合的前端连结起来。因此，不使用连结用带也能够选择期望的带组合并将粘合带粘贴在环状框架和晶片上。
另外，根据本发明，由于利用卷带支承部来收卷被切断的剩余带组合，因此不会浪费带组合，能够有效地进行利用。
附图说明
图1是示出带粘贴装置的结构的剖视图。
图2是示出被卷带支承部卷绕成卷状的带组合的结构的立体图。
图3是示出定位构件在夹持着带组合的端部的状态下滑动移动至第1辊单元侧的状态的剖视图。
图4是示出夹持着带组合的端部的定位构件被定位于释放位置的状态的剖视图。
图5是示出带组合引导构件在释放位置处夹持带组合的端部的状态的剖视图。
图6是示出带组合引导构件在夹持着带组合的端部的状态下滑动移动至丢弃构件的状态的剖视图。
图7是示出利用第1辊单元和第2辊单元将带组合夹住的状态的剖视图。
图8是示出利用剥离板将粘合带从保护膜剥离并利用粘贴辊将粘合带粘贴在环状框架和晶片上的状态的剖视图。
图9是示出粘合带粘贴在环状框架和晶片上的状态并且示出利用丢弃构件来收卷保护膜的状态的剖视图。
图10是示出利用切断构件将被剥离了粘合带的保护膜切断的状态的剖视图。
图11是示出在利用定位构件来夹持新选择的带组合并拉出时，利用丢弃构件来收卷被切断的保护膜并丢弃，并且利用卷带支承部来收卷当前使用的带组合的状态的剖视图。
标号说明
1：带粘贴装置；2、2A：卷带；3、3A：带组合；4：粘合带；4a：基材；4b：粘合剂层；5：保护膜；10：工作台；11：框架支承部；12：支承台；13：工作台移动构件；14：基座；15：移动基台；20、20A：卷带支承部；21、21A：卷带支承构件；210：壳体；211：开口；22：旋转构件；23：二维码；24：前端检测部；25：导辊；26：导辊；30：第1辊单元；31：驱动辊；32：从动辊；33：移动机构；34：导轨；35：移动部；40：定位构件；41：支承部件；42：第1夹持部；43：旋转机构；44：滑动机构；45：基座；46：滑块；50：粘贴构件；51：粘贴辊；52：粘贴辊推压构件；53：剥离板；54：臂部；55：按压部；60：丢弃构件；61：收卷部；62：电动机；63：丢弃箱；70：第2辊单元；71：驱动辊；72：从动辊；73：移动机构；74：导轨；75：移动部；80：带组合引导构件；81：支承部件；82：第2夹持部；83：载置台；84：退刀槽；85：滑动机构；86：基座；87：滑块；90：切断构件；91：带切割器；92：升降机构；93：压紧部。
具体实施方式
图1所示的带粘贴装置1是将粘合带粘贴于具有开口的环状框架F和作为被加工物的一例的晶片W上而使它们一体化的带粘贴装置。带粘贴装置1具有：工作台10，其对环状框架F进行支承，并且对被定位于开口处的晶片W进行支承；以及工作台移动构件13，其使工作台10沿着水平方向(X轴方向)移动。
在工作台10的周围配设有支承环状框架F的框架支承部11。工作台10和框架支承部11被支承台12从下方支承。工作台移动构件13具有沿着X轴方向延伸的基座14和能够沿着基座14在X轴方向上移动的移动基台15。在移动基台15上配设有支承台12，通过使移动基台15沿着X轴方向移动，能够借助支承台12使工作台10和框架支承部11沿着X轴方向移动。
带粘贴装置1至少具有：卷带支承部20、20A，它们将卷带2、2A支承为能够旋转，该卷带2、2A是将带组合3、3A卷成卷状而得的；卷带支承构件21、21A，它们配设有两个以上的卷带支承部20、20A；第1辊单元30，其将从卷带2、2A拉出的带组合3、3A从卷带支承构件21、21A引导至工作台10；粘贴构件50，其将图2所示的粘合带4从被引导至工作台10的带组合3、3A中剥离，将粘合带4粘贴在工作台10所支承的环状框架F和晶片W上；丢弃构件60，其收卷被剥离了粘合带4的保护膜5并丢弃；第2辊单元70，其将被剥离了粘合带4的保护膜5从工作台10引导至丢弃构件60；定位构件40，其配设于卷带支承构件21、21A与第1辊单元30之间，选择被卷带支承部20、20A支承的卷带2、2A中的任意卷带，对带组合3、3A的端部进行把持并拉出，从而定位于工作台10；带组合引导构件80，其对定位构件40所定位的带组合3、3A的端部进行把持而通过第2辊单元70引导至丢弃构件60；以及切断构件90，其配设于工作台10与丢弃构件60之间，将被剥离了粘合带4的保护膜5切断。
