JP2004079768A - 貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハーWの固定した載置を可能とするテーブル201bと、該テーブルに載置したウェハーの表面に接着性シートF2を貼付する貼付手段と、貼付した接着性シートの外周の不要部分を切断する切断手段301bとを備えた貼付装置で、テーブルに切断手段をウェハーの輪郭よりも一定間隔外側に沿って案内する案内手段201cを設ける。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハーの回路パターンが形成された表面側またはその裏面側に所定の接着性シートを貼付するための貼付装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程では、多様な目的のために複数の接着性シートが使用されている。例えば、ウェハー裏面の研削工程では、ウェハーの回路面を保護するために表面保護用感圧接着性シートが、ウェハーを、個別のチップに分割するダイシング工程では、ウェハーを固定するダイシング用感圧接着性シートがそれぞれ使用されている。
【0003】
また、半導体チップをダイパッド部に接着する接着剤も液状の接着剤から、ウェハーの回路面または裏面に予めダイボンド用接着性シートを貼付してダイシングしてチップ化した後、ダイボンド用接着性シートを介してチップをダイパッド部に接着する方法が採用されてきている。
【0004】
ウェハー上に接着性シートを貼付する装置としては、例えば特開平10−329087号公報が知られている。
【0005】
ところで、近年の半導体製造工程において携帯電子機器やICカードに使用する半導体チップを極めて薄い構造にすることが要求されている。このため、切削工程で薄く切削された分割前のウェハーを破損なしに保持できるように、剛性を有する表面保護用感圧接着性シートが用いられている。
【0006】
この表面保護用感圧接着性シートに剛性を付与する方法としては、従来から使用されてきた表面保護用感圧接着性シートの基材面上に、さらに剛性を有する接着性シートを積層する方法がある。
【0007】
この方法で表面保護用感圧接着性シートに剛性を付与した場合、ウェハーの反りやウェハーカセットに収容したときの自重による割れに対しては効果が得られている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の貼付装置で表面保護用感圧接着性シートをウェハーの表面に貼付すると、表面保護用感圧接着性シートの形状がウェハーの輪郭に一致しているので、ウェハーの端部に与えられる負荷に耐え得る構造になっていない。
【0009】
また、ダイボンド用接着性シートを貼付するウェハーは、既に切削加工が施されているので、ダイボンド用接着性シートに剛性を付与しても破損を防止できない場合があった。
【0010】
そこで、本発明は、上記点に鑑み、極薄に加工されたウェハーをその後の製造工程や搬送工程で破損しないように、既に使用している表面保護用感圧接着性シートなどの接着性シートをさらに破損しにくい形状で貼付できるようにした貼付装置を提供することを課題とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の貼付装置は、ウェハーの上面に接着性シートを貼付するための貼付装置であって、ウェハーの固定した載置を可能とするテーブルと、該テーブルに載置したウェハーの表面に接着性シートを貼付する貼付手段と、貼付した接着性シートの外周の不要部分を切断する切断手段とを備えた貼付装置において、前記テーブルに、切断手段をウェハーの輪郭よりも一定間隔外側に沿って案内する案内手段を設けたことを特徴とする。
【0012】
請求項1記載の発明によれば、案内手段で切断手段を案内することで、ウェハーの輪郭から一定間隔で大きく切断された接着性シートが貼付された構造となる。このため、ウェハーの端部に負荷がかかっても、ウェハーの輪郭から突出した接着性シートによって負荷が直接ウェハーに伝わるのが防止されるので、ウェハーの破損が起こりにくくなる。
【0013】
この場合、前記案内手段を、例えばウェハーを収容できる内径と一定間隔外側の外径とを有する突出片とすればよい。
【0014】
また、前記案内手段を、例えばウェハーの輪郭よりも一定間隔大きい直径を有する環状の溝としてもよい。
【0015】
