JP2000068293A - ウェハ転写装置 - Google Patents

ウェハ転写装置

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JP2000068293A JP10231608A JP23160898A JP2000068293A JP 2000068293 A JP2000068293 A JP 2000068293A JP 10231608 A JP10231608 A JP 10231608A JP 23160898 A JP23160898 A JP 23160898A JP 2000068293 A JP2000068293 A JP 2000068293A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 薄厚ウェハの搬送による割れ、装置間でのキ
ャリアなどによる搬送により損傷、割れ、キャリア内か
らの取り出しによるウェハ割れを防止する。 【解決手段】 位置決めユニット４００において所定の
基準位置に位置決めされた保護テープが貼着されたウェ
ハを、転写テープマウントテーブル６０２上に載置し
て、リングフレームの上面に転写テープをリングフレー
ムとウェハ裏面に同時に貼着してリングフレームと一体
化する転写テープマウントユニットと、転写テープマウ
ントユニットにおいてウェハ裏面に転写テープが貼着さ
れたリングフレームと一体となったウェハを、保護テー
プ剥がしテーブル上に載置して、剥離テープの一端をウ
ェハ表面の保護テープの一端に接着して、剥離テープを
引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離す
る保護テープ剥離ユニット８００とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ等の
小型電子部品の製造工程において、ダイシングおよび裏
面研削を行った保護テープが貼られたウェハを、リング
フレームおよび転写テープに転写（貼り替え）し、保護
テープを剥離するウェハ転写装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば、シリコンなどの半導
体ウェハの製造方法は、大径の円盤状に製造され、その
表面に回路パターンが形成され、その表面を保護テープ
で保護し、その裏面を研削した後、表面の保護テープを
剥離する。そして、その半導体ウェハを、粘着シートを
介してリングフレームに貼着した後、ダイシングカッタ
ーにて賽の目状に多数のチップに切断分離（ダイシン
グ）され、この状態で次の工程である洗浄、乾燥、ダイ
ボンディングなどの各工程に移される。
【０００３】しかしながら、最近では、ＩＣカードなど
半導体チップの厚さがますます薄いものが要求されてお
り、従来の３００μｍ、４００μｍから５０μｍ程度ま
で薄い半導体チップの需要が増加している。しかしなが
ら、この裏面研削方法で極薄厚ウェハを製作する場合、
保護テープ剥離、ウェハマウント、ダイシング加工時な
どの工程において、ウェハの反りによる搬送不具合、ウ
ェハ割れが発生するおそれがある。
【０００４】そのため、特開平５−３３５４１１号公報
に開示されるように、「先ダイシング」と呼ばれる方法
が提案されている。この方法は、ウェハの回路が形成さ
れた表面よりウェハ厚さ方向に所定深さまでダイシング
して、賽の目状に有底の溝を形成し、ウェハ表面に保護
テープを貼着した後、ウェハ裏面を有底の溝に至るまで
研削して多数のチップに分割する。そして、保護テープ
が貼着されたウェハをリングフレームに貼着した後、次
の工程である洗浄、乾燥、ダイボンディングなどを行う
方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の方法においても、保護テープの剥離と、ウェハへの転
写テープ貼りを別々の装置で行っているのが現状であ
る。この場合、装置間でウェハを搬送する必要がある
が、多段のウェハ収納部が形成されたウェハキャリアな
どの容器に収納して次工程の装置に搬送するのが一般的
に行われている。
【０００６】しかしながら、昨今ではウェハの厚さが薄
くなり、逆にウェハの直径が大きくなっているのが現状
であり、ウェハの直径と厚さの比によっては、ウェハが
キャリア中でその自重で中央部が沈んで変形してしま
い、キャリア内からの自動取り出し収納が困難となり、
たとえ出来たとしても、キャリアに接触して、破損損傷
するおそれがあった。
【０００７】また、前記の先ダイシング法を行った場
合、ウェハは多数のチップに分割され、柔軟なフィルム
からなる保護テープで固定されている状態であるため、
取り扱いの際に隣接するチップどうしが接触し、破損す
るおそれがあった。
【０００８】本発明は、このような実情を考慮して、先
ダイシングにて多数のチップに分割され保護テープが貼
着されたウェハを、連続的かつ自動的に転写テープ、リ
ングフレームに転写するとともに、保護テープを剥離し
てキャリアに収納可能なウェハ転写装置を提供し、それ
により、薄厚ウェハ（チップ）の搬送による割れ、装置
間でのキャリアなどによる搬送により損傷、割れ、キャ
リア内からの取り出しによるウェハ（チップ）割れを防
止することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前述した従来
技術の課題および目的を達成するために発明なされたも
のであって、本発明のウェハ転写装置は、多数のチップ
に分割され、表面に保護テープが貼着されたウェハをリ
ングフレームに転写テープを介して貼付するウェハ転写
