JP4884075B2 - テープ貼付方法およびテープ貼付装置 - Google Patents
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Description
すなわち2番目の発明においては、貼付対象物の縁部にテープを貼付けた後で支持テーブルを水平方向に移動させることにより、テープを貼付対象物全体に貼付ることができる。
すなわち3番目の発明においては、テープを貼付対象物に押付けるための貼付ロールの移動量を比較的小さくし、それにより、貼付時にテープが揺動するのを防止することができる。
すなわち5番目の発明においては、貼付対象物の縁部にテープを貼付けた後で支持テーブルを水平方向に移動させることにより、テープを貼付対象物全体に貼付ることができる。
すなわち6番目の発明においては、テープを貼付対象物に押付けるための貼付ロールの移動量を比較的小さくし、それにより、貼付時にテープが揺動するのを防止することができる。
図1は本発明に基づくテープ貼付装置の概略断面図である。テープ貼付装置10に供給されるウェーハ20は、バックグラインドによりその裏面が研削されており、ウェーハ20の厚さは例えば100マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ20の表面には、半導体素子を保護する表面保護フィルム11(図示しない)が既に貼付られているものとする。
6 リリース
10 テープ貼付装置
11 表面保護フィルム
15 ハウジング
17 扉
18 キャスタ
19 ストッパ
20 ウェーハ
22 裏面
31、37 可動テーブル(テープ貼付手段)
35 ガイド部材
35a 先端
36 マウントフレーム
41 検尺ロール
42 テープロール
43 巻取ロール
45 駆動ロール
46、47 制動ロール(制動手段)
48 ガイドロール
49 貼付ロール(テープ貼付手段)
51 第一エアシリンダ
52 第二エアシリンダ
53 ガイドロール
55、56 駆動ロール
61 レール
62 ダンサロール(テープ繰出手段)
64 カッタ
65 カッタユニット
71、72 センサ
90 制御部
Claims (6)
- テープが繰出されるテープロールと、
該テープロールを回転させる駆動ロールと、
前記テープロールから繰出された前記テープに係合する第一の制動ロールと、
該第一の制動ロールに対向する第二の制動ロールと、
該第二の制動ロールを前記第一の制動ロールに押付けて前記テープを前記第一の制動ロールと前記第二の制動ロールとの間で固定するエアシリンダと、
前記駆動ロールと前記第一の制動ロールとの間に位置するダンサロールを具備し、該ダンサロールは、前記駆動ロールと前記第一の制動ロールとを結ぶ線分に対して概ね垂直に移動し、それにより、前記第一および第二の制動ロールの間で固定された前記テープが貼付対象物に対応する長さだけ前記テープロールから繰出されるようになっており、
さらに、
前記駆動ロールを停止させると共に、前記エアシリンダによる前記テープの固定を解除した状態で、前記第一の制動ロールの下流に位置する前記テープを貼付対象物に貼付けるテープ貼付手段とを具備するテープ貼付装置。 - 前記テープ貼付手段は、前記テープを押付けて前記貼付対象物の縁部に貼付ける貼付ロールと、前記貼付対象物を支持していて水平方向に移動可能な支持テーブルとを含む請求項1に記載のテープ貼付装置。
- 前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときに前記支持テーブルを上昇させるようにした請求項2に記載のテープ貼付装置。
- 駆動ロールによりテープロールからテープを繰出して第一の制動ロールに係合させ、
該第一の制動ロールに対向する第二の制動ロールをエアシリンダによって前記第一の制動ロールに押付けることにより、で押付けることにより、前記テープを前記第一の制動ロールと前記第二の制動ロールとの間で固定し、
ダンサロールを前記駆動ロールと前記第一の制動ロールとを結ぶ線分に対して概ね垂直に移動させ、それにより、前記第一および第二の制動ロールの間で固定された前記テープを貼付対象物に対応する長さだけ前記テープロールから繰出すようにし、
前記駆動ロールを停止し、
前記エアシリンダによる前記テープの固定を解除し、
前記第一の制動ロールの下流に位置するテープを貼付対象物に貼付けるようにしたテープ貼付方法。 - 前記貼付対象物は支持テーブルに支持されており、
前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときには、前記テープが押付けられることにより前記貼付対象物の縁部に貼付けられ、次いで、前記支持テーブルが水平方向に移動されるようにした請求項4に記載のテープ貼付方法。 - 前記テープを前記貼付対象物の縁部に貼付けられるときに前記支持テーブルを上昇させる請求項5に記載のテープ貼付方法。
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