JP2023093880A - 剥離装置、及び、エキスパンド装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 剥離装置の稼働を停止させることなく保護テープを回収することを可能とし、生産性を向上させるための新規な技術を提案する。【解決手段】剥離装置２は、ウェーハＷの裏面を保持する第二の保持ユニット５０と、第二の保持ユニット５０で保持されたウェーハＷの表面の保護テープＴ１を剥離して投下する剥離ユニット７０と、剥離ユニット７０が投下した保護テープを受ける受け部９２ａと、保護テープＴ１が排出される排出部９２ｄと、を有する排出路９２と、第二の保持ユニット５０と、剥離ユニット７０と、排出路９２の少なくとも受け部９２ａと、が配置される装置内空間１２と、装置内空間１２の外に配設されて排出路９２の排出部９２ｄが接続される接続口９４ｄを有し、剥離ユニット７０で剥離された保護テープＴ２を回収する回収ユニット９４と、を有して構成される。【選択図】図６

Description

本発明は、ウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離する剥離装置、及び、それを備えるエキスパンド装置に関する。

従来、例えば特許文献１に開示されるように、板状ワークの上面に貼着されている保護テープ（保護部材）を剥離する剥離装置が知られている。剥離装置は剥離された保護テープを回収する回収ボックスを剥離装置の内部に備え、回収ボックスが保護テープで一杯になると作業者が回収ボックスから保護テープを回収して廃棄がされるものである。

剥離装置の稼働中に作業者が回収ボックスから保護テープを回収しようとすると、剥離装置内部で作動中の各種機構に作業者が接触するおそれもがある。このため、剥離装置の稼働中は作業者が回収ボックスにアクセスできないように、例えば、回収ボックスへアクセスするための扉が開かないようにインターロックが掛けられる。

特開２０２０－１１３６７１号公報

上記のように、従来構成では、回収ボックスから保護テープを回収する際に剥離装置の稼働を停止させる必要があり、生産性が落ちることから改善が切望されていた。

本発明は以上の問題に鑑み、剥離装置の稼働を停止させることなく保護テープを回収することを可能とし、生産性を向上させるための新規な技術を提案するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

本発明の一態様によれば、ウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離する剥離装置であって、該ウェーハの裏面を保持する保持ユニットと、該保持ユニットで保持された該ウェーハの該表面の該保護テープを剥離して投下する剥離ユニットと、該剥離ユニットが投下した該保護テープを受ける受け部と、該保護テープが排出される排出部と、を有する排出路と、該保持ユニットと、該剥離ユニットと、該排出路の少なくとも該受け部と、が配置される装置内空間と、該装置内空間の外に配設されて該排出路の該排出部が接続される接続口を有し、該剥離ユニットで剥離された該保護テープを回収する回収ユニットと、を備えた剥離装置とする。

また、本発明の一態様によれば、該排出路は、上端側に該受け部が形成され、下端側に該排出部が形成されるスロープである、こととする。

また、本発明の一態様によれば、該排出路の上端側には、該受け部から該排出部に向かって気体を噴射する気体噴射ユニットを更に備え、該受け部に投下された該保護テープを該気体で該回収ユニットへと送る、こととする。

また、本発明の一態様によれば、該排出路は、一端側で該受け部を構成し、他端側で該排出部を構成するコンベアからなる、こととする。

また、本発明の一態様によれば、該回収ユニットには該回収ユニットから作業者が該保護テープを回収するための回収口が形成され、該回収口は、該剥離ユニットで該保護テープを剥離している最中に作業者が該回収口へのアクセスを許容するように構成される、こととする。

また、本発明の一態様によれば、剥離装置と、該ウェーハが貼着されるエキスパンドテープを拡張することで、該剥離装置によって該保護テープが剥離された該ウェーハに外力を加えるための拡張ユニットと、を有する拡張装置とする。

本発明は、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明の一態様によれば、装置内空間の外に保護テープを回収する回収ユニットを設けることにより、剥離装置の稼働を停止させることなく保護テープを回収することが可能となり、生産性を向上させることができる。