請求項4記載の貼付装置は、ウェハーの表面に第1接着性シートを貼付し、第1接着性シートの開放面に第2接着性シートを貼付する貼付装置であって、ウェハーの固定した載置を可能とする第1テーブルと、該第1テーブルに載置したウェハーの表面に第1接着性シートを貼付する第1貼付手段とを備えた第1貼付ステーションと、ウェハーの固定した載置を可能とする第2テーブルと、該第2テーブルに載置した第2接着性シートを貼付する第2貼付手段と、貼付した第2接着性シートの外周の不要部分を切断する第2切断手段とを備え、該第2テーブルに、第2切断手段をウェハーの輪郭よりも一定間隔外側に沿って案内する案内手段を設けた第2貼付ステーションとを有し、少なくとも第1貼付ステーションから第2貼付ステーションにウェハーを搬送する搬送手段を設けたことを特徴とする。
【0016】
請求項4記載の発明によれば、2種類の接着性シートを積層してウェハーを保護する構造にする場合でも単独の装置で適用できる。
【0017】
この場合、前記第1貼付ステーションに、ウェハーの輪郭に沿って貼付した第1接着性シートの外周の不要部分を切断する第1切断手段を設けておけば、ウェハーと第2接着性シートとの間の第1接着性シートがクッション的な機能をより発揮しやくすくなり、ウェハーの端部にかかる負荷をより分散しやすくなる。
【0018】
尚、前記案内手段を、例えばウェハーを収容できる内径と一定間隔外側の外径とを有する突出片とすればよい。
【0019】
また、前記案内手段を、例えばウェハーの輪郭よりも一定間隔大きい直径を有する環状の溝としてもよい。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1乃至図6を参照して、1は、例えばウェハー裏面の研削工程においてウェハーの回路面を保護するためウェハーの表面に表面保護用感圧接着性シートを貼付する本発明の貼付装置である。この貼付装置1の略中央部にはレール2が設けられている。
【0021】
レール2には、第1搬送ロボット3がレール2の長手方向に沿って移動自在に設けられている。第1搬送ロボット3はフォーク状のアーム31を有し、アーム31が3次元方向に移動可能であるように構成されている。また、アーム31は反転自在に形成され、その両表面には、アーム31へのウェハーWの吸着を可能とする真空吸着手段(図示せず)が設けられている。
【0022】
レール2に対して直交する方向で、レール2の一端に位置する第1搬送ロボット3を挟むように2個のカセット載置テーブル4a、4bが設けられている。例えば、一方のカセット載置テーブル4aには複数枚のウェハーWが収納されたカセット5が載置され、他方のカセット載置テーブル4bには空のカセット5が載置される。
【0023】
図2及び図3に示すように、カセット5は、一面が開放した箱状の本体51を有し、相互に向かい合う両側面には、内方に向かって突出する一対のウェハー保持部52が複数個設けられている。ウェハーWは、一対のウェハー保持部52で支持されてカセット5に収納される。
【0024】
ここで、例えばカセット5にウェハーWを収納して搬送する場合、後述の接着性シートでウェハーの表面を保護しても、極薄に研削したウェハーWの輪郭と一致させて接着性シートを貼付したのでは、例えば搬送時の振動でウェハーWの端部に負荷が加わるとウェハーWが破損する場合がある。
【0025】
本実施の形態では、ウェハーWの表面に、ウェハーWの外形に一致させて第1接着性シートF1を貼付し、第1接着性シートF1の開放面に、ウェハーWの外形より大きい第2接着性シートF2を貼付できるように貼付装置1を構成した。
【0026】
この場合、貼付装置1では、第1搬送ロボット3に対向してレール2の他端の近傍に、3次元方向に移動自在であって反転自在なアーム61を有する第2搬送ロボット6を設け、レール2に対して直交する方向で第2搬送ロボット6を挟むように第1及び第2の貼付ステーション7、8をそれぞれ設けた。
【0027】
また、レール2の他端と第2搬送ロボット6との間には、第1搬送ロボット3によって一旦ウェハーWが載置されるアライメント手段21が設けられ、該アライメント手段21では、後述のカッタの刃による切込みが容易となる位置(Vノッチ部)が検出される。
【0028】
図4を参照して、第1及び第2の各貼付ステーション7、8は、ほぼ同一の形態であり、第1及び第2の接着性シートF1、F2を繰出しウェハーWに各接着性シートF1、F2を貼付する第1及び第2の貼付手段100と、ウェハーWを搬送する第1及び第2の搬送手段200と、第1及び第2の各接着性シートF1、F2を所定の大きさに切断する第1及び第2の切断手段300とからそれぞれ構成される。
【0029】
第1及び第2の各貼付ステーション7、8において第1及び第2の接着性シートF1、F2としては、例えばポリエチレンテレフタレートの剛性を有するシートに所定の粘着剤を塗布したものが使用される。
【0030】
第1及び第2の各貼付手段100において、第1及び第2の各接着性シートF1、F2は、剥離シートSと共に供給リール101に巻回され、その先端部は、ガイドローラ102及びテンションローラ103を介してプレスローラ104まで案内され、後述のチャック105で把持されている。