装置であって、前記保護テープが貼着されたウェハを位
置決めテーブル上に載置して、縦横方向及び回転方向に
位置調整して基準位置にウェハを位置決めする位置決め
ユニットと、前記位置決めユニットにおいて所定の基準
位置に位置決めされた保護テープが貼着されたウェハ
を、転写テープマウントテーブル上に載置して、転写テ
ープを該ウェハの外周部に載置されたリングフレームと
ウェハ裏面に同時に貼着してリングフレームと一体化す
る転写テープマウントユニットと、前記転写テープマウ
ントユニットにおいてウェハ裏面に転写テープが貼着さ
れたリングフレームと一体となったウェハを、保護テー
プ剥がしテーブル上に載置して、剥離テープの一端をウ
ェハ表面側の保護テープの一端に接着して、剥離テープ
を引っ張ることにより保護テープをウェハ表面より剥離
する保護テープ剥離ユニットとを備えることを特徴とす
る。
【００１０】このように構成することによって、ウェハ
のチップ化されたウェハの分割線を認識し、縦横方向
（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して基
準位置にウェハを位置決めすることにより、ダイボンデ
ィング工程の際の正確なダイボンディングを実施でき
る。また、これらの転写作業、保護テープ剥離作業をウ
ェハキャリアを用いて搬送することがなく連続的に実施
できるので、ウェハの破損、損傷、割れなどが発生する
ことがない。
【００１１】また、本発明のウェハ転写装置では、前記
保護テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する保護テー
プであって、前記保護テープ剥離ユニットにおいてウェ
ハ表面より保護テープを剥離する前に、保護テープに対
して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたこと
を特徴とする。
【００１２】また、本発明では、前記紫外線照射ユニッ
トは、ウェハが転写テープに貼付される前に設けられて
いることを特徴とする。これによって、保護テープの粘
着剤を放射線硬化型の粘着剤を用いて、これに紫外線を
照射させることによって、保護テープ剥離工程におい
て、保護テープの粘着力を弱めて、チップに分割された
ウェハから容易に剥離することができる。
【００１３】さらに、本発明のウェハの転写装置では、
前記転写テープが、紫外線硬化型の粘着剤を有する転写
テープであって、ウェハがリングフレームに転写テープ
を介して貼付された後に、転写テープに対して紫外線を
照射する紫外線照射ユニットを設けたことを特徴とす
る。
【００１４】これによって、転写テープの粘着剤を放射
線硬化型の粘着剤を用いて、これに紫外線を照射させる
ことによって、ダイボンディング工程において、転写シ
ートからチップをピックアップする際にピックアップ時
の粘着力を弱めてピックアップを容易にすることができ
る。
【００１５】さらに、本発明のウェハ転写装置は、前記
保護テープ剥離ユニットにおいてウェハ表面より保護テ
ープを剥離したリングフレームと一体なったウェハを、
フレームカセット内に収納する収納ユニットを備えるこ
とを特徴とする。
【００１６】また、本発明では、前記保護テープ剥離ユ
ニットにおいて用いる剥離テープが熱融着テープであっ
て、剥離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一
端に熱融着により接着して、剥離テープを引っ張ること
により保護テープをウェハ表面より剥離するように構成
したことを特徴とする。
【００１７】これにより、保護テープ剥離の際に、剥離
テープがリングフレーム用の転写テープと接着しないの
で、剥離作業性が向上する。また、本発明では、前記各
ユニット間でウェハを搬送する搬送手段が、ウェハ全面
を吸着して搬送するように構成されていることを特徴と
する。
【００１８】このように、全面吸着にてウェハを吸着保
持することによって、ウェハへ局部的な負荷がかかるの
を防止し、ウェハの破損、割れを防止することができ
る。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のウェハ転写装置の
実施の形態（実施例）について、添付図面に基づいて説
明する。
【００２０】図１は、本発明のウェハ転写装置の実施例
の装置全体の上面図、図２は、図１のウェハ転写の正面
図、図３は、図１のウェハ転写装置の右側面図である。
図１において、１０は全体で本発明のウェハ転写装置を
示している。ウェハ転写装置１０は、前述した先ダイシ
ング方法によって、ウェハの回路が形成された表面より
ウェハ厚さ方向に所定深さまでダイシングして、賽の目
状に有底の溝を形成し、ウェハ表面に保護テープを貼着
した後、ウェハ裏面を有底の溝に至るまで研削して多数
のチップに分割した保護テープが貼着されたウェハ（以
下、多数のチップに分割され、保護テープでウェハ形状
に固定された形態を「ウェハＷ」と言う）を取り扱うよ
うになっている。
【００２１】そして、別途図示しない裏面研削装置によ
って、裏面研削後の上記のように処理された保護テープ
が貼着されたウェハＷは、搬送アーム１２によって、ウ
ェハ転写装置１０の基台１４に設けられたウェハ受け渡
しテーブル１００に、その保護テープＰ側が下面となる
ように移載される。この受け渡しテーブル１００は、図
２に示したように、図示しないモータの回転がベルトに
よってプーリ１０２に伝達され、プーリ１０２に連結さ
れたボールネジ１０４を回転させることによって、ボー
ルネジ１０４に接続された受け渡しテーブル基台１０６
を、ガイドレール１０８に沿って上下動可能なように構