如图2所示，带组合3是由带状的粘合带4与带状的保护膜5贴合而成的构造。粘合带4由基材4a和粘合剂层4b构成，在粘合剂层4b侧粘贴有保护膜5。本实施方式所示的带组合3是将预先与图1所示的环状框架F对应成型的多个粘合带4隔开间隔地配设于保护膜5的结构。图示的例子的粘合带4根据作为粘贴对象的环状框架F的直径而被预切割成圆形状，预切割出的粘合带4例如在保护膜5上隔开相等的间隔配设多个。粘合带4和保护膜5的材质等没有特别限定。本实施方式所示的带组合3A为与带组合3不同种类的带组合。即，带组合3A是在材料或厚度与带组合3的粘合带4不同的粘合带上粘贴有保护膜5的带组合。
卷带支承部20例如由筒芯构成。带组合3在该卷带支承部20上被卷绕成卷状而成为卷带2。在卷带支承部20的筒芯内插入有虽然未图示但将卷带支承部20支承为能够旋转的支承棒。在支承棒上连接有使卷带支承部20正转/反转的图1所示的旋转构件22。旋转构件22例如由伺服电动机构成。卷带支承部20A的结构也与卷带支承部20同样，带组合3A在卷带支承部20A上被卷绕成卷状而成为卷带2A。在利用定位构件40将带组合3、3A从卷带2、2A拉出时，利用旋转构件22使卷带支承部20、20A向正转方向(例如顺时针方向)旋转。另一方面，在利用切断构件90将保护膜5切断之后，在利用卷带支承部20、20A收卷剩余的带组合3、3A时，利用旋转构件22使卷带支承部20、20A向反转方向(例如逆时针方向)旋转。
卷带支承构件21具有收纳卷带2的壳体210。在壳体210的底壁上形成有用于供带组合3通过的开口211。在开口211的端部配设有对带组合3的前端进行检测的前端检测部24。在开口211的正下方配设有一对导辊25，该一对导辊25能够将带组合3向下方引导。卷带支承构件21A的结构也与卷带支承构件21同样。在图示的例子中，在卷带支承构件21A侧的导辊25的附近配设有将带组合3、3A朝向第1辊单元30引导的导辊26。另外，壳体210的近前侧(Y轴方向的近前侧)配设有可开闭的盖。
卷带支承部20具有将所使用的带组合3的种类信息进行编码后的二维码23。在上述盖的背面(卷带支承部20侧的面)的与二维码23对置的位置具有读取二维码23的照相机。当利用卷带支承部20来支承卷带2并将盖关闭时，利用照相机来读取二维码23，从而能够识别卷带支承部20所支承的带组合3的种类。卷带支承部20A也具有将带组合3A的种类信息进行编码后的二维码23A。另外，二维码23、23A的配设位置不限定于本实施方式所示的位置，是任意的。
定位构件40具有：第1夹持部42，其被支承部件41的一端支承；旋转机构43，其与支承部件41的另一端连接；以及滑动机构44，其使第1夹持部42沿着水平方向(X轴方向)移动。在第1夹持部42中，能够对带组合3、3A的端部的两端进行夹持。
旋转机构43能够绕顺时针和逆时针进行旋转，从而能够定位于对从卷带2拉出的带组合3进行夹持的第1夹持位置P1、对从卷带2A拉出的带组合3A进行夹持的第2夹持位置P2以及第1夹持部42释放带组合3、3A的释放位置P3(参照图4)。第1夹持位置P1和第2夹持位置P2是指第1夹持部42能够对从卷带2、2A拉出并被一对导辊25引导的带组合3、3A进行夹持的位置。释放位置P3是指能够将第1夹持部42所夹持的带组合3、3A转交给带组合引导构件80的位置。
滑动机构44由沿着X轴方向延伸的基座45和能够在基座45上沿着X轴方向滑动移动的滑块46构成。滑块46借助旋转机构43来支承第1夹持部42。并且，通过使滑块46在基座45上沿着X轴方向滑动移动，能够使第1夹持部42与旋转机构43一同沿着X轴方向滑动移动。
第1辊单元30至少由驱动辊31、两个从动辊32以及使驱动辊31与从动辊32相对接近和远离的移动机构33构成。移动机构33由沿着X轴方向延伸的导轨34和能够在导轨34上水平移动的移动部35构成。移动部35在其前端部对两个从动辊32进行支承。通过使移动部35沿着导轨34移动，能够使驱动辊31与从动辊32相对接近和远离。