拡張装置の全体構成について説明する図。 （Ａ）は保護テープが貼着されたウェーハについて示す図。（Ｂ）はエキスパンドテープにウェーハが貼着された様子について示す図。 剥離ユニットと第二の保持ユニットの構成について示す図。 （Ａ）はエキスパンドテープにフレームを貼着する様子について示す図。（Ｂ）はウェーハユニットの構成について示す図。 （Ａ）は剥離用テープを保護テープに貼着する様子について示す図。（Ｂ）は保護テープを剥離する過程について示す図。（Ｃ）は保護テープを完全に剥離した状態について示す図。 剥離した保護テープが投下された様子について説明する図。 （Ａ）は排出路の一形態について示す図。（Ｂ）は排出路の別形態について示す図。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、ウェーハに貼着されたテープを剥離する剥離装置を備える拡張装置１の構成について示す図である。
図１に示す実施形態の拡張装置１は、
装置ベース１０と、
ウェーハを保持する保持テーブル２１を有する第一の保持ユニット２０と、
ウェーハをエキスパンドテープに貼着された状態とする貼着ユニット３０と、
第一の保持ユニット２０をＸ軸方向に移動させる移動ユニット４０と、
エキスパンドテープに貼着されたウェーハを保持する保持テーブル５１を有し、ウェーハを拡張ユニット８０へと受け渡すための第二の保持ユニット５０と、
第二の保持ユニット５０をＸ軸方向に移動させる移動ユニット６０と、第二の保持ユニット５０で保持されたウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離する剥離ユニット７０と、
ウェーハが貼着されるエキスパンドテープを拡張することで、剥離ユニット７０によって保護テープが剥離されたウェーハに外力を加えるための拡張ユニット８０と、
を有して構成される。

図６は、拡張装置１において剥離装置２を構成する箇所について示す図である。
図６に示す実施形態の剥離装置２は、
ウェーハＷの裏面を保持する第二の保持ユニット５０と、
第二の保持ユニット５０で保持されたウェーハＷの表面の保護テープＴ１を剥離して投下する剥離ユニット７０と、
剥離ユニット７０が投下した保護テープを受ける受け部９２ａと、保護テープＴ１が排出される排出部９２ｄと、を有する排出路９２と、
第二の保持ユニット５０と、剥離ユニット７０と、排出路９２の少なくとも受け部９２ａと、が配置される装置内空間１２と、
装置内空間１２の外に配設されて排出路９２の排出部９２ｄが接続される接続口９４ｄを有し、剥離ユニット７０で剥離された保護テープＴ２を回収する回収ユニット９４と、を有して構成される。

以下各部の構成について説明する。
図１に示すように、保持テーブル２１を有する第一の保持ユニット２０は、装置ベース１０のＸ軸方向（第１方向）の前側に設けられる。第一の保持ユニット２０には、図示せぬ供給装置にてウェーハが供給され、ウェーハの下面が保持テーブル２１に吸引保持される。

図２（Ａ）は、ウェーハＷの一例であり、図において下側となる第一面Ｗａには、保護テープＴ１が貼着されており、図において上側には第二面Ｗｂが現れている。なお、ウェーハは、例えば、円板状の半導体ウェーハであり、特に限定されるものではない。また、保護テープＴ１は、ウェーハＷの第一面Ｗａに形成されるデバイスＤを保護するＵＶテープや感圧テープであり、例えば、ウェーハＷの第二面Ｗｂを研削加工する際に貼着されるバックグラインドテープである。複数のテープが積層された保護テープや、テープに樹脂が積層された保護テープでもよい。

ウェーハＷには、例えば、レーザＳＤ加工（Ｓｔｅａｌｔｈ Ｄｉｃｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓｓ）によって分割予定ラインに沿った改質層や、切削ブレードを用いた切削加工によって分割予定ラインに沿った切削溝、レーザアブレーション加工で形成されるレーザ加工溝などの分割起点が形成される。

図１に示すように、第一の保持ユニット２０の下方には帯状シート（エキスパンドテープ）を連続供給して貼着するための貼着ユニット３０が設けられる。第一の保持ユニット２０の保持テーブル２１は上下反転され、図２（Ｂ）に示すように、ウェーハＷの第二面Ｗｂが帯状シート（エキスパンドテープＴ２）に貼着される。

図２（Ｂ）に示すように、帯状シートは所定の長さでカットされ、矩形のエキスパンドテープＴ２にウェーハＷが貼着された状態となる。ウェーハＷは上下反転して貼着されることで、保護テープＴ１が上側に露出した状態とされる。

図１に示される第一の保持ユニット２０と第二の保持ユニット５０を、それぞれ、移動ユニット４０と移動ユニット６０によりＸ軸方向に移動して位置合わせをし、図３に示すように、エキスパンドテープＴ２に貼着されたウェーハＷが第二の保持ユニット５０に受け渡される。図１に示す移動ユニット４０や移動ユニット６０は、それぞれ、一対のガイドレール、ボールねじ、モータを有して構成される。

