JP7273614B2 - シート支持装置およびシート支持方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態の場合、シート支持手段10は、被着体WKを介して接着シート基材ABを支持する構成となっている。
支持テーブル12の上面には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能とされた内側支持面12Aと、当該内側支持面12Aの外周に凹溝12Bを隔てて形成された外側支持面12Cとが形成されている。なお、凹溝12Bは、上方から見下した平面視において円環形状とされている。
なお、切断刃受け部材21には、貫通部CM1を受け入れる受入れ穴21Aが形成され、当該受入れ穴21Aには、その出力軸21Cで貫通部CM1を挟み込んで支持する挟持手段であって駆動機器としてのエアシリンダ21Bが設けられている。
なお、本実施形態では、移動手段40は、切断刃CMが取り付けられたブラケットBRを先端アーム41Aで支持し、静止しているシート支持手段10に対して切断刃CMを移動させ、接着シート基材ABを切断して接着シートASを形成する構成となっている。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段30が回動モータ35Aを駆動し、原反RSを繰り出して図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シート基材ABの繰出方向先端部が剥離板33の剥離縁33Aで所定長さ剥離されると、回動モータ35Aの駆動を停止する。
切断刃受け部材21は、切断刃CMに対して硬度が高くてもよいし低くてもよいし同じでもよい。なお、切断刃受け部材21は、接着シート基材ABと相対移動する切断刃CMに対して滑らないことに越したことはないが、従来例で示したような刃301bを突起片201cに当接させて接着シート基材を切断するような場合に比べ、切断刃CMの摩耗を低減することができる限りにおいて、接着シート基材ABと相対移動する切断刃CMに対して滑ってもよい。
受入れ穴21Aは、切断刃受け部材21に1箇所だけ設けられていてもよいし、図1(C)に示すように、切断刃受け部材21に複数設けられていてもよいし、切断刃受け部材21の環状方向に沿って環状に設けられていてもよいし、溝状に設けられていてもよいし、図1(H)に示すような平面視円形の穴でもよいし、平面視三角形や四角形以上の多角形や楕円形等の穴でもよいし、底有りの穴でもよいし、底無しの孔でもよいし、切断刃CMの侵入によって弾性変形して当該切断刃CMを受け入れる構成でもよいし、切断刃CMの刃先が隙間なく入り込む形状でもよいし、切断刃CMの刃先が余裕を持って入り込む形状でもよいし、例えば、図1(C)に示す状態で、左方にも開口した形状でもよいし、切断補助手段20に形成されていなくてもよい。
挟持手段は、受入れ穴21Aの側壁とで挟み込むことなく、例えば、チャックシリンダの出力部で貫通部CM1を挟み込んでもよいし、受入れ穴21Aのない状態で貫通部CM1を挟み込んで支持してもよいし、切断補助手段20に備わっていてもよいし備わっていなくてもよい。
接着シート基材ABは、剥離シートRLが仮着されていなくてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよい。
10 シート支持手段
20 切断補助手段
21A 受入れ穴
21B エアシリンダ(挟持手段)
40 移動手段
AB 接着シート基材
AS 接着シート
CM 切断刃(切断部材)
CM1 貫通部
Claims (5)
- 接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置において、
前記接着シート基材を支持するシート支持手段と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助手段とを備え、
前記切断補助手段は、前記接着シート基材と前記切断部材との相対移動に合わせて当該切断部材と共に移動可能に設けられていることを特徴とするシート支持装置。 - 前記切断補助手段は、前記貫通部を受け入れる受入れ穴が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のシート支持装置。
- 前記切断補助手段は、前記貫通部を挟み込んで支持する挟持手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート支持装置。
- 前記切断補助手段は、前記接着シート基材と前記切断部材とを相対移動させる移動手段とリンクして前記切断部材と共に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のシート支持装置。
- 接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持方法において、
前記接着シート基材を支持するシート支持工程と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を切断補助手段で支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助工程とを実施し、
前記切断補助工程では、前記接着シート基材と前記切断部材との相対移動に合わせて前記切断補助手段を前記切断部材と共に移動させることを特徴とするシート支持方法。
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JP2019093849A JP7273614B2 (ja) | 2019-05-17 | 2019-05-17 | シート支持装置およびシート支持方法 |
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JP2020188241A JP2020188241A (ja) | 2020-11-19 |
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JP2006005131A (ja) | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護テープ装着方法および保護テープ装着装置 |
JP2008124307A (ja) | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 |
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