成されている。このように上下動可能に構成することに
よって、搬送アーム１２の図示しない吸着部に吸着保持
されたウェハＷを、テーブル基台１０６に受け渡す際
に、搬送アーム１２の吸着部の上下動に同期して受け渡
しテーブル基台１０６を上下動させることによって、ウ
ェハＷを破損しないようになっている。
【００２２】なお、受け渡しテーブル１００のテーブル
基台１０６には、後述する吸着搬送部材２１６の吸着部
２１４と同様に、吸着部材で構成してもよい。さらに、
ウェハＷの受け渡しテーブル１００を設ける代わりに、
ウェハＷの収納容器を載置可能な載置台とし、裏面研削
工程で処理されたウェハＷを収納容器に収納して、これ
を用いてバッチ毎にウェハＷを取り出して処理できるよ
うにしても良い。
【００２３】受け渡しテーブル１００に移載されたウェ
ハＷは、ウェハ搬送ユニット２００にて、紫外線（Ｕ
Ｖ）照射ユニット３００へと搬送される。ウェハ搬送ユ
ニット２００は、図４および図５に示したように、駆動
モータ２０２の駆動軸の回転が、駆動軸に連結されたプ
ーリ２０４と回転軸２０６に固定されたプーリ２０８に
掛け渡されたベルト２０９を介して、回転軸２０６に伝
達されて、この回転軸２０６に連結された搬送アーム２
１０が、図４の一点鎖線に示したように回転軸２０６を
中心として円弧状に回動するようになっている。搬送ア
ーム２１０の端部には、吸着搬送部２１２が設けられて
おり、この吸着搬送部２１２の下端に、円盤状の吸着部
２１４が下面に形成された吸着搬送部材２１６が、吸着
搬送部２１２にスプリング（図示せず）を介して、上下
動可能なように構成されており、吸着保持の際の衝撃を
緩和するように接続されている。なお、この吸着搬送部
材２１６の吸着部２１４にも、例えばポーラスなセラミ
ックよりなる吸着部材２１８が設けられており、これを
図示しない真空ポンプなどの真空源に接続して負圧にす
ることによって、ウェハＷのチップ側全面を吸着部材２
１８を介して全面で吸着保持して固定するようになって
いる。これによって、ウェハＷのチップが破損損傷しな
いようになっている。
【００２４】従って、ウェハ搬送ユニット２００は、駆
動モータ２０２を駆動させることによって、搬送アーム
２１０を回転軸２０６を中心とし回動させて、受け渡し
テーブル１００のテーブル基台１０６の直上に、吸着搬
送部材２１６の吸着部２１４を位置させて、ウェハＷの
チップ側をこの吸着パッド部材２１８にて全面で吸着保
持するようになっている。そして、この状態で、駆動モ
ータ２０２を駆動させることによって、搬送アーム２１
０を回転軸２０６を中心として回動させて、紫外線照射
ユニット３００へと搬送するようになっている。
【００２５】紫外線照射ユニット３００は、図４に示し
たように、ＵＶランプ管３０２を有するＵＶランプハウ
ス３０４がウェハ搬送アーム２１０の下部に設けられて
おり、ＵＶランプ管３０４からの紫外線が、反射鏡３０
６によって、上方に照射されるようになっている。
【００２６】すなわち、駆動モータ２０２を駆動させる
ことによって、搬送アーム２１０を回転軸２０６を中心
として回動させて、紫外線照射ユニット３００上を通過
させて位置決めユニット４００へと搬送される間に、ウ
ェハ搬送ユニット２００の吸着搬送部材２１６の吸着部
２１４に吸着保持されたウェハＷの下面、すなわち、そ
の保護テープＰ側にＵＶランプ管３０４からの紫外線が
照射されるようになっている。
【００２７】これは、多数のチップに分離したウェハＷ
を貼着保持する保護テープＰの粘着剤に、紫外線硬化型
の粘着剤を用いた場合に、これに紫外線を照射させるこ
とによって、保護テープを剥離する際に接着力が低減
し、多数のチップから保護テープを容易に剥離できるよ
うにするためである。
【００２８】このように、紫外線照射ユニット３００を
通過する間に紫外線が照射されたウェハＷは、ウェハ搬
送ユニット２００の吸着搬送部材２１６の吸着部２１４
に吸着保持された状態で、位置決めユニット４００へと
搬送され、そのチップ側の面が上方に位置するように位
置決めテーブル４０１上に受け渡されて載置される。
【００２９】位置決めユニット４００は、図６〜図８に
示したように、ウェハ転写装置１０の基台１４上に固定
された前後方向（Ｙ軸方向）に設けられたＹ軸方向レー
ル４０２と、このＹ軸方向レール４０２と直行するよう
に左右方向（Ｘ軸方向）に設けられ、Ｙ軸方向レール４
０２上を前後方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成された
Ｘ軸方向レール４０４とを備えている。このＸ軸方向レ
ール４０４上には、Ｘ軸方向レール４０４上を左右方向
（Ｘ軸方向）に移動可能に構成された位置決めテーブル
４０１を備えている。
【００３０】すなわち、Ｙ軸方向レール４０２の前端側
には駆動モータ４０６が備えれらており、この駆動モー
タ４０６の回転によって、駆動モータ４０６の駆動軸の
プーリ４０８とＹ軸方向レール４０２の後端側に設けら
れたプーリ４１０との間に掛け渡された駆動ベルト４１
２が前後方向（Ｙ軸方向）に移動する。これに伴って、
駆動ベルト４１２に固定されるとともにＸ軸方向レール
に連結された案内部材（図示せず）を介して、Ｘ軸方向
レール４０４とその上に設けられた位置決めテーブル４
０１が、Ｙ軸方向に移動するように構成されている。
【００３１】一方、Ｘ軸方向レール４０４の左端側には
駆動モータ４１４が備えれらており、この駆動モータ４
１４の回転によって、駆動モータ４１４のプーリ４１６
とＸ軸方向レール４０４の右端側に設けられたプーリ４
１８との間に掛け渡された駆動ベルト４２０が左右方向
