JP4540403B2 - テープ貼付方法およびテープ貼付装置 - Google Patents
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Description
すなわち3番目の発明においては、テープを介した状態におけるテープ貼付手段とウェーハとの間の接触面積に応じて可動テーブルの押付力を設定しているので、ウェーハに加えられる圧力がウェーハ全体においてほぼ正確に等しくなるようにより一層精密に制御することが可能となる。
すなわち4番目の発明においては、テープ貼付手段の移動距離が予め区分けされた区域のいずれに対応するかに応じて可動テーブルの押付力を設定しているので、接触面積を算出する必要がなく、比較的簡易な方法で可動テーブルを迅速かつ容易に設定することができる。
すなわち5番目の発明においては、ウェーハの大きさの寸法が異なる場合であっても、ウェーハに掛かる圧力をほぼ正確に等しくすることができる。
すなわち6番目の発明においては、貼付補助部材の厚さがウェーハの厚さとはわずかながら異なる場合であっても、可動テーブルの押付力を変えることによりテープを貼付補助手段にはテープ貼付手段の全荷重により、ウェーハには設定された押付力により貼付けることができる。
すなわち7番目の発明においては、テープが貼付けられたウェーハおよび貼付補助部材を上下反転させることなしに、後工程であるダイシング工程にウェーハを直接的に搬送することができる。
すなわち8番目の発明においては、テーブルやテープ貼付手段の重さに関係することなしに、ウェーハに掛かる圧力がウェーハ全体においてさらに正確に等しくすることができる。
さらに、3番目の発明によれば、ウェーハに加えられる圧力がウェーハ全体においてほぼ正確に等しくなるようにより一層精密に制御することができるという効果を奏しうる。
さらに、4番目の発明によれば、比較的簡易な方法で可動テーブルを迅速かつ容易に設定することができるという効果を奏しうる。
さらに、5番目の発明によれば、ウェーハの寸法が異なる場合であっても、ウェーハに掛かる圧力をほぼ正確に等しくすることができるという効果を奏しうる。
さらに、6番目の発明によれば、貼付補助部材の厚さがウェーハの厚さとはわずかながら異なる場合であっても、可動テーブルの押付力を変えることによりテープを貼付補助手段とウェーハとの両方にそれぞれの目的に応じた圧力で貼付けることができるという効果を奏しうる。
さらに、7番目の発明によれば、テープが貼付けられたウェーハを上下反転させることなしに、後工程であるダイシング工程またはバックグラインド工程にウェーハを直接的に搬送することができるという効果を奏しうる。
さらに、8番目の発明によれば、各部材の重さおよびテープの張力を考慮することなしに、ウェーハに掛かる圧力がウェーハ全体においてさらに正確に等しくすることができるという効果を奏しうる。
さらに、10番目の発明によれば、ウェーハに加えられる圧力がウェーハ全体においてほぼ正確に等しくなるようにさらに精密に制御することができるという効果を奏しうる。
図1は本発明に基づくテープ貼付装置の概略断面図である。図1に示されるテープ貼付装置10はテープ3、例えばウェーハ20、例えばシリコンウェーハに貼付されるダイシングテープまたは表面保護テープを供給する供給部42と、供給部42からのテープを巻き取る巻取部43とをハウジング11内に含んでいる。図示されるように、ハウジング11の底面には複数のキャスタ18および複数のストッパ19が設けられており、キャスタ18によってテープ貼付装置10を床L上の所望の位置まで移動させ、ストッパ19によってテープ貼付装置10をこの位置に固定できるようになっている。また、テープ貼付装置10の下方部分には扉17が設けられており、これら扉17を開放すると、テープ貼付装置10の下方部分に配置された図示しない制御部80、例えばデジタルコンピュータにアクセスすることができる。
10 テープ貼付装置
20 ウェーハ
20’ テープ貼付面
21 表面
22 裏面
25 半導体素子
30 テーブル昇降部
31 テーブル
35 固定テーブル
36 マウントフレーム
46 ローラ(テープ貼付手段)
50 昇降機構部
80 制御部
F 実際の押付力
F(x) 目標押付力
W 接触幅
x−x0 ローラの移動距離
Claims (7)
- テープをウェーハに貼付けるテープ貼付装置において、
前記テープが貼付けられる前記ウェーハのテープ貼付面に対して垂直に移動可能であって前記ウェーハを支持し、さらに前記ウェーハに対して押付力を与えることのできる可動テーブルと、
前記ウェーハの一端から他端まで前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動して前記テープを前記ウェーハに貼付けるテープ貼付手段と、