【0031】
剥離シートSはピンチローラ106で第1及び第2の各接着性シートF1、F2から分離され、ローラ機構107を介して巻上げリール108に巻回される。この場合、巻上げリール108はモータで駆動するのがよい。
【0032】
プレスローラ104は、シリンダ104aで上下動自在なホルダ104bで保持されている。該プレスローラ104の近傍には、1対のL字状板であるチャック105がプレスローラ104の長手方向両端に配置されている。
【0033】
この一対のL字状板から構成されるチャック105はシリンダ109によって開閉自在であり、その間で接着性シートF1(F2)を把持する。シリンダ109は、チャック105を上下動させるシリンダ110に連結されている。該シリンダ110は、ホルダ104bに連結されているので、チャック105はプレスローラ104と共に昇降する。
【0034】
第1及び第2の各貼付ステーション7、8では、第1及び第2の各搬送手段200が第1及び第2のテーブル201a、201bをそれぞれ有する。各テーブル201a、201bには、例えば真空ポンプにバキューム管を介して接続された複数の小孔(図示せず)が形成され、テーブル上に載置されたウェハーWを吸着して固定できるようになっている。また、各テーブル201a、201bは、モータ(図示せず)で回転自在となるようにテーブル台202上に設けられている。
【0035】
テーブル台202は、相互に平行な2本のレール203上に設けられ、該テーブル台203の下側に設けたベルト駆動機構204によって、プレスローラ104がウェハーWの外周縁に当接する貼付位置と、後述する切断手段300の下側に位置する切断位置との間で(図4において)左右方向に移動自在である。
【0036】
図5(a)及び図5(b)を参照して、第1及び第2の各貼付ステーション7、8に設けた第1及び第2の各切断手段300は、先端部に超音波で振動する刃301a(301b)を設けた超音波カッタ301を有し、カッタホルダ302で保持されている。カッタ301の進行方向に対して前後方向には、刃301a(301b)を案内するガイドローラ303が刃301a(301b)を挟んで設けられ、該ガイドローラ303は支持板304に取付けられている。
【0037】
支持板304はカッタホルダ302にスライダ305を介して取付板306で上下動自在に取付けられている。また、超音波カッタ301に取付けられたピン307と支持板304に設けたピン304aとの間にはばね308が設けられ、このばね308の力でガイドローラ303をテーブル表面に対して垂直に押圧する。
【0038】
カッタホルダ302は、傾斜して設けた傾斜板309に取付けたシリンダ310のピストンロッド310aに接続されている。傾斜板309にはスライドテーブル311が取付けれ、スライドテーブル311が取付板312を介してカッタホルダ302を支持する。
【0039】
これにより、超音波カッタ301は傾斜板309の斜面に沿って上下動する。尚、刃が交換できるよに、カッタホルダ302は取付板312に着脱自在とするのがよい。
【0040】
傾斜板309は、支持板313、314を介して移動板315のスライダー315aに固定されている。この場合、傾斜板309と支持板313とは2個のボルト316でボルト止めされ、下側のボルト止め位置を変更することで、傾斜板309の傾斜角を調整することできる。
【0041】
支持板314はバネ317でウェハーWの中心方向に向かって引っ張られ、押しねじ318によって制止されている。押しねじ318を調整することで刃301aをウェハーW側へ付勢して第1及び第2の各接着性シートF1、F2を切断することができる。また、カッタ301に異常な負荷がかかったときに、ウェハーWの外周方向へも逃げられるようになる。
【0042】
そして、第1貼付ステーション7では、第1接着性シートF1の切断の際、図6(a)に示すよう、超音波カッタ301の刃301aを第1テーブル201aに載置したウェハーWの外周縁に当接させるように配置する。
【0043】
第1テーブル201aを回転させてウェハーWの外周縁に沿って超音波カッタ301によって切断すると、図6(b)に示すように、第1接着性シートF1がウェハーWの外周縁とほぼ一致して切断され、第1接着性シートF1がウェハーWの外周縁からはみだすことはない。
【0044】
他方で、第2貼付ステーション8で第2接着性シートF2を貼付する際、ウェハーWより第2接着性シートF2が大きくなるように第2接着性シートF2を切断する。
【0045】
このため、図6(c)に示すように、第2テーブル201bの上面に、ウェハーWを収容できる内径と一定間隔外側の外径とを有する案内手段である環状の突出片201cを設けた。