（Ｘ軸方向）に移動する。これに伴って、駆動ベルト４
２０に固定されるとともに位置決めテーブル４０１に連
結された案内部材（図示せず）を介して、位置決めテー
ブル４０１が、Ｘ軸方向に移動するように構成されてい
る。
【００３２】また、位置決めテーブル４０１には、位置
きめテーブル本体４２２と、この位置決めテーブル本体
４２２に、ベアリング４２４によって回転軸４２６を中
心に回転可能に装着された位置決めテーブル台部４２８
とを備えている。位置決めテーブル本体４２２に設けら
れた駆動モータ４３０の回転が、駆動モータ４３０の駆
動軸のプーリ４３２と回転軸４２６に設けられたプーリ
４３４との間に掛け渡された駆動ベルト４３６を介し
て、位置決めテーブル台部４２８に伝達されて、回転軸
４２６を中心に位置決めテーブル台部４２８が回転する
ように構成されている。
【００３３】なお、この位置決めテーブル台部４２８の
上面には、円盤形状のウェハ収容部４３８が設けられて
おり、このウェハ収容部４３８にも、前述したウェハ搬
送ユニット２００と同様に全面吸着可能なポーラスな吸
着部材４４０が設けられており、これを図示しない真空
ポンプなどの真空源に接続して負圧にすることによっ
て、ウェハＷの保護テープ側全体を全面で吸着保持して
固定するようになっている。
【００３４】このように構成される位置決めユニット４
００では、紫外線照射ユニット３００上を通過する間に
紫外線が照射されたウェハＷが、ウェハ搬送ユニット２
００の吸着搬送部材２１６の吸着部２１４に吸着保持さ
れた状態で、位置決めユニット４００へと搬送され、そ
のチップ側の面が上方に位置するように位置決めテーブ
ル４０１の位置決めテーブル台部４２８のウェハ収容部
４３８に上に受け渡されて載置され、吸着保持される。
【００３５】この状態で、位置決めユニット４００の上
方に配置された図示しない画像認識カメラを用いて、ウ
ェハＷのチップ化されたウェハの分割線に沿って縦横方
向（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して
基準位置にウェハを位置決めして、ダイボンディング工
程の際の正確なダイボンディングを実施できるようにし
ている。なお、この位置調整方法としては、ウェハＷの
オリエンテーションフラットまたはノッチなどの位置を
認識して、位置調整を行うようにすることも可能であ
る。
【００３６】すなわち、Ｘ軸方向レール４０４上を位置
決めテーブル４０１左右方向（Ｘ軸方向）に移動して、
ウェハのＸ軸方向位置を決めるとともに、Ｙ軸方向レー
ル４０２上を前後方向（Ｙ軸方向）にＸ軸方向レール４
０４とその上に設けられた位置決めテーブル４０１を移
動することによって、ウェハのＹ軸方向位置を決定す
る。そして、回転軸４２６を中心に位置決めテーブル台
部４２８を回転させることによって、ウェハの回転方向
位置を決定して基準位置にウェハを位置決めするように
なっている。
【００３７】このように位置決めユニット４００の位置
決めテーブル４０１で位置決めがされたウェハＷは、ウ
ェハ搬送ユニット５００を介して搬送されて、そのチッ
プ側の面が上方に位置するように転写テープマウントユ
ニット６００の転写テープマウントテーブル６０２上に
移載されるようになっている。
【００３８】ウェハ搬送ユニット５００は、図９〜図１
０に示したように、ウェハ転写装置１０の基台１４上に
ブラケット５０２によって固定され、左右方向に位置決
めユニット４００から転写テープマウントユニット６０
０に至るように設けられたガイドレール５０４を備えて
いる。そして、ガイドレール５０４の側方には、モータ
５０５に接続された図示しないタイミングベルトによる
駆動によって、このガイドレール５０４に沿って移動可
能な搬送案内部材５０６が装着されている。この搬送案
内部材５０６には、その左端に搬送アーム５０８が設け
られており、搬送アーム５０８には、吸着搬送部材５１
０がスプリング（図示せず）を介して、搬送アーム５０
８に対して上下動可能なように構成されており、吸着保
持の際の衝撃を緩和するようになっている。なお、この
吸着搬送部材５１０の下端には、円盤状の吸着部５１２
が下面に形成されており、この吸着部５１２にも、全面
吸着可能なポーラスな吸着部材５１４が設けられてお
り、負圧によりウェハＷのチップ側の全面を吸着保持で
きるようになっている。
【００３９】このように構成されるウェハ搬送ユニット
５００では、搬送案内部材５０６をガイドレール５０４
に沿って、位置決めユニット４００の位置決めテーブル
４０１のウェハ収容部４３８の直上まで移動させて（図
９の右側の位置）、位置決めテーブル４０１のウェハ収
容部４３８の負圧を解除して吸着保持を解除するととも
に、位置決めテーブル４０１で位置決めがされたウェハ
Ｗを、吸着搬送部材５１０の下端に形成された吸着部５
１２にて負圧によって吸着保持するようになっている。
そして、この状態で、搬送案内部材５０６をガイドレー
ル５０４に沿って転写テープマウントユニット６００ま
で移動させて（図９の左側の位置）、ウェハＷを転写テ
ープマウントユニット６００の転写テープマウントテー
ブル６０２上に移載するように構成されている。
【００４０】転写テープマウントユニット６００には、
図１に示したように、転写テープマウントテーブル６０
２が設けられており、その前方に、多数枚のリングフレ
ームを収容したリングフレームストッカー６０４が設け
られている。リングフレームストッカー６０４は、多数
枚のリングフレームＲが積載収容されており、上下方向
に設けられたガイドレール（図示せず）に沿って、上下
方向に摺動可能となっている。