前記テープを前記ウェーハのテープ貼付面と前記テープ貼付手段との間に供給するテープ供給手段とを具備し、前記可動テーブルを前記テープ貼付手段に向かって該テープ貼付手段に対して垂直方向に進退自在とすることにより前記テープを介して前記可動テーブル上の前記ウェーハの前記テープ貼付面を前記テープ貼付手段に押付けて押付力を掛けることができ、
さらに、
前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動するときに、前記ウェーハの前記一端からの前記テープ貼付手段の移動距離を検出するテープ貼付手段移動距離算出手段と、
前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動するときにおける前記ウェーハの前記接触部分の幅寸法から算出した接触面積を前記テープ貼付手段の前記移動距離から算出する接触面積算出手段と、
前記ウェーハの前記接触部分における圧力が前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで移動するときに概ね一定になるように、前記テープ貼付手段移動距離算出手段により検出された前記テープ貼付手段の前記移動距離を用いて、前記可動テーブルの押付力を設定する可動テーブル押付力設定手段とを具備し、前記可動テーブル押付力設定手段は、前記接触面積算出手段により算出された前記接触面積に比例する押付力を前記ウェーハに掛けられるように前記可動テーブルの押付力を設定するようにしたテープ貼付装置。 - 前記ウェーハの寸法が複数の区域に予め区分けされており、前記可動テーブル押付力設定手段は前記テープ貼付手段移動距離算出手段により算出された前記テープ貼付手段の前記移動距離が前記区域のうちの対応する区域に応じて定まる押付力を前記ウェーハに掛けられるように前記可動テーブルの押付力を設定するようにした請求項1に記載のテープ貼付装置。
- さらに、前記ウェーハの大きさの寸法を用いて、前記可動テーブルの押付力を設定する請求項1または2に記載のテープ貼付装置。
- さらに、前記可動テーブル周りに配置されていて貼付補助部材を支持する固定テーブルを具備し、
前記テープ貼付手段が前記テープを前記貼付補助部材と前記ウェーハとの両方に貼付るようになっている請求項1から3のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。 - 前記テーブルに支持される前記ウェーハの前記テープ貼付面が下方を向いており、前記テーブルが前記テープ供給手段により供給されるテープおよび前記テープ貼付手段よりも上方に位置している請求項1から4のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。
- 前記テーブルに支持される前記ウェーハの前記テープ貼付面が鉛直方向に対して平行になっている請求項1から5のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。
- テープをウェーハに貼付けるテープ貼付方法において、
前記テープが貼付けられる前記ウェーハのテープ貼付面に対して垂直に移動可能であって前記ウェーハに対して押付力を与えることのできる可動テーブル上にウェーハを支持し、
前記テープをテープ供給手段によって前記ウェーハのテープ貼付面とテープ貼付手段との間に供給し、
前記テーブルを前記テープ貼付手段に向かって移動させ、それにより、前記テープを介して前記テーブル上の前記ウェーハの前記テープ貼付面を前記テープ貼付手段に押付けて押付力を掛けるようにし、
さらに、
前記テープ貼付手段を前記ウェーハの一端から前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動させ、
前記ウェーハの前記一端からの前記テープ貼付手段の移動距離をテープ貼付手段移動距離算出手段により検出し、
前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで前記ウェーハの前記テープ貼付面に対して平行に移動するときにおける前記ウェーハの前記接触部分の幅寸法から算出した接触面積を接触面積算出手段によって前記テープ貼付手段の前記移動距離から算出し、
前記テープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで移動するときに前記ウェーハの前記接触部分における圧力が一定になるように、および前記接触面積算出手段により算出された前記接触面積に比例する押付力を前記ウェーハに掛けられるように、前記可動テーブルの押付力を可動テーブル押付力設定手段により設定するテープ貼付方法。
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