図３に示すように、第二の保持ユニット５０は、エキスパンドテープＴ２を介してウェーハＷを保持するための保持テーブル５１と、エキスパンドテープＴ２の角部をそれぞれ挟持する複数の角部挟持機構５２と、を有する。

図３に示すように、第二の保持ユニット５０に保持されたウェーハＷの保護テープＴ１は、詳しくは後述するように、剥離ユニット７０によってウェーハＷから剥離される。

図１に示すように、第二の保持ユニット５０は移動ユニット６０により拡張ユニット８０の位置に移動され、エキスパンドテープＴ２（図３）の四辺が拡張ユニット８０の第一挟持ユニット８０Ａ～第４挟持ユニット８０Ｄによってそれぞれ挟持される。

拡張ユニット８０の第一挟持ユニット８０Ａ～第４挟持ユニット８０Ｄは、それぞれ、上下移動する一対の挟持機構と、挟持機構でエキスパンドテープＴ２を挟持した状態でＸ軸方向又はＹ軸方向に挟持機構を移動させる移動機構と、を備えて構成される。挟持機構はエキスパンドテープＴ２（図３）の上面、及び、下面にそれぞれ接触する複数のローラからなるローラ配列等を有して構成される。移動機構は、それぞれ、ガイドレール、ボールねじ、モータ等を有して構成される。

拡張ユニット８０によりエキスパンドテープＴ２が拡張すると、図４（Ａ）に示すように、ウェーハＷに予め形成された分割起点が破断し、ウェーハＷがチップＣに個片化されるとともに、各チップＣの間に隙間が形成される。或いは、ウェーハＷが予めチップＣに分割されている場合には、各チップの間に隙間が形成される。

図４（Ａ）に示すように、拡張ユニット８０（図１）によりエキスパンドテープＴ２を拡張した状態で、フレーム搬送機構１６０（図１）にて環状フレームＦを搬送し、環状フレームＦをエキスパンドテープＴ２に貼着する。次いで、図３に示すように、第二の保持ユニット５０に設けたカッター５８にてエキスパンドテープＴ２を環状フレームＦ（図４（Ａ））に沿って切断する。

これにより、図４（Ｂ）に示すように、各チップＣは間隔を開けてエキスパンドテープＴ２に貼着された状態が維持され、環状フレームＦと一体となったウェーハユニットＵが形成される。ウェーハユニットＵは、後の工程であるピックアップ工程へと搬送され、ピックアップ工程にて各チップＣがピックアップされる。

次に、剥離ユニット７０に関する構成について説明する。
図３に示すように、剥離ユニット７０は、所定の長さで剥離用テープＴ３を切断するテープ切断部７１と、ロール状に巻回されたテープロールＲから剥離用テープＴ３を供給する剥離用テープ供給部７２と、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３の一端を挟持する挟持部７３と、剥離用テープＴ３を保護テープＴ１に押し付けて貼着するテープ押付部７４と、テープ押付部７４及び挟持部７３をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向駆動部７６と、を有して構成される。

Ｘ軸方向駆動部７６は、ボールネジ７６ａと、ボールネジ７６ａと平行に配設された一対のガイドレール７６ｂと、ボールネジ７６ａを回転させるモータ７６ｃと、内部のナットでボールネジ７６ａに螺合するとともにガイドレール７６ｂに対し摺動する可動板７６ｄと、を備える。モータ７６ｃがボールネジ７６ａを回転させると、可動板７６ｄがガイドレール７６ｂにガイドされてＸ軸方向に往復移動し、可動板７６ｄに取り付けられたテープ押付部７４及び挟持部７３がＸ軸方向に往復移動する。

剥離用テープ供給部７２は、テープロールＲが装着された巻筒７２ａと、テープロールＲから引き出された剥離用テープＴ３を案内する複数のガイドローラ７２ｂ，７２ｂと、を有して構成される。ガイドローラ７２ｂ，７２ｂに案内された剥離用テープＴ３は、挟持部７３に向けて送り出される。

剥離用テープＴ３は、例えば、保護テープＴ１の外周部分に熱を加えて接着される接着剤層と基材とからなる２層構造のヒートシールである。基材の材質は、例えばポリエチレンテレフタレート等の樹脂であり、接着剤層は、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂で構成される。剥離用テープＴ３の保護テープＴ１に対する粘着力は、保護テープＴ１のウェーハＷに対する粘着力よりも強く設定される。