【0046】
この突出片201cで囲まれるようにウェハーWを第2テーブル201bに載置し、第2接着性シートF2を切断する際、超音波カッタ301の刃301bを突出片201cに当接させるように配置する。
【0047】
第2テーブル201bを回転させ、突出片201cに沿って超音波カッタ301の刃301bで第2接着性シートF2を切断すると、図6(d)に示すように、第2接着性シートF2はウェハーWの外周から突出片201cの幅だけ一定間隔大きく切断される。
【0048】
また、図4に示すように、移動板315には、プレスローラ319を保持するホルダ320が取付けられ、ホルダ320はシリンダ321で上下動される。移動板315は、板322、323を介してガイド324に移動可能に取り付けられ、モータ(図示せず)で第1及び第2の各接着性シートF1(F2)の幅方向に移動される。
【0049】
次ぎに、上記貼付装置1によって第1及び第2の各接着性シートF1、F2を貼付する手順を説明する。所定枚数のウェハーWを収納したカセット5を一方のカセット載置テーブル上4aに載置し、他方のカセット載置テーブル4bに空のカセット5を置く。
【0050】
ウェハーWを収納したカセット5が載置されると第1搬送ロボット3によってカセット5から一枚のウェハーWを取出し、アライメント手段21に載置する。該アライメント手段21にウェハーWが載置されると、カッター301の刃301aが切込み易い位置(Vノッチ部)を検出し、第2搬送ロボット6によって第1貼付ステーション7の第1テーブル201a上にウェハーWを載置する。
【0051】
この場合、第1テーブル201は原点位置(貼付位置)にあり、第1貼付手段100のプレスローラ104及びチャック105は上昇位置にあり、チャック105は第1接着性シートF1の両側を広げながら把持している。
【0052】
次いで、プレスローラ104及びチャック105が下降を開始し、プレスローラ104がウェハーWの外周位置に到着すると、第1接着性シートF1を第1テーブル201aに対して押圧し、チャック105は第1接着性シートF1を開放する。この状態で、プレスローラ104で第1接着性シートF1をウェハーWに押圧しながら第1テーブル201aをシート送り方向(図1の左側)に移動させる。
【0053】
これにより、ウェハーW上に第1接着性シートF1が貼付される。そして、第1テーブル201aが切断位置に到達すると、チャック105を閉じて第1接着性シートF1の端部を把持すると共に、第1切断手段のカッタ301を下降させる。
【0054】
第1接着性シートF1の幅方向に沿ってカッタ301を移動させて第1接着性シートF1を切断する。この場合、サイドローラ319も下降させてカッタ301と同方向に移動させ、第1接着性シートF1をウェハーWに押圧する。
【0055】
次いで、一旦カッタ301を上昇させ、刃301aをウェハーWの外周縁に当接するように再度下降させる。そして、第1テーブル201aを回転させウェハーWの外周縁に沿って第1接着性シートF1を切断する。
【0056】
この場合、従来技術のように、カッタ301の切断方向とウェハーWの外周縁の接線方向とを一致させて、またはカッタ301の切断方向とウェハーWの外周縁の接線方向とが所定の角度以下になるように設定して切断を行うのがよい。
【0057】
第1接着性シートF1の切断が終了すると、第1テーブル201aを原点位置に戻し、第2搬送ロボット6により第1接着性シートF1が貼付されたウェハーWを吸着し、ウェハーWの外周を囲うように突出片201cを設けた第2貼付ステーション8の第2テーブル201b上に載置する。
【0058】
次いで、同様の手順で、第2貼付手段によって第1接着性シートF1上に第2接着性シートF2を貼付し、第2テーブル201bが切断位置に到達すると、チャック105を閉じて第2接着性シートF2の端部を把持すると共に、第2切断手段のカッタ301を下降させ、第2接着性シートF2の幅方向に沿ってカッタ301を移動させて第2接着性シートF2を切断する。
【0059】
次いで、一旦カッタ301を上昇させ、刃301bを突出片201cに当接するように再度下降させる。そして、第2テーブル201bを回転させ突出片201cに沿って第2接着性シートF2を切断する。
【0060】
この場合もまた、カッタ301の切断方向と突出片201cの外周円の接線方向とを一致させて、またはカッタ301の切断方向と突出片201cの外周円の接線方向とが所定の角度以下になるように設定して切断を行うのがよい。
【0061】
第2接着性シートF2の切断が終了すると、第2テーブル201bを再度原点位置に戻し、第1及び第2の各接着性シートF1、F2が貼付されたウェハーWを、搬送ロボット6によりアライメント手段21に戻す。