粘贴构件50具有：粘贴辊51，其将图2所示的粘合带4相对于环状框架F和晶片W进行按压而粘贴在一起；以及剥离板53，其将粘合带4从通过第1辊单元30送出的保护膜5剥离。粘贴辊51配设于工作台10的上方侧，能够以轴部为中心进行旋转。粘贴辊51与粘贴辊推压构件52连接，利用粘贴辊推压构件52使粘贴辊51能够在接近和远离工作台10的Z轴方向上升降。粘贴辊51能够将由剥离板53从保护膜5剥离的粘合带4相对于工作台10所保持的晶片W和被框架支承部11支承的环状框架F进行按压而粘贴在一起。
剥离板53由前端侧朝向粘贴辊51倾斜的臂部54和与臂部54的前端连接的按压部55构成。按压部55能够沿着臂部54往返移动，按压部55通过对带组合3中的保护膜5进行按压而形成为锐角，从而能够将粘合带4从保护膜5剥离。
丢弃构件60具有：收卷部61，其对保护膜5的端部的两端进行夹持并且将保护膜5收卷成卷状；电动机62，其使收卷部61进行旋转；以及丢弃箱63，其配设于收卷部61的下方，用于丢弃被卷绕成卷状的保护膜5。
第2辊单元70配设在带组合引导构件80的移动路径(X轴方向)上，采用了与第1辊单元30同样的结构。即，第2辊单元70至少由驱动辊71、两个从动辊72以及使驱动辊71与从动辊72相对接近和远离的移动机构73构成。移动机构73由沿着Z轴方向延伸的导轨74和能够在导轨74上水平移动的移动部75构成。移动部75在其前端部对两个从动辊72进行支承。通过使移动部75沿着导轨74移动，能够使驱动辊71与从动辊72相对接近和远离。
带组合引导构件80具有：第2夹持部82，其被支承部件81的一端支承；以及滑动机构85，其与支承部件81的另一端连接，使第2夹持部82沿着水平方向(X轴方向)滑动移动。在第2夹持部82的上端安装有载置台83，该载置台83载置被第2辊单元70引导的保护膜5。在载置台83上形成有用于供带切割器的刃尖退避的退刀槽84。第2夹持部82能够接着对第1夹持部42所夹持的带组合3的端部的两端进行夹持。
滑动机构85由沿着X轴方向延伸的基座86和能够在基座86上沿着X轴方向移动的滑块87构成。第2夹持部82与滑块87连接。通过使滑块87在基座86上沿着X轴方向呈一条直线地水平滑动移动，能够使支承部件81和第2夹持部82沿着相同方向滑动移动。
切断构件90具有：带切割器91，其将载置于第2夹持部82的载置台83的保护膜5切断；升降机构92，其使带切割器91沿着Z轴方向升降；以及压紧部93，其将载置于载置台83的保护膜5压紧。虽然没有图示，但带粘贴装置1具有对带粘贴装置1的各种机构进行控制的控制部。控制部例如能够对定位构件40进行控制，以选择卷带2、2A中的任意一个并将带组合3或带组合3A拉出。
接着，对带粘贴装置1的动作例进行说明。晶片W为圆形板状的被加工物的一例，没有特别限定材质和大小。将晶片W载置于工作台10，并且将环状框架F载置于框架支承部11。接着，使未图示的吸引源进行动作，利用工作台10的保持面对晶片W进行吸引保持。
定位构件40例如选择卷带支承部20所支承的卷带2，将带组合3从卷带2拉出。具体而言，一边利用旋转构件22使卷带支承部20向正转方向(例如顺时针方向)旋转，一边使带组合3从卷带2起在一对导辊25之间通过，并经由导辊25向下方送出。通常，位于卷带2的最外周的带组合3的端部侧仅有保护膜5露出。因此，在从卷带2拉出带组合3的情况下，利用旋转机构43将第1夹持部42定位于第1夹持位置P1，通过第1夹持部42对由导辊25送出的带组合3的端部(即，保护膜5的端部的两端)进行夹持。
如图3所示，利用滑动机构44使第1夹持部42与滑块46一同例如向+X方向滑动移动直至到达基座45的端部(在图示的例中为右侧的端部)。与此相伴地，利用夹持着保护膜5的第1夹持部42将带组合3从卷带2拉出，并且将第1夹持部42定位于第1辊单元30侧。
如图4所示，通过使旋转机构43例如向顺时针方向旋转，将第1夹持部42所夹持的保护膜5挂在导辊26上，并且在驱动辊31与从动辊32之间通过而挂在驱动辊31上，然后使第1夹持部42移动至释放位置P3。