挟持部７３は、可動板７６ｄに付設される支持台７３ａと、支持台７３ａによって支持されるシリンダ機構７３ｂと、シリンダ機構７３ｂによって上下動可能な挟持爪部７３ｃと、を備える。挟持爪部７３ｃは、側面視略Ｌ字状の固定爪７３ｄと、固定爪７３ｄに対して接近又は離間可能な可動爪７３ｅと、を有して構成され、固定爪７３ｄに対して可動爪７３ｅを接近、又は、離間させることにより、剥離用テープＴ３の一端を挟持、又は、挟持の解除できるように構成される。

テープ押付部７４は、ガイドローラ７２ｂと挟持部７３との間に配設される。テープ押付部７４は、可動板７６ｄに付設される支持台７４ａと、シリンダ機構７４ｂと、シリンダ機構７４ｂによって上下動する押付板７４ｃと、を備えている。

押付板７４ｃには電流を流すことで発熱する図示せぬヒータが取り付けられる。シリンダ機構７４ｂによって押付板７４ｃを下降させ、保護テープＴ１の外周部分に剥離用テープＴ３を押し付けて貼着する。この際、図示せぬヒータで押付板７４ｃを加熱することで、保護テープＴ１に対して押し付けた剥離用テープＴ３を部分的に熱溶着させる。このようにして、剥離用テープＴ３を保護テープＴ１に対して良好に貼着することができる。

テープ切断部７１は、ガイドローラ７２ｂとテープ押付部７４の間に配設される。テープ切断部７１は、剥離用テープＴ３の下面が載置される載置台７１ａと、カッター７１ｂと、カッター７１ｂをＺ軸方向、及び、Ｙ軸方向に移動させるカッター駆動部７１ｃと、を有して構成される。

第二の保持ユニット５０の保持テーブル５１は、移動ユニット６０によってＸ軸方向に移動する移動台５５に載置される。移動ユニット６０は、ボールネジ６０ａと、ボールネジ６０ａと平行に配設された一対のガイドレール６０ｂと、ボールネジ６０ａを回転させる図示せぬモータと、を有して構成される。移動台５５は、内部のナットがボールネジ６０ａに螺合し、ガイドレール６０ｂに対し摺動する構成としており、ボールネジ６０ａの回転に伴って移動台５５がＸ軸方向に移動する。

図５（Ａ）に示すように、第二の保持ユニット５０の保持テーブル５１は、枠体５１ｂと、枠体５１ｂ内に収められる円板状のポーラス部材５１ｃと、を有する。ポーラス部材５１ｃの上面は、ウェーハＷを保持する保持面５１ａとして構成される。枠体５１ｂの内部は図示せぬ吸引源に接続されており、ポーラス部材５１ｃの保持面５１ａに負圧が生じることで、ウェーハＷがエキスパンドテープＴ２を介して吸引保持される。

枠体５１ｂとベース５１ｄとの間には傾き調整機構５６が配設される。傾き調整機構５６は、シリンダ５６ａと、圧縮バネ５６ｂと、を有して構成される。圧縮バネ５６ｂの伸縮動作によってベース５１ｄに対して枠体５１ｂが揺動し、保持面５１ａにウェーハＷを受け渡す際の衝撃を吸収することができる。

角部挟持機構５２は、第二の保持ユニット５０の周囲において等間隔に４箇所に配設される。角部挟持機構５２は、矩形のエキスパンドテープＴ２の角部が載置される載置面５２ａを有する角部載置部５２ｂと、角部載置部５２ｂに載置されたエキスパンドテープＴ２の角部をクランプするクランプ部５２ｃと、クランプ部５２ｃを開閉させる開閉機構と、を備える。

開閉機構は、ピストンロッド５２ｄ，５２ｅと、ピストンロッド５２ｄの一端に連結されたバネ５２ｆと、ピストンロッド５２ｅの一端に接続されたシリンダ５２ｇと、ピストンロッド５２ｄ，５２ｅの他端において支点となる軸部５２ｊ，５２ｋと、を有する。クランプ部５２ｃの上部側は、バネ５２ｆによって載置面５２ａに接近する方向に付勢され、エキスパンドテープＴ２を挟持することができる。

クランプ部５２ｃを開く場合は、ピストンロッド５２ｅがシリンダ５２ｇにおいて内側に移動することで、軸部５２ｊ，５２ｋを支点にしてクランプ部５２ｃを回転させて載置面５２ａから離反する方向にクランプ部５２ｃが開かれる。これにより、エキスパンドテープＴ２を載置することや、エキスパンドテープＴ２の挟持を解除できる。