【００４１】また、図１に示したように、リングフレー
ムストッカ６０４の上方には、転写テープマウントテー
ブル６０２からリングフレームストッカー６０４まで前
後方向にガイドレール６２４が設けられている。このガ
イドレール６２４に沿って、リング搬送アーム６２６が
移動可能に構成されている。なお、リング搬送アーム６
２６には、図示しないが、先端に真空パッドを備えた真
空吸着部が設けられている。
【００４２】従って、位置決めテーブル４０１で位置決
めがされたウェハＷを、ウェハ搬送ユニット５００によ
って、転写テープマウントユニット６００の転写テープ
マウントテーブル６０２上にチップ側の面が上方に位置
するように移載した後、リング搬送アーム６２６をガイ
ドシリンダに沿ってリングフレームストッカー６０４の
直上まで移動させて、ストッカー６０４をガイドレール
に沿って上昇させて、最上部に位置するリングフレーム
Ｒをリング搬送アーム６２６にて吸着保持する。その
後、ストッカー部材６０４を下降させるとともに、リン
グ搬送アーム６２６をガイドレール６２４に沿って転写
テープマウントテーブル６０２の直上まで移動して、転
写テープマウントテーブル６０２上に載置されたウェハ
Ｗの外周にリングフレームＲを移載するようになってい
る。
【００４３】なお、転写テープマウントテーブル６０２
の内側に吸着テーブル６０３が設けられており、その上
面にも、全面吸着可能なポーラスな吸着部材が設けられ
ており、負圧によりウェハＷの保護テープＰ側の全面を
吸着保持できるようになっている。
【００４４】このように、吸着テーブル６０３の上面
に、ウェハＷとその外周にリングフレームＲを吸着保持
した後、これらの上面に予めリングフレームＲの形状に
プリカットされた転写テープＴが、転写テープ繰り出し
ユニット６５０によって貼着される。
【００４５】転写テープ繰り出しユニット６５０は、図
１１に示したように、予め台紙Ｄにプリカットされて一
定間隔で台紙上に貼着されている転写テープＴが、転写
テープ供給用モータ６５２の駆動によって、アンワイン
ダー６５４から案内ローラ６５６、ダンサローラ６５
８、テンションローラ６７２とピンチローラ６６０の
間、ならびに案内ローラ６７４を介して、ピールプレー
ト６７６の先端部で鋭角的に急激に折り返されることに
よって、台紙Ｄから転写テープＴが剥離される。その
後、巻き取りローラ６７８とピンチローラ６８０の間、
ダンサローラ６８２、ならびに案内ローラ６８４を介し
て、ワインダ６８６によって台紙Ｄが巻き取られるよう
になっている。
【００４６】また、図示しないが、テンションローラ６
７２とピンチローラ６６０の間から案内ローラ６７４の
転写テープ通し経路部にテープ検出機構を設け、繰出し
モータ６９２により一定位置にテープが停止するように
なっている。
【００４７】このように、台紙Ｄより剥離された転写テ
ープＴは、プレスローラ６９１によりリングフレームＲ
およびウェハＷに同時に貼付られる。また、ダンサロー
ラ６５８、６８２は、転写テープの外径の変化に対応す
るために、それぞれ上下方向に動作し、その上下位置を
検出することにより、転写テープ供給用モータ６５２な
らびにワインダー６８６の駆動をコントロールしてい
る。
【００４８】一方、転写テープマウントテーブル６０２
は、図１に示したように、その側部に設けられた案内部
材６８８を介して、前後方向に設けられたガイドレール
６９０に沿って、転写テープ繰り出しユニット６５０に
接近離反する方向に移動可能に構成されている。
【００４９】従って、図１２（ａ）に示したように、転
写テープマウントテーブル６０２をガイドレール６９０
に沿ってピールプレート６７６に接近する方向に移動さ
せて、ピールプレート６７６の先端部近傍に、そのリン
グフレームＲの一端部が位置するようにする。
【００５０】そして、ピールプレート６７６の先端部で
鋭角的に急激に折り返すことによって、台紙Ｄから転写
テープＴを剥離させるが、この際、転写テープＴの先端
部をエアブローなどによって補助し、台紙への巻き込み
を防止する。
【００５１】その後、図１２（ｂ）に示したように、転
写テープマウントテーブル６０２を図示しない上下シリ
ンダにより上昇させ、転写テープＴの先端部をプレスロ
ーラ６９１によって、リングフレームＲに圧着する。
【００５２】さらに、図１２（ｃ）に示したように、転
写テープマウントテーブル６０２をガイドレール６９０
に沿ってピールプレート６７６から離反する方向に移動
させるとともに、プレスローラ６９１によって、転写テ
ープＴが、ウェハＷとその外周にリングフレームＲに貼
着して、ウェハＷとリングフレームＲが一体化される。
【００５３】その後、図１に示したように、転写テープ
マウントテーブル６０２の側方に設けられた回転アーム
ユニット６４０のアーム部６４１の真空パッド６４２に
て、ウェハＷの外周のリングフレームＲ部分を吸着保持
して、回転アームユニット６４０のアーム部６４１を回
転軸６４４を中心に１８０°回転させることによって、
ウェハＷの保護テープＰが貼着された表面が上面に位置
するようにする。
【００５４】そして、図１に示したように、搬送アーム
ユニット７５０の搬送部材７５２を、左右方向に回転ア
ームユニット６４０の中心まで延びるガイドレール７５
４に沿って移動させて、回転アームユニット６４０に吸
着保持された転写テープでリングフレームＲと一体なっ
たウェハＷを、搬送アームユニット７５０の真空パッド
７５６にて吸着保持しこれに受け渡した後、搬送部材７
５２をガイドレール７５４に沿って移動させて、保護テ
ープ剥離ユニット８００の保護テープ剥がしテーブル部