【0062】
そして、アライメント手段21から第1搬送ロボット3によって該ウェハーWを取出し、空のカセット5に収納する。
【0063】
尚、本実施の形態では、案内手段として第2テーブル201bに突出片201cを設けたが、これに限定されるものではなく、例えば、図7に示すように、ウェハーWの輪郭よりも一定間隔大きい直径を有する環状の溝201dとしてもよい。
【0064】
また、本実施の形態では、ウェハーW上に、第1及び第2の各接着性シートF1、F2を積層するため2個の貼付ステーション7、8を設けたが、これに限定されるものではなく、ウェハーWが破損しにくい形状で接着性シートを貼付するには、貼付装置は少なくとも第2貼付ステーション8だけを有すればよい。
【0065】
この場合、ウェハーWの外形に合わせて形成した第1接着性シートF1を用意し、ウェハーW上に第1接着性シートF1を貼付し、貼付装置を使用して第2接着性シートを積層するようにしてもよい。
【0066】
また、第1及び第2の貼付ステーションに設けたカッタ301の刃301a、301bは同一のものでもよいが、接着性シートF1、F2の種類を相違させた場合にはそれに応じて刃を変更してもよい。
【0067】
さらに、冶具と制御プログラムを変更することで第1及び第2の各貼付ステーション7、8に同じ接着性シートF1(F2)をセットすれば、従来と同様に一枚の接着性シートF1(F2)を貼付する貼付装置として使用することができ、従来の貼付装置と比べて約2倍の処理能力を有することができる。
【0068】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の貼付装置では、極薄に加工されたウェハーをその後の製造工程や搬送工程で破損しないように、接着性シートをさらに破損しにくい形状でウェハーの表面に貼付できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の貼付装置の上面図
【図2】ウェハー搬送する際に、複数枚のウェハーを収納できるカセットの斜視図
【図3】カセットの一部を拡大して説明する図
【図4】第1貼付ステーションを説明する図
【図5】(a)及び(b)は、第1貼付ステーションの切断手段を説明する図
【図6】カッタによる接着性シートの切断を説明する図
【図7】他の形態にかかる案内手段を説明する図
【符号の説明】
1 貼付装置
7、8 貼付ステーション
100 貼付手段
300 切断手段
301 超音波カッタ
F1、F2 接着性シート
Claims (7)
- ウェハーの上面に接着性シートを貼付するための貼付装置であって、ウェハーの固定した載置を可能とするテーブルと、該テーブルに載置したウェハーの表面に接着性シートを貼付する貼付手段と、貼付した接着性シートの外周の不要部分を切断する切断手段とを備えた貼付装置において、
前記テーブルに、切断手段をウェハーの輪郭よりも一定間隔外側に沿って案内する案内手段を設けたことを特徴とする貼付装置。 - 前記案内手段は、ウェハーを収容できる内径と一定間隔外側の外径とを有する突出片であることを特徴とする請求項1記載の貼付装置。
- 前記案内手段は、ウェハーの輪郭よりも一定間隔大きい直径を有する環状の溝であることを特徴とする請求項1記載の貼付装置。
- ウェハーの表面に第1接着性シートを貼付し、第1接着性シートの開放面に第2接着性シートを貼付する貼付装置であって、
ウェハーの固定した載置を可能とする第1テーブルと、該第1テーブルに載置したウェハーの表面に第1接着性シートを貼付する第1貼付手段とを備えた第1貼付ステーションと、
ウェハーの固定した載置を可能とする第2テーブルと、該第2テーブルに載置した第2接着性シートを貼付する第2貼付手段と、貼付した第2接着性シートの外周の不要部分を切断する第2切断手段とを備え、該第2テーブルに、第2切断手段をウェハーの輪郭よりも一定間隔外側に沿って案内する案内手段を設けた第2貼付ステーションとを有し、
少なくとも第1貼付ステーションから第2貼付ステーションにウェハーを搬送する搬送手段を設けたことを特徴とする貼付装置。 - 前記第1貼付ステーションに、ウェハーの輪郭に沿って貼付した第1接着性シートの外周の不要部分を切断する第1切断手段を設けたことを特徴とする請求項4記載の貼付装置。
- 前記案内手段は、ウェハーを収容できる内径と一定間隔外側の外径とを有する突出片であることを特徴とする請求項4または請求項5記載の貼付装置。
- 前記案内手段は、ウェハーの輪郭よりも一定間隔大きい直径を有する環状の溝であることを特徴とする請求項4または請求項5記載の貼付装置。
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