以上の構成とする剥離ユニット７０により、図５（Ａ）乃至図５（Ｃ）に示すようにして、保護テープＴ１の剥離が行われる。

図５（Ａ）に示すように、挟持爪部７３ｃをＺ軸方向の所定の高さに位置付けて剥離用テープＴ３の端部を挟持しつつ、挟持爪部７３ｃをＸ軸方向に移動させることで、所定の長さの剥離用テープＴ３を引き出して、剥離用テープＴ３の接着面を保護テープＴ１の上面と対向させる。次いで、押付板７４ｃを下降させて、保護テープＴ１の外周部分に剥離用テープＴ３を押し付けるとともに、押付板７４ｃを加熱して剥離用テープＴ３を部分的に熱溶着させる。

次いで、図５（Ｂ）に示すように、カッター７１ｂにより剥離用テープＴ３を切断するとともに、保持テーブル５１をＸ軸方向に移動させることで、剥離用テープＴ３で引っ張るようにして保護テープＴ１をウェーハＷの表面から剥離させる。この際、挟持爪部７３ｃを保持テーブル５１と反対方向に移動させることとしてもよい。

次いで、図５（Ｃ）に示すように、保護テープＴ１をウェーハＷから完全に剥離させた後、挟持爪部７３ｃをＺ軸方向に移動させて保護テープＴ１を保持テーブル５１から遠ざけた位置に移動させる。

そして、図６に示すように、排出路９２の上方となる位置に挟持爪部７３ｃを移動させつつ、挟持爪部７３ｃによる剥離用テープＴ３の挟持を解除することにより、剥離用テープＴ３と一体となった保護テープＴ１が排出路９２へと投下される。この際、保持テーブル５１（保持ユニット５０）は、平面視において排出路９２と重ならない位置に退避される。

次に、剥離された保護テープＴ１を回収するための構成について説明する。
図６に示すように、装置ベース１０において、剥離ユニット７０の下方となる位置には、上下方向に貫通する矩形の開口部１１が形成されている。開口部１１には、剥離ユニット７０の挟持部７３が投下した保護テープＴ１を受け取るための排出路９２が設けられ、保護テープＴ１が排出路９２を通じて回収ユニット９４へと排出される。

排出路９２は、挟持部７３の移動経路の下方に位置する受け部９２ａを有し、挟持部７３による挟持が解除されて投下された保護テープＴ１を受け部９２ａによって受け取る。排出路９２は、Ｙ軸方向において傾斜するスロープを構成する板部材にて構成されており、上端側に受け部９２ａが形成され、下端側に排出部９２ｄが形成される。受け部９２ａに投下された保護テープＴ１は、排出路９２の傾斜により排出部９２ｄへと滑落する。

排出路９２のスロープの周囲には縦壁部９２ｂが立設されており、保護テープＴ１が滑落する際に、排出路９２の側方に脱落することがなく、確実に排出部９２ｄへと案内される。

排出路９２の上端側には、受け部９２ａから排出部９２ｄに向かって気体を噴射する気体噴射ユニット９２ｃが設けられる。保護テープＴ１の上方から気体を押し当てることで、保護テープＴ１を回収ユニット９４へと移動させることができる。気体噴射ユニット９２ｃは、複数のノズルを配列してなるノズル機構により構成することができる。気体は、例えば、保護テープＴ１を滑落させるために十分な所定圧力を呈する乾燥空気とし、排出路９２上に保護テープＴ１が停留することが防がれる。これにより、保護テープＴ１を回収ユニット９４へと確実に排出できる。

排出路９２は、図６及び図７（Ａ）に示すように直線状のスロープにより構成されることとする他、図７（Ｂ）に示すように受け部９２ａの面積を広く確保した略Ｌ字のスロープに構成されることとしてもよい。

さらに、排出路９２は、板部材からなるスロープにて構成することとする他、搬送ベルトや、複数のローラをモータで駆動するなどの駆動式コンベアや、遊転する複数のローラを並べてなるコンベアであってもよい。駆動式コンベアの場合には、傾斜を付けることなく、水平に配置されることとしてもよい。

図６に示すように、拡張装置１は、外装パネル１４や、装置ベース１０の壁面１０ａによって外装面が構成されており、この外装面の内側に装置内空間１２が構成される。装置内空間１２の内部には、第二の保持ユニット５０と、剥離ユニット７０と、排出路９２の少なくとも受け部９２ａと、が配置される。