接着，如图5所示，带组合引导构件80在释放位置P3夹持保护膜5。具体而言，利用滑动机构85使滑块87沿着基座86例如向+X方向滑动移动，使第2夹持部82移动至释放位置P3。在第1夹持部42在释放位置P3释放保护膜5之后，利用第2夹持部82接着对保护膜5的端部的两端进行夹持。
如图6所示，利用滑动机构85使滑块87沿着基座86例如向-X方向滑动移动。由此，将第2夹持部82所夹持的保护膜5向相同方向拉扯，使保护膜5在第2辊单元70的驱动辊71与从动辊72之间通过，将保护膜5引导至丢弃构件60。然后，丢弃构件60的收卷部61对保护膜5的端部的两端进行夹持。
如图7所示，通过使第1辊单元30的移动机构33进行动作，移动部35沿着导轨34例如向-X方向移动，使两个从动辊32向驱动辊31接近，使两个从动辊32与带组合3接触而利用驱动辊31和两个从动辊32将带组合3夹入。另外，通过使第2辊单元70的移动机构73进行动作，移动部75沿着导轨74例如向+Z方向移动，使两个从动辊72向驱动辊71接近，使两个从动辊72与保护膜5接触而利用驱动辊71和两个从动辊72将保护膜5夹入。
接着，如图8所示，剥离板53利用按压部55将带组合3中的保护膜5朝向下方按压而使保护膜5形成为锐角。这样的话，粘合带4从保护膜5剥离，粘合带4被送入到粘贴辊51的下方。此时，预先使保持着晶片W的工作台10和支承着环状框架F的框架支承部11移动到带组合3的下方侧。
一边使粘贴辊51以规定的旋转速度进行旋转，一边利用粘贴辊推压构件52使粘贴辊51例如向-Z方向下降，由此，从被框架支承部11支承的环状框架F的一侧起对粘合带4进行按压。利用工作台移动构件13将工作台10和框架支承部11例如向+X方向送出，利用旋转的粘贴辊51对晶片W和环状框架F按压粘合带4。此时，第1辊单元30一边使驱动辊31以规定的旋转速度进行旋转，一边使两个从动辊32也随着驱动辊31的旋转而进行旋转，从而将带组合3朝向工作台10向下方引导。另外，第2辊单元70一边使驱动辊71以规定的旋转速度进行旋转，一边使两个从动辊72也随着驱动辊71的驱动而进行旋转，从而将被剥离板53剥离了粘合带4的保护膜5从工作台10引导至丢弃构件60。
当一边利用粘贴辊51来按压粘合带4一边如图9所示的那样使工作台10和框架支承部11向+X方向移动直至到达规定的位置时，能够将粘合带4粘贴于晶片W和环状框架F。被剥离了粘合带4的保护膜5在利用电动机62进行旋转的收卷部61的外周被收卷成卷状，形成为保护膜卷5A。借助粘合带4与环状框架F成为一体的晶片W被未图示的搬送构件例如移送至切割装置等而进行切割等。这样，在完成了针对1张晶片W的粘合带4的粘贴动作之后，按顺序将新的晶片W搬送至工作台10，并且将环状框架F搬送至框架支承部11，与上述同样地反复进行粘合带4的粘贴动作和从粘合带4剥离的保护膜5的收卷动作。
如图10所示，通过将带组合3从卷带2持续拉出，被卷带支承构件21支承的卷带2的外径逐渐缩小。这里，在带粘贴装置1中，例如在变更带组合3的种类的情况下，控制构件对定位构件40进行控制，从而选择新的带组合3A并从卷带支承构件21A拉出。此时，利用切断构件90将当前使用的带组合3的保护膜5切断，并且利用丢弃构件60来收卷被切断的保护膜5并丢弃。在从带组合3切换成带组合3A并拉出的情况下，预先将带组合引导构件80的载置台83定位于切断构件90的下方。
切断构件90利用升降机构92使压紧部93和带切割器91例如向-Z方向下降，利用压紧部93将保护膜5朝向载置台83从上方压紧，并且使带切割器91的刃尖切入直至到达退刀槽84，从而将保护膜5完全切断。被切断的保护膜5接着被收卷部61收卷而使保护膜卷5A的直径逐渐变大。
然后，如图11所示，切断构件90沿+Z方向上升而向远离载置台83的方向退避，并且将保护膜卷5A丢弃至丢弃箱63。此时，旋转构件22通过使当前使用的卷带支承部20向反转方向(例如逆时针方向)旋转，将被切断的剩余带组合3收卷于卷带支承部20。即，向工作台10侧拉出的带组合3通过第1辊单元30、一对导辊25以及壳体210的开口211而被收卷于卷带支承部20。然后，在利用前端检测部24检测到保护膜5之后，停止卷带支承部20的旋转即可。