８０２上に載置するようになっている。
【００５５】保護テープ剥離ユニット８００は、図１３
〜図１５に示したように、テーブル部８０２と、テープ
繰り出し部８０４と、移動手段としての剥がしヘッド部
８０６と、接着・切断手段としてのヒータカッタ部８０
８とから構成されている。
【００５６】テーブル部８０２は、転写装置１０の基台
１４上に設けられたレール８１０上を左右方向に移動可
能なテーブル８１２を備えている。モータ８１４を駆動
することによって、モータの駆動軸のプーリ８１６とプ
ーリ８１８の間に掛け渡されたベルト８２０に連結され
た連結具８２２を介して、テーブル８１２がレール８１
０上を左右方向（Ｘ軸方向）に移動するようになってい
る。なお、テーブル８０２の上面にも、全面吸着可能な
ポーラスな吸着部材８２４が設けられており、負圧によ
り転写テープＴを介してウェハＷ全面を吸着保持できる
ようになっている。
【００５７】テープ繰り出し部８０４は、図１７に示し
たように、互いに圧接するピンチローラ８２５とテンシ
ョンローラ８２７と、ガイドローラ８２８およびピンチ
ローラ８２６とを備えている。テープ繰出し部８０４の
下端部には、テープ受け板８３２が軸８３３によってボ
ールブッシュ８３５に取り付けられている。テープ受け
板８３２は、Ｘ軸方向に移動可能でありスプリング８３
６によって突出方向（図１７の右方向）に常時付勢され
ている。
【００５８】剥離テープＳは、リール８２３から繰り出
されて、ピンチローラ８２６とガイドローラ８２８との
間に挟持された後、ガイドローラ８２８で方向転換さ
れ、さらに、ピンチローラ８２５とテンションローラ８
２７との間に挟持されテープ受け板８３２へ送られ、テ
ープ受け板８３２上でテープ押さえ板８３４によって押
さえられている。テープ押さえ板８３４の前端部には、
カッター溝８３９が形成されている。テープ押さえ板８
３４は、シリンダ８３８によって上下動可能に駆動され
る。また、テンションローラ８２７には、タイミングプ
ーリ８３１からタイミングベルト８３７が掛けられ、タ
イミングプーリ８３１はモータ８２１（図１５参照）で
駆動されるようになっている。テンションローラ８２７
は、剥離テープＳの繰出し方向と逆方向に回転されて、
剥離テープＳに繰出し方向と逆方向の張力（バックテン
ション）がかけられている。
【００５９】テンションローラ８２７の後側（図１７に
左側）には、テープ押さえガイド８３０が取り付けら
れ、テープ受け板８３２上の剥離テープＳが後退するの
を防止している。
【００６０】テープ繰出し部８０４は、上下方向（図に
示すＺ軸方向）に移動可能である。すなわち、図１３に
示すように、基台１４には基板８０３が設置され、この
基板８０３上に固定されたシリンダ８０５によって、テ
ープ繰出し部８０４がＺ軸方向に移動するようになって
いる。
【００６１】なお、剥離テープＳとしては、ポリエチレ
ンテレフタレートフィルムなどの耐熱性フィルムに、感
熱性接着剤層を設けたもの、剥離テープ自体を感熱性を
有する剥離テープとしたものなどが使用できる。
【００６２】剥がしヘッド部８０６は、剥がしヘッド８
４０と剥がしヘッド８４０を支持するアーム８４２を備
え、アーム８４２はガイド８４４に左右方向にモータ８
４６の駆動によって移動自在となっている。また、剥が
しヘッド８４０は、上あご８４６と下あご８４８とから
なるチャック８４９を備え、シリンダ８５０で上下動し
てチャック８４９を開閉できるようになっている。な
お、図中、８５１はテープ検出センサーである。
【００６３】ヒータカッター部８０８は、図１６に示し
たように、シリンダ８５１を介して上下動可能なヒータ
ブロック８５２が設けられ、その内部にヒータ８５４が
埋設され、ヒータブロック８５２の下端にヒータ工具８
５５が設けられている。
【００６４】また、ヒータブロック８５２の前後側に
は、テープ押さえガイド８５６が設けられるとともに、
ヒータブロック８５２後側には、テープ押さえ８５８が
設けられるとともに、シリンダ８６０にてテープ押さえ
８５８の溝８６２に沿って前後方向に移動するカッタ刃
８６４が設けられている。
【００６５】このように構成される保護テープ剥離ユニ
ット８００は、図１７〜図２３のように作動する。図１
７に示したように、剥離テープＳを繰り出して、カッタ
ー溝８３９まで繰り出すとともに、テーブル８１２をテ
ープ繰り出し部８０４の下方まで移動させる。この際、
剥離テープＳにはテンションローラ８２７によりバック
テンションがかけられている。そして、剥がしヘッド部
８０６をテープ繰り出し部８０４に接近する方向に移動
させる。この際、チャック８４９は開いている。
【００６６】図１８に示したように、剥がしヘッド部８
０６がテープ受け板８３２を押さえるとともに、剥離テ
ープＳの先端がテープ検出センサー８５３で検知された
後、チャック８４９を閉じる。チャック８４９にて、剥
離テープＳを挟持するとともに、テープ押さえ８５８を
上昇させて、剥離テープのバックテンションを解除す
る。
【００６７】そして、図１９に示すように、剥がしヘッ
ド部８０６をテープ繰り出し部８０４から離反する方向
に移動させて剥離テープＳを引き出す。その後、図２０
に示したように、ヒータカッター部８０８を下降させ
て、テープ押さえ８５８、テープ押さえガイド８５６に
て剥離テープＳを押さえるとともに、ヒータブロック８
５２のヒータ８５４の熱によりヒータ工具８５５を介し
て、ウェハ表面の保護テープＰとを熱融着によって接着
させ、テープ押さえ８５８の溝８６２に沿って前後方向
にカッタ刃８６４を移動させて剥離テープＳを所定の長
さに切断する。なお、接着点は、ウェハＷの端部近傍、