装置内空間１２の内部では、第二の保持ユニット５０等の各種機構が作動するものであり、作業者は装置内空間１２の内部にアクセスして作業をする際には、インターロック等により各種機構を停止して安全を確保した上で、外装パネル１４等に設けた図示せぬ作業扉が開けられる。

装置内空間１２の外側となる装置外部には、排出路９２の排出部９２ｄと接続される接続口９４ｄを有し、剥離ユニット７０で剥離された保護テープＴ１を回収する回収ユニット９４が設けられる。

回収ユニット９４は、直方体形状の回収ボックス９４ａにて構成されており、その前面には、作業者が保護テープＴ１を回収するための回収口９４ｂが形成されている。

回収ユニット９４には、回収口９４ｂを開閉するための開閉扉９４ｃが設けられている。
開閉扉９４ｃは、装置の稼働を停止させることなく、装置の稼働中においても作業者が任意に開閉できるように構成される。このことは、回収ユニット９４が装置外部に配置されており、開閉扉９４ｃにインターロック等を設けなくても安全が確保できることにより実現ができる。

以上の構成により、例えば、剥離ユニット７０で保護テープＴ１を剥離している最中に作業者が回収口９４ｂにアクセスすることが許容され、装置の稼働を停止させることなく、保護テープＴ１の回収が可能となる。

このようにして、剥離装置１の稼働を停止させることなく保護テープＴ１を回収することが可能となり、生産性を向上させることができる。

１ 拡張装置
２ 剥離装置
１０ 装置ベース
１０ａ 壁面
１１ 開口部
１２ 装置内空間
１４ 外装パネル
２０ 第一の保持ユニット
２１ 保持テーブル
３０ 貼着ユニット
４０ 移動ユニット
５０ 第二の保持ユニット
６０ 移動ユニット
７０ 剥離ユニット
７１ テープ切断部
７２ 剥離用テープ供給部
７３ 挟持部
７４ テープ押付部
７６ 軸方向駆動部
８０ 拡張ユニット
９２ 排出路
９２ａ 受け部
９２ｂ 縦壁部
９２ｃ 気体噴射ユニット
９２ｄ 排出部
９４ 回収ユニット
９４ａ 回収ボックス
９４ｂ 回収口
９４ｃ 開閉扉
９４ｄ 接続口
Ｃ チップ
Ｄ デバイス
Ｆ 環状フレーム
Ｒ テープロール
Ｔ１ 保護テープ
Ｔ２ エキスパンドテープ
Ｔ３ 剥離用テープ
Ｕ ウェーハユニット
Ｗ ウェーハ
Ｗａ 第一面
Ｗｂ 第二面

Claims (6)

1. ウェーハの表面に貼着された保護テープを剥離する剥離装置であって、
   該ウェーハの裏面を保持する保持ユニットと、
   該保持ユニットで保持された該ウェーハの該表面の該保護テープを剥離して投下する剥離ユニットと、
   該剥離ユニットが投下した該保護テープを受ける受け部と、該保護テープが排出される排出部と、を有する排出路と、
   該保持ユニットと、該剥離ユニットと、該排出路の少なくとも該受け部と、が配置される装置内空間と、
   該装置内空間の外に配設されて該排出路の該排出部が接続される接続口を有し、該剥離ユニットで剥離された該保護テープを回収する回収ユニットと、
   を備えた剥離装置。
2. 該排出路は、
   上端側に該受け部が形成され、下端側に該排出部が形成されるスロープである、
   ことを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
3. 該排出路の上端側には、該受け部から該排出部に向かって気体を噴射する気体噴射ユニットを更に備え、
   該受け部に投下された該保護テープを該気体で該回収ユニットへと送る、
   ことを特徴とする請求項２に記載の剥離装置。
4. 該排出路は、
   一端側で該受け部を構成し、他端側で該排出部を構成するコンベアからなる、
   ことを特徴とする請求項１に記載の剥離装置。
5. 該回収ユニットには該回収ユニットから作業者が該保護テープを回収するための回収口が形成され、
   該回収口は、該剥離ユニットで該保護テープを剥離している最中に作業者が該回収口へのアクセスを許容するように構成される、
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の剥離装置。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の剥離装置と、
   該ウェーハが貼着されるエキスパンドテープを拡張することで、該剥離装置によって該保護テープが剥離された該ウェーハに外力を加えるための拡張ユニットと、
   を有する拡張装置。

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