JP4836557B2 - ダイシングテープ貼付装置およびダイシングテープ貼付方法 - Google Patents
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Description
すなわち2番目の発明においては、ネジジャッキを用いているために、ダイシングテープ貼付時に掛かる力によって、可動テーブルの位置が変化するのを防止できる。
すなわち3番目の発明においては、ウェーハが裏面研削されていて研削面が表面側の面取部まで到達している場合であっても、ウェーハに割れまたはクラックおよび内部歪みを生じさせることを防止できる。裏面研削されているウェーハの厚さは例えば100マイクロメートル以下でありうる。
すなわち4番目の発明においては、ダイシングテープ貼付面の高さおよび/またはマウントフレームの上面の高さに基づいて、可動テーブルの高さを自動的に調節できる。
すなわち5番目の発明においては、ウェーハの裏面研削の程度および/または使用される表面保護フィルムの厚さに応じて可動テーブルの高さを正確に調節できる。
すなわち6番目の発明においては、テープ貼付手段移動距離算出手段により算出されたテープ貼付手段の移動距離に応じて可動テーブルの押付力を設定しているので、ウェーハに加えられる面圧力がウェーハ全体においてほぼ正確に等しくなるように制御できる。その結果、ウェーハの外周部全体にわたって、ダイシングテープ貼付手段からの不必要な力が掛かるのを避けられ、割れまたはクラックおよび内部歪みが生じるのをさらに防止できる。なお、面圧力とは単位面積当たりのウェーハの圧力を意味するものとする。
すなわち7番目の発明においては、可動テーブルをストロークエンドの手前で保持できるので可動テーブルを円滑に移動させられる。
すなわち8番目の発明においては、ロールがほとんど変形しないので、ウェーハの特に縁部に不必要な力が掛かるのを防止できる。ロールのゴム硬度は40〜45程度であるのが好ましい。また、ロールの直径を可能な範囲で大きくするようにしてもよい。
すなわち10番目の発明においては、ダイシングテープ貼付面の高さおよび/またはマウントフレームの上面の高さに基づいて、可動テーブルの高さを自動的に調節できる。
すなわち11番目の発明においては、ウェーハの裏面研削の程度および/または使用される表面保護フィルムの厚さに応じて可動テーブルの高さを正確に調節できる。
すなわち12番目の発明においては、算出されたテープ貼付手段の移動距離に応じて可動テーブルの押付力を設定しているので、ウェーハに加えられる面圧力がウェーハ全体においてほぼ正確に等しくなるように制御できる。その結果、ウェーハの外周部全体にわたって、ダイシングテープ貼付手段からの不必要な力が掛かるのを避けられ、割れまたはクラックおよび内部歪みが生じるのをさらに防止できる。
図1は本発明に基づくダイシングテープ貼付装置の概略断面図である。ダイシングテープ貼付装置10に供給されるウェーハ20は、図7を参照して説明したように、バックグラインドによりその裏面が表面側の面取部26まで研削されており、ウェーハ20の厚さは例えば100マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ20の表面には、半導体素子を保護する表面保護フィルム11が既に貼付されているものとする。
図2はダイシングテープ貼付装置の一部を拡大して示す部分拡大図である。棚板12から下方に延びる柱部77がハウジング15のベース71に連結されている。可動テーブル31の底面から延びるシャフト32は棚板12に設けられたガイド93に案内されており、シャフト32の先端はスプライン軸92として形成されている。このスプライン軸92に係合する溝が形成された外側部91はエアシリンダ80のロッド83の先端に連結されている。このため、スプライン軸92を備えたシャフト32を外側部91に沿って鉛直方向に正確に摺動させられる。
10 ダイシングテープ貼付装置
11 表面保護フィルム
20 ウェーハ
20’ テープ貼付面
21 表面
22 研削面、裏面
26 面取部
28、29 端部
31 可動テーブル
32 シャフト
36 マウントフレーム
38 固定テーブル
42 供給部
43 巻取部
46 貼付ロール(ダイシングテープ貼付手段)
65 カッタユニット
70 ネジジャッキ(高さ調節手段)
72 メネジ部
73 ネジ軸
80 エアシリンダ(押付手段)
81 エアシリンダ用ケーシング
82 孔
83 ロッド
85 フランジ
90 制御部
91 外側部
92 スプライン軸
93 ガイド
95 高さ検出部
96 入力部
F 押付力
P 圧力
W 接触幅
Claims (10)
- ダイシングテープをマウントフレームとウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付装置において、
前記マウントフレームを支持する固定テーブルと、
前記ウェーハを支持する可動テーブルと、
前記可動テーブルの高さを調節する高さ調節手段と、
前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面に対して平行に移動して前記ダイシングテープを前記マウントフレームと前記ウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付手段と、
前記可動テーブルに支持された前記ウェーハのダイシングテープ貼付面の高さおよび前記固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さを検出する高さ検出手段と、を具備し、