例えば、ウェハＷの端からの距離が３ｍｍ以内に位置す
るのが好ましい。
【００６８】そして、図２１に示したように、テープ繰
り出し部８０４とヒータカッター部８０８とを上昇させ
た後、図２２に示したように、剥がしヘッド部８０６と
テーブル８１２を相互に離反する方向に移動することに
よって、ウェハ表面の保護テープＰを剥離テープＳに
て、ウェハ表面から剥離できるようになっている。
【００６９】このように剥離した剥離テープＳと保護テ
ープＰとは、図２３に示したように、剥がしヘッド部８
０６のチャック８４９を開くとともに、上方よりエアブ
ローを行うことによって、廃棄ボックス８７０に落下さ
せて収容されるようになっている。
【００７０】このように保護テープ剥離ユニット８００
にて、ウェハ表面より保護テープが剥離されたウェハＷ
は、続いて搬送アームユニット９５０にて、排出プッシ
ャユニット９００に移載されるようになっている。
【００７１】搬送アームユニット９５０は、図２４およ
び図２５に示したように、前後方向に、保護テープ剥離
ユニット８００のテーブル８１２から排出プッシャユニ
ット９００の排出ローラ部９０２に至るように設けられ
たガイドレール９５２上を前後方向に移動可能な搬送ア
ーム部材９５４を有し、そのアーム部材９５４に吸着パ
ッド部材９５６を備え、リングフレームＲに対応する位
置に配置された吸着部９５８を備えている。
【００７２】従って、保護テープ剥離ユニット８００に
て、ウェハ表面より保護テープＰが剥離されたウェハＷ
は、搬送アームユニット９５０の搬送アーム部材９５４
をガイドレール９５２に沿って移動して、保護テープ剥
離ユニット８００のテーブル８１２上のリングフレーム
Ｒと一体となったウェハＷをリングフレームＲ部分を吸
着部９５８の吸着パッド部材９５６にて吸着保持する。
そして、この状態で、搬送アーム部材９５４をガイドレ
ール９５２に沿って移動して、排出プッシャユニット９
００の排出ローラ部９０２上にウェハＷを移載するよう
になっている。
【００７３】排出プッシャユニット９００は、図１に示
したように、転写装置１０の基台１４上に固定した、左
右一対の側方ガイド部材９０２の内面にそれぞれ複数の
一定間隔で離間して配設されたローラからなるローラ部
（図示せず）に、リングフレームＲ部分が当接するよう
になっており、これにより、ウェハへのローラとの接触
による破損が避けられるようになっている。
【００７４】なお、ローラ部の後方には、移動シリンダ
９０８が設けられており、移動シリンダ９０８は、案内
ロッド９１０に案内されて前後方向に摺動できるように
なっている。移動シリンダ９０８の上面に固着されたプ
ッシャ部材（図示せず）が、移動シリンダ９０８の移動
に伴って、ローラ部上に移載されたウェハＷを手前の方
向に押すことにより、手前方向に配設されたアンローダ
ユニット１０００の収納カセット１００２にウェハを収
納するようになっている。
【００７５】なお、このアンローダユニット１０００で
は、排出プッシャユニット９００のローラ部の高さ位置
に、収納カセット１００２を位置合わせできるように、
上下動可能に構成されている。
【００７６】本発明は、以上説明した実施例に何ら限定
されるものではなく、例えば、紫外線照射ユニットを転
写テープマウントユニットの下流側に設けるなど種々の
変更が可能である。
【００７７】なお、転写テープＴを紫外線硬化型の粘着
剤を有するテープとして、ウェハＷをリングフレームＲ
に転写テープＴを介して貼付た後に、特に排出プッシャ
ユニットの前又は後ろに転写テープに対して紫外線を照
射する紫外線照射ユニット３００と同様な紫外線照射ユ
ニットを設けてもよい。
【００７８】
【発明の効果】本発明のウェハ転写装置によれば、ウェ
ハＷのチップ化されたウェハの分割線に沿って縦横方向
（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に位置調整して基
準位置にウェハを位置決めして、ダイシング工程の際の
正確なダイボンディングを実施でき、チップが破損しな
い。また、これらの位置決め作業、転写作業、保護テー
プ剥離作業をウェハキャリアを用いて搬送することがな
く連続的かつ自動的に実施できるので、ウェハの破損、
損傷、割れなどが発生することがない。
【００７９】また、本発明によれば、全面吸着にてウェ
ハを吸着保持することによって、ウェハへ局部的な負荷
がかかるのを防止し、ウェハの破損、割れを有効に防止
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のウェハ転写装置の実施例の装
置全体の上面図である。
【図２】図２は、図１のウェハ転写の正面図である。
【図３】図３は、図１のウェハ転写装置の右側面図であ
る。
【図４】図４は、本発明のウェハ転写装置のウェハ搬送
ユニットおよび紫外線照射ユニットの上面図である。
【図５】図５は、図４の側面図である。
【図６】図６は、本発明のウェハ転写装置の位置決めユ
ニットの上面図である。
【図７】図７は、図６の正面図である。
【図８】図８は、図６の右側面図である。
【図９】図９は、ウェハ搬送ユニットの上面図である。
【図１０】図１０は、図９の側面図である。
【図１１】図１１は、転写テープ繰出しユニットの側面
図である。
【図１２】図１２は、本発明のウェハ転写装置の転写テ
ープマウントユニットの動作を説明する概略図である。
【図１３】図１３は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の正面図である。
【図１４】図１４は、図１３の側面図である。
【図１５】図１５は、図１３の平面図である。