利用定位构件40将带组合3A从卷带2A拉出的动作与上述的将带组合3从卷带2拉出的动作是同样的。即，只要利用旋转机构43将第1夹持部42定位于第2夹持位置P2，利用第1夹持部42对由导辊25送出的带组合3A的端部(即，保护膜5的端部的两端)进行夹持并与上述同样地拉出即可。然后，对新拉出的带组合3A也反复进行粘合带4的粘贴动作和从粘合带4剥离的保护膜5的收卷动作。
如上所述，本发明的带粘贴装置1构成为至少具有：卷带支承部20、20A，它们将卷带2、2A支承为能够旋转，该卷带2、2A是将带组合3、3A卷成卷状而得的；卷带支承构件21、21A，它们配设有两个以上的卷带支承部20、20A；第1辊单元30，其将从卷带2、2A拉出的带组合3、3A从卷带支承构件21、21A引导至工作台10；粘贴构件50，其将粘合带4从被引导至工作台10的带组合3、3A中剥离，将粘合带4粘贴在工作台10所支承的环状框架F和晶片W上；丢弃构件60，其收卷被剥离了粘合带4的保护膜5并丢弃；第2辊单元70，其将被剥离了粘合带4的保护膜5从工作台10引导至丢弃构件60；定位构件40，其选择卷带2、2A中的任意卷带，对带组合3、3A的端部进行把持并拉出，从而定位于工作台10；带组合引导构件80，其对定位构件40所定位的带组合3、3A的端部进行把持而通过第2辊单元70引导至丢弃构件60；以及切断构件90，其配设于工作台10与丢弃构件60之间，将被剥离了粘合带4的保护膜5切断，
在利用定位构件40将新选择的带组合3、3A从卷带支承构件21、21A拉出时，利用切断构件90将当前使用的带组合3、3A的保护膜5切断并利用丢弃构件60来收卷并丢弃，并且使当前使用的卷带支承部20、20A进行动作而收卷带组合3、3A，因此能够容易地将定位构件40所拉出的带组合例如从带组合3切换成不同种类的带组合3A，不需要利用连结用带将带组合3的切口端与带组合3A的前端连结起来。因此，不使用连结用带也能够选择期望的带组合3、3A并将粘合带4粘贴于环状框架F和晶片W。
另外，根据本发明，由于利用卷带支承部20、20A来收卷被切断的剩余带组合3、3A，因此不会浪费带组合3、3A，能够有效地进行利用。

Claims (1)

1.一种带粘贴装置，其具有工作台，该工作台对具有开口的环状框架进行支承，并且对被定位于该开口的晶片进行支承，该带粘贴装置将粘合带粘贴在该工作台所支承的环状框架和晶片上而进行一体化，其中，
该带粘贴装置至少具有：
卷带支承部，其将卷带支承为能够旋转，该卷带是将带组合卷成卷状而得的，该带组合是将预先与该环状框架对应成型的多个该粘合带隔开间隔地配设在带状的保护膜上而形成的；
卷带支承构件，其配设有两个以上的该卷带支承部；
第1辊单元，其将从该卷带拉出的该带组合从该卷带支承构件引导至该工作台；
粘贴构件，其将该粘合带从被引导至该工作台的该带组合中剥离，将该粘合带粘贴在该工作台所支承的该环状框架和晶片上；
丢弃构件，其收卷被剥离了该粘合带的该保护膜并丢弃；
第2辊单元，其将被剥离了该粘合带的该保护膜从该工作台引导至该丢弃构件；
定位构件，其配设于该卷带支承构件与该第1辊单元之间，选择两个以上的该卷带支承部所支承的该卷带中的任意卷带，对该带组合的端部进行把持并拉出，从而定位于该工作台；
带组合引导构件，其对该定位构件所定位的该带组合的端部进行把持而通过该第2辊单元引导至该丢弃构件；以及
切断构件，其配设于该工作台与该丢弃构件之间，将被剥离了该粘合带的该保护膜切断，
该卷带支承构件具有对该带组合的前端进行检测的前端检测部，
在利用该定位构件将新选择的该带组合从该卷带支承构件拉出时，利用该切断构件将当前使用的该带组合的该保护膜切断并利用该丢弃构件来收卷并丢弃，并且使当前使用的该卷带支承部进行动作而收卷该带组合，当该前端检测部检测到该保护膜时，使该卷带支承部的旋转停止。
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