前記ダイシングテープを前記マウントフレームおよび前記ウェーハに貼付けるときに、前記高さ調節手段は、前記高さ検出手段により検出された前記ダイシングテープ貼付面および前記マウントフレームの上面の高さに基づいて、前記可動テーブルに支持された前記ウェーハのダイシングテープ貼付面の高さを前記固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さに一致させるようにしたダイシングテープ貼付装置。 - 前記高さ調節手段がネジジャッキである請求項1に記載のダイシングテープ貼付装置。
- 前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面は、前記ウェーハの裏面が研削されることにより形成されている請求項1または2に記載のダイシングテープ貼付装置。
- さらに、前記ウェーハの厚さおよび前記ダイシングテープ貼付面とは反対側の面に貼付けられたフィルムの厚さならびに/または前記マウントフレームの厚さを入力する入力手段を具備し、
前記高さ調節手段は、前記入力手段により入力された前記ウェーハおよび前記フィルムの厚さならびに/または前記マウントフレームの厚さに基づいて、前記可動テーブルの高さを調節する請求項1から3のいずれか一項に記載のダイシングテープ貼付装置。 - さらに、前記ダイシングテープを介して前記可動テーブル上の前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面を前記ダイシングテープ貼付手段に押付けて押付力を掛ける押付手段と、
前記ダイシングテープ貼付手段が前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面に対して平行に移動するときに、前記ウェーハの一端からの前記ダイシングテープ貼付手段の移動距離を検出するダイシングテープ貼付手段移動距離算出手段と、
前記ダイシングテープに対する前記ウェーハの接触部分における圧力が前記ダイシングテープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで移動するときに概ね一定になるように、前記ダイシングテープ貼付手段移動距離算出手段により検出された前記ダイシングテープ貼付手段の前記移動距離を用いて、前記可動テーブルの押付力を設定する可動テーブル押付力設定手段とを具備する請求項1から4のいずれか一項に記載のダイシングテープ貼付装置。 - 前記押付手段がエアシリンダであり、該エアシリンダのロッドをそのストロークエンドの手前で停止させるストッパを含む請求項5に記載のダイシングテープ貼付装置。
- 前記ダイシングテープ貼付手段がロールであり、該ロールの少なくとも一部分は、前記押付手段により押付力が掛けられているときにほとんど変形しない材料から形成されている請求項5または6に記載のダイシングテープ貼付装置。
- ダイシングテープをマウントフレームとウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付方法において、
前記マウントフレームを固定テーブルに支持し、
前記ウェーハを可動テーブルに支持し、
前記可動テーブルに支持された前記ウェーハのダイシングテープ貼付面の高さおよび前記固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さを検出し、
前記ダイシングテープを前記マウントフレームおよび前記ウェーハに貼付けるときに、、検出された前記ダイシングテープ貼付面および前記マウントフレームの上面の高さに基づいて、前記可動テーブルに支持された前記ウェーハのダイシングテープ貼付面の高さが前記固定テーブルに支持されたマウントフレームの上面の高さに一致するように前記可動テーブルの高さを調節し、
ダイシングテープ貼付手段を前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面に対して平行に移動させることにより、前記ダイシングテープを前記マウントフレームと前記ウェーハとに貼付けるダイシングテープ貼付方法。 - さらに、前記ウェーハの厚さおよび前記ダイシングテープ貼付面とは反対側の面に貼付けられたフィルムの厚さならびに/または前記マウントフレームの厚さを入力し、
前記入力された前記ウェーハおよび前記フィルムの厚さならびに/または前記マウントフレームの厚さに基づいて、前記可動テーブルの高さを調節する請求項8に記載のダイシングテープ貼付方法。 - さらに、前記ダイシングテープをダイシングテープ供給手段によって前記ウェーハのダイシングテープ貼付面とダイシングテープ貼付手段との間に供給し、
前記テーブルを前記ダイシングテープ貼付手段に向かって移動させ、それにより、前記ダイシングテープを介して前記可動テーブル上の前記ウェーハの前記ダイシングテープ貼付面を前記ダイシングテープ貼付手段に押付けて押付力を掛けるようにし、
さらに、
前記ウェーハの一端からの前記ダイシングテープ貼付手段の移動距離を算出し、
前記ダイシングテープ貼付手段が前記ウェーハの一端から他端まで移動するときに前記ダイシングテープに対する前記ウェーハの接触部分における圧力が一定になるように、前記ダイシングテープ貼付手段移動距離算出手段により検出された前記ダイシングテープ貼付手段の前記移動距離を用いて、前記可動テーブルの押付力を設定する請求項8または9に記載のダイシングテープ貼付方法。
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