【図１６】図１６は、本発明の保護テープ剥離ユニット
のヒータカッター部の拡大図である。
【図１７】図１７は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図１８】図１８は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図１９】図１９は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図２０】図２０は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図２１】図２１は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図２２】図２２は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図２３】図２３は、本発明の保護テープ剥離ユニット
の動作を説明する図である。
【図２４】図２４は、本発明のウェハ転写装置の搬送ア
ームユニットの上面図である。
【図２５】図２５は、本発明のウェハ転写装置の搬送ア
ームユニットの側面図である。
【符号の説明】
１０・・・・ウェハ転写装置 １００・・・・受け渡しテーブル ２００・・・・ウェハ搬送ユニット ３００・・・・紫外線照射ユニット ４００・・・・位置決めユニット ５００・・・・ウェハ搬送ユニット ６００・・・・転写テープマウントユニット ８００・・・・保護テープ剥離ユニット ９００・・・・排出プッシャユニット １０００・・・・アンローダユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沼 田 英 夫 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝多摩川工場内 (72)発明者 徳 渕 圭 介 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝多摩川工場内 Ｆターム(参考） 5F031 AA01 CC01 CC04 KK11 5F047 FA01

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多数のチップに分割され、表面に保護テ
    ープが貼着されたウェハをリングフレームに転写テープ
    を介して貼付するウェハ転写装置であって、 前記保護テープが貼着されたウェハを位置決めテーブル
    上に載置して、縦横方向及び回転方向に位置調整して基
    準位置にウェハを位置決めする位置決めユニットと、 前記位置決めユニットにおいて所定の基準位置に位置決
    めされた保護テープが貼着されたウェハを、転写テープ
    マウントテーブル上に載置して、転写テープを該ウェハ
    の外周部に載置されたリングフレームとウェハ裏面に同
    時に貼着してリングフレームと一体化する転写テープマ
    ウントユニットと、 前記転写テープマウントユニットにおいてウェハ裏面に
    転写テープが貼着されたリングフレームと一体となった
    ウェハを、保護テープ剥がしテーブル上に載置して、剥
    離テープの一端をウェハ表面側の保護テープの一端に接
    着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープを
    ウェハ表面より剥離する保護テープ剥離ユニットとを備
    えることを特徴とするウェハ転写装置。
  2. 【請求項２】 前記保護テープが、紫外線硬化型の粘着
    剤を有する保護テープであって、前記保護テープ剥離ユ
    ニットにおいてウェハ表面より保護テープを剥離する前
    に、保護テープに対して紫外線を照射する紫外線照射ユ
    ニットを設けたことを特徴とする請求項１に記載のウェ
    ハ転写装置。
  3. 【請求項３】 前記紫外線照射ユニットは、ウェハが転
    写テープに貼付される前に設けられていることを特徴と
    する請求項２に記載のウェハ転写装置。
  4. 【請求項４】 前記転写テープが、紫外線硬化型の粘着
    剤を有する転写テープであって、ウェハがリングフレー
    ムに転写テープを介して貼付された後に、転写テープに
    対して紫外線を照射する紫外線照射ユニットを設けたこ
    とを特徴とする請求項１に記載のウェハ転写装置。
  5. 【請求項５】 前記保護テープ剥離ユニットにおいてウ
    ェハ表面より保護テープを剥離したリングフレームと一
    体なったウェハを、フレームカセット内に収納する収納
    ユニットを備えることを特徴とする請求項１から４のい
    ずれかに記載のウェハ転写装置。
  6. 【請求項６】 前記保護テープ剥離ユニットにおいて用
    いる剥離テープが熱融着テープであって、剥離テープの
    一端をウェハ表面側の保護テープの一端に熱融着により
    接着して、剥離テープを引っ張ることにより保護テープ
    をウェハ表面より剥離するように構成したことを特徴と
    する請求項１から５のいずれかに記載のウェハ転写装
    置。
  7. 【請求項７】 前記各ユニット間でウェハを搬送する搬
    送手段が、ウェハ全面を吸着して搬送するように構成さ
    れていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに
    記載のウェハ転写